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[发明专利]多电子束场曲校正模块及电子束光柱体-CN202310687458.8在审
发明人：刘珠明;张衍俊;李全同;赵维;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开一种多电子束场曲校正模块及电子束光柱体，多电子束场曲校正模块包括：基座和设置在基座上的聚焦像面调节结构阵列，聚焦像面调节结构阵列包含有与通过多电子束场曲校正模块的电子束阵列中的电子束一一对应的聚焦像面调节结构，聚焦像面调节结构用于调整通过聚焦像面调节结构的电子束的聚焦的像面位置，聚焦像面调节结构阵列设置为使通过的电子束，其对应的聚焦的像面位置与基座之间的距离由电子束阵列的中心向外逐渐增大。本发明对通过的电子束的聚焦的像面位置进行调节，从而使得电子束阵列中的电子束的聚焦的点能够形成一个用于与现有的电子束光柱体中所存在的场曲误差相抵消的正误差，使得电子束阵列在样品上形成均匀阵列图形。
电子束校正模块柱体

[发明专利]一种基于射流微通道混合散热板-CN201710450412.9有效
发明人：汪双凤;张衍俊;丁普贤 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于射流微通道混合散热板，包括金属基板、金属盖板；在金属基板上刻有数条截面形状呈梯形的梯形微通道；金属盖板盖合在微通道上；金属盖板的边缘与金属基板的边缘密封连接；金属盖板上开有与梯形微通道相对应的射缝；在对发热器件进行冷却时，冷却工质从射缝被喷射进入梯形微通道中，依靠射流的冲击作用和梯形微通道中的二次流作用进行换热。在相同泵功率和热负荷的条件下，与具有相同截面积的矩形通道和圆形通道相比，梯形通道具有更低的底面温度和更小的底面温差。而且，随着热负荷的增加，梯形通道的冷却效果会更加明显。同样，当采用较大的泵功率时，梯形的冷却效果会更加显著。
一种基于射流通道混合散热

[发明专利]电子束聚焦偏转系统及电子束光柱体-CN202211730763.2在审
发明人：刘珠明;张衍俊;李全同;周洁林;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明公开一种电子束聚焦偏转系统及电子束光柱体，其电子束聚焦偏转系统包括：物镜，设置在电子束光柱体内的电子束射出路径上，用于形成精细电子束束斑，照射到样品上；磁偏转器，设置在电子束射出路径上，用于对电子束产生定位作用；静电偏转器，设置在电子束射出路径上，嵌套在磁偏转器中，用于对电子束产生偏转使电子束在样品上进行扫描。本发明同时加入磁偏转器和静电偏转器，将扫描场分为两部分，一部分利用磁偏转器的像差低的特点对电子束的定位，另一部分利用静电偏转器的扫描速度高的特点对电子束偏转，结合磁偏转器和静电偏转器均置于物镜内的优点，使得整体光柱体更加紧凑、高效，能够既保证了像差精度，又能够提高扫描速度。
电子束聚焦偏转系统柱体

[发明专利]电子束分束模块-CN202310023859.3有效
发明人：刘珠明;张衍俊;李全同;周洁林;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01J37/09 文献下载
摘要：本发明公开一种电子束分束模块，其包括电子枪；仅包括成形光阑阵列板和位于成形光阑阵列板的背离电子枪一侧的二级光阑阵列板的成形光阑阵列组件，成形光阑阵列板包括排布有第一光阑孔的基底和自基底的表面朝向电子枪方向竖直向上隆起且位于第一光阑孔的外侧的隆起棱，二级光阑阵列板上设有与第一光阑孔对应的、直径小于第一光阑孔的直径第二光阑孔；和设在成形光阑阵列组件的背离电子枪的一侧的、设置有与第二光阑孔对应的第一通孔和束闸的束闸阵列板。使得成形光阑阵列板兼具增强热辐射散热效果和加强自身机械强度的同时，还能够即使在电子束关断时仍能减小二级光阑阵列板对电子束中电子的吸收，保证分束模块产生的束斑的精度、稳定性和一致性。
电子束模块

