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[发明专利]长晶炉内监测方法及长晶炉-CN201910336795.6有效
发明人：夏秋良;范雪峰 -专利权人：苏州新美光纳米科技有限公司
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉，该方法包括：接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据；第一图像数据为单晶硅棒的图像数据；第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据；第三图像数据为坩埚的图像数据；接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据；尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据；接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据；接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息；根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像可通过三维立体可视图像观测长晶炉内各个方位的情况，实现全面监测。
长晶炉内监测方法长晶炉

[实用新型]一种液压式坩埚长晶炉-CN201620670756.1有效
发明人：于国建;王希杰;刘家朋;梁庆瑞 -专利权人：山东天岳先进材料科技有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及长晶炉技术领域，具体为一种液压式坩埚长晶炉，包括长晶炉本体，所述长晶炉本体内腔中设有坩埚；所述长晶炉本体的上端铰接有炉盖；所述长晶炉本体的外侧壁设有控制器；所述长晶炉本体的内腔底端设有加热板，且加热板的上端接触坩埚的下端；所述长晶炉本体内设有保温层；所述长晶炉本体的底端设有液压缸，且液压缸放置在保温层内；所述液压缸通过连杆连接坩埚；所述控制器分别电性连接液压缸和加热板；此液压式坩埚长晶炉结构简单，通过加入液压缸和连杆，实现坩埚在长晶炉内的上下移动，方便坩埚内物体的轻拿轻放，防止物料破坏，进而影响籽晶的培育效率，此结构方便操作。
一种液压式坩埚长晶炉

[发明专利]蓝宝石晶体的生长方法及蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构-CN201110133672.6无效
发明人：谢旭明;张新忠;曹俊辉 -专利权人：无锡斯达新能源科技有限公司
申请日： 2011-05-23 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种蓝宝石晶体的生长方法及蓝宝石晶体生长有的长晶炉结构，其包括如下步骤：a、将40%~60%的氧化铝晶体、20%~30%的氧化铝晶块及10%~30%的氧化铝晶粒按照重量百分比均匀混合后放入坩埚中；b、将具有氧化铝晶体的坩埚放入长晶炉中并抽真空，将长晶炉的温度加热至2200℃；c、坩埚中的氧化铝晶体加热至熔融状态时，使坩埚的温度降至2150℃~2200℃间；并当坩埚中出现固-液界面时，开始引晶；d、使坩埚的温度降至1900℃~2100℃，以便长晶；e、对长晶炉保温；f、对长晶炉进行退火，使长晶炉内的温度由2000℃逐渐降至1000℃；g、长晶炉的温度逐渐降至常温；h、对长晶炉内以氩气破真空，开启长晶炉并取出蓝宝石晶体
蓝宝石晶体生长方法晶体生长长晶炉结构

[发明专利]一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备-CN202210799850.7在审
发明人：李健;宋亚滨;王小刚 -专利权人：江苏吉星新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本申请提供一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备。碳化硅长晶装置包括：长晶炉、坩埚、保温层及加热结构，长晶炉具有彼此相背的第一表面和第二表面，长晶炉设置有自第一表面向第二表面延伸的第一腔室，坩埚设置于长晶炉的第一腔室内，坩埚设置有自第一表面向第二表面延伸的第二腔室，第二腔室内用于盛放原料，保温层覆盖于坩埚朝向长晶炉内表面的表面，保温层对应长晶炉第二表面一端的厚度大于对应长晶炉第一表面一端的厚度，加热结构设置于长晶炉临近第二表面的位置，且部分加热结构位于长晶炉的外侧
一种碳化硅装置方法电子设备

[实用新型]碳化硅长晶炉冷却系统-CN202320427344.5有效
发明人：张哲;卫元元;吕芳栋;罗鸿;叶水全;李书文;王奇缘;徐江;李建;简征程;张建;卿成;张旭 -专利权人：通威微电子有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种碳化硅长晶炉冷却系统，涉及碳化硅长晶设备技术领域。碳化硅长晶炉冷却系统包括制冷机组、换热器、第一循环管路、第二循环管路、连接管和高位水箱；制冷机组与换热器通过第一循环管路连接形成第一循环回路，第一循环管路上设置有第一水泵，换热器通过第二循环管路与长晶炉连接形成第二循环回路，第二循环管路上设置有第二水泵，高位水箱通过连接管连接到第二循环管路上，高位水箱位于换热器、第二循环管路以及长晶炉的上方，其中，第一循环管路中的水与第二循环管路中的水通过换热器换热。碳化硅长晶炉冷却系统能够将冷却水在长晶炉内的停留时间控制在理想范围内，保证对长晶炉的冷却效果。
碳化硅长晶炉冷却系统