[发明专利]用于关键尺寸量测装置的聚焦偏转模块及电子束光柱体-CN202310069297.6有效
发明人：刘珠明;张衍俊;李全同;周洁林;王其瑞;张誉腾;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01J37/147 文献下载
摘要：本发明公开一种用于关键尺寸量测装置的聚焦偏转模块及电子束光柱体，其中，用于关键尺寸量测装置的聚焦偏转模块包括沿电子束的入射方向依次设置、且均能够对电子束进行变轴处理的一级聚焦偏转系统和二级聚焦偏转系统；其中，一级聚焦偏转系统和二级聚焦偏转系统均设有透镜，且二级聚焦偏转系统的透镜的激励电流的方向与一级聚焦偏转系统的透镜的激励电流的方向反向设置。由此，使得二级聚焦偏转系统能够对一级聚焦偏转系统的色差进行抵消补偿，从而使得当该聚焦偏转模块用于电子束光柱体并应用于CD SEM装置中时，能够获得较小的整体像差。
用于关键尺寸装置聚焦偏转模块电子束柱体

[发明专利]一种电池及电池相变热管理系统和方法-CN202110549169.2有效
发明人： 张衍俊;刘珠明;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： H01M10/659 文献下载
摘要：本发明涉及新能源汽车动力电池技术领域，公开了一种电池及电池相变热管理系统和方法；电池包括电池箱、空心圆筒和电芯，空心圆筒设置在电池箱内，电芯设置在空心圆筒的空腔内，每个空心圆筒的外表面均上设置有若干针肋，所述针肋为针状凸起，所述电池箱上还设置有用于冷媒进入或流出的管口。系统包括压缩机、气液分离装置、四通阀、外置换热器、节流阀和电池，当进行温度调节时，所述针肋可以起到增强电池箱内冷媒湍度，并起到气化核心和凝核的作用，同时可以促进空心圆筒和冷媒的热交换，使电池的温度更快更均匀更稳定的保持和达到理想的工作稳定。
一种电池相变管理系统方法

[发明专利]一种三维位移台及其控制系统-CN202211274682.6在审
发明人：李全同;刘珠明;余剑雄;马建国;王长安;周洁林;张衍俊;张誉腾;王其瑞;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本申请提供了一种三维位移台及其控制系统，涉及位移台技术领域。该三维位移台包括台体、X轴电机、Y轴电机、Z轴电机、X轴传感器、Y轴传感器、Z轴传感器以及控制器，控制器分别与X轴电机、Y轴电机、Z轴电机、X轴传感器、Y轴传感器以及Z轴传感器电连接，X轴电机、Y轴电机以及Z轴电机均安装于台体上，X轴传感器安装于X轴电机上，Y轴传感器安装于Y轴电机上，Z轴传感器安装于Z轴电机上；其中，X轴电机、Y轴电机、Z轴电机用于依据控制器的控制信号进行运动；X轴传感器、Y轴传感器、Z轴传感器用于获取X轴电机、Y轴电机、Z轴电机的运动量。本申请提供的三维位移台及其控制系统具有可实现对位移台位置进行自动控制的优点。
一种三维位移及其控制系统

[发明专利]一种热管理器、换热方法和新能源车-CN202211088605.1在审
发明人： 张衍俊;刘珠明;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H01M10/633 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种热管理器、换热方法和新能源车，涉及动力电池热管理技术领域。该热管理器包括：同中心轴的外筒、中筒和内筒。外翅片、中筒和外筒形成平行于中心轴的多个外流道。内翅片、中筒和内筒形成平行于中心轴的多个内流道。中筒上设置有多个射流孔。换热介质可从外筒一端进入外流道，以射流冲击的方式进入内流道，从内流道两端流出。综合了微通道控温和射流冲击控温两种技术的优点，具有反应快捷、控温精确、压降损耗小、均温性能良好、运行安全稳定的优点。
一种管理器方法新能源

[发明专利]微通道相变换热系统-CN202211202047.7在审
发明人： 张衍俊;刘珠明;周洁林;李全同;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种微通道相变换热系统，其包括散热主体；散热主体具有微通道单元，微通道单元中设有起泡结构；散热主体还具有用于向微通道单元内添加射流的射流单元。由于在微通道单元中设置了起泡结构，能够使微通道单元中的冷媒保持在沸腾传热阶段，使得该相变换热系统的换热方式为相变传热，在提高了该相变换热系统的传热系数的同时还能够降低压降损耗；而且，由于设置了能够向微通道单元内添加射流的射流单元，还可以增加微通道单元内流体的湍动程度，提升气液两相流动均匀混合的程度，均温效果好，有效地解决了传统微通道换热器在相变传热过程中的流动沸腾不稳定的问题。
通道相变系统

[发明专利]一种微通道相变散热装置及其散热方法-CN202011438569.8有效
发明人： 张衍俊;刘珠明;李全同;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L23/367 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道相变散热装置及其散热方法，包括由上而下依次叠放连接的盖板、分流板、导流板及微通道板；在微通道板上设置特殊的分流板和导流板，使得流体以均匀分流的形式进入和流出微通道板。通过微通道板上几个相互独立的换热单元集成在一起，来实现较好的冷却和均温效果，有效的解决了现有微通道散热器内由于气泡过大所导致的气泡堵塞流道和压降损失过大的问题。该型散热器具有冷却和均温效果好，流动压降损失小的特点。
一种通道相变散热装置及其方法

[发明专利]一种半导体器件及其制作方法-CN202111497512.X在审
发明人：李全同;刘珠明;王长安;宋鹏程;张衍俊;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体器件及其制作方法，涉及半导体技术领域。本申请提供了一种半导体器件及其制作方法，首先提供一衬底，然后基于衬底生长氮化镓层，并对氮化镓层进行铟掺杂，其中，掺杂后的铟组分大于9.5％，最后基于掺杂后的氮化镓层生长外延层，以制作半导体器件。本申请提供的半导体器件及其制作方法具有降低了半导体器件的螺型位错且工艺较为简单的效果。
一种半导体器件及其制作方法

[实用新型]一种可远程控制的自动弹射装置-CN202120731905.1有效
发明人：郭强;张衍俊;闫娜娜;张永轩;王国栋;姚洁;王涛;赵柯;李巍;王佳佳;朱小伟;牛峰 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七一六研究所
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B65G31/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可远程控制的自动弹射装置，包括：安装座且与安装座转动连接的活动挂钩；活动挂钩配合且用于与被投放的仪器相连的卡钩；用于活动挂钩与卡钩咬合的第一弹性机构；用以撞击活动挂钩转动压缩第一弹性机构实现活动挂钩与卡钩分离的电磁击发机构；所述安装座与被投放的仪器之间设导向机构和用于弹射分离的弹射机构本装置通过电磁信号进行控制，实现自动弹射功能，适用于无人远程自动控制环境。
一种远程控制自动弹射装置

[发明专利]一种电池及电池多流道板式相变热管理系统和方法-CN202110344003.7有效
发明人： 张衍俊;刘珠明;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01M10/613 文献下载
摘要：本发明涉及新能源汽车动力电池技术领域，公开了一种电池及电池多流道板式相变热管理系统和方法。所述电池包括电池箱，所述电池箱包括多层流层，每层流层都具有多个曲折流道，可以使冷媒更好的和电芯进行换热，使冷媒相变技术可以更广泛的应用于电池相变热控制；所述相变热管理系统可以在电池处于不同温度时进入不同的工作模式，实现对电池的加热或冷却；所述方法应用上述的相变热管理系统，可以实现在不同温度和压力调节下对电池箱温度和压力的调节，实现对电池温度进行控制的目的。
一种电池多流道板式相变管理系统方法

[发明专利]TEM截面样品的制备方法和TEM截面样品-CN202111312641.7在审
发明人：李全同;刘珠明;张衍俊;王长安;宋鹏程;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种TEM截面样品的制备方法和TEM截面样品，涉及纳米材料技术领域，其首先制备带有标记槽的待处理样品，且待处理样品的观测区域与标记槽在待处理样品的延展方向上间隔设置，然后对待处理样品上具有标记槽的表面进行减薄处理，以扩大标记槽的宽度和深度，当标记槽的边缘到达观测区域时，停止离子束减薄处理。相较于现有技术，本发明在观测区域附近引入标记槽，从而实现对样品进行定向减薄，进而实现减薄样品的厚度可控，当标识槽底部到达观测时，停止离子束减薄，有效解决了减薄过程中截面样品观测处被去除掉的问题，极大提高了截面样品的制备成功率和测试效率，有效降低了截面样品的制备成本，缩短了制备时间。
tem 截面样品制备方法

[发明专利]一种叶脉仿生微通道耦合射流换热系统-CN202110715828.5在审
发明人： 张衍俊;刘珠明;陈志涛 -专利权人：广东省科学院半导体研究所
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种叶脉仿生微通道耦合射流换热系统，包括依次叠压连接的盖板、射流板和微通道板。本发明的叶脉仿生微通道耦合射流换热系统通过仿生植物叶脉网络结构，有效提高了换热系统内流体的分配均匀程度，使得冷媒能够快速、均匀地进入和排出换热系统，从而大大提升了换热系统整体的冷却和均温效果。
一种叶脉仿生通道耦合射流系统

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