[发明专利]蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾-CN201210283961.9无效
发明人：朴钟仁;洪荣坤;金玹洙;李钟赞 -专利权人： BIEMT株式会社;BIAM株式会社
申请日： 2012-08-10 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾。本发明的蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾，其包括重叠摆放，以多层结构环抱蓝宝石晶锭长晶炉的两个以上圆筒形隔热板；介于各圆筒形隔热板之间，维持各圆筒形隔热板之间间隔的隔圈；贯穿组装两个以上圆筒形隔热板的组装部件本发明的蓝宝石晶锭制造用长晶炉侧盾易于提高蓝宝石晶锭长晶炉内的影响温度分布的侧盾形状精密度和摆放精密度。
蓝宝石制造用长晶炉侧盾

[实用新型]一种双路型蓝宝石长晶炉测温装置-CN201320161318.9有效
发明人：姚亮;方建雄;金启源;刘海滨;李呼相 -专利权人：苏州海铂晶体有限公司
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双路型蓝宝石长晶炉测温装置，包括长晶炉炉体、设置在所述长晶炉炉体内壁的保温层，所述保温层上设有氩气通入口，所述长晶炉炉体内腔靠近氩气通入口的位置设有红外线测量高温计A，所述长晶炉炉体顶端设置红外线测量高温计本实用新型利用红外线测量高温计对坩埚内的温度场进行监测，响应迅速，测量精度较高，并且本装置利用采用双路型红外线测量高温计，可以实现长晶炉炉壁处的红外线测量高温计不能正常读数后，利用顶端的红外线测量高温计进行温度监测读数，可以实现对炉内温度场的实时监控。
一种双路型蓝宝石长晶炉测温装置

[实用新型]铸锭炉长晶测量杆-CN201220005728.X有效
发明人：武鹏;胡亚兰 -专利权人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
申请日： 2012-01-06 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铸锭炉长晶测量杆，用于在铸锭炉内测量多晶硅铸锭时晶体硅的熔化和长晶速率。所述铸锭炉长晶测量杆包括可上下升降地固持于铸锭炉内的固持段和用于测量晶体硅的熔化和长晶速率的测量段，所述测量段可拆卸地安装于固持段。在测量一个晶体硅的熔化和长晶速率时，固持段可在铸锭炉内上下升降但不接触硅液，只有测量段多次接触硅液，以测量所述晶体硅的熔化和长晶速率。测量结束后，只需要拆卸并更换测量段即可进行下一个晶体硅的熔化和长晶速率的测量，固持段可重复使用，避免了现有技术中更换整根石英杆带来浪费的情况发生，能有效节省成本。
铸锭炉长晶测量

[实用新型]晶体厚度均匀生长的碳化硅长晶炉-CN202221878439.0有效
发明人：蔡国基;郭正富;许仙薇 -专利权人：青岛嘉展力拓半导体有限责任公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C30B13/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶体厚度均匀生长的碳化硅长晶炉，属于碳化硅长晶技术领域。其技术方案为：包括长晶炉，长晶炉内设置有石墨坩埚，石墨坩埚的顶部设置有石墨坩埚台座，石墨坩埚台座上黏合有籽晶，石墨坩埚内填充有碳化硅粉料；所述长晶炉的顶部和侧面分别设置有感应加热线圈，长晶炉的顶部和底部分别安装有红外线测温器；长晶炉内部位于石墨坩埚的上方设置有冷却机构，冷却机构连接有升降机构；冷却机构包括若干个同心连接的冷却环，每个冷却环分别连接有冷却系统。本实用新型可稳定控制晶体生长时籽晶各区域的温度，籽晶尺寸因扩径变大时亦可调整长晶所需温度，从而得到高质量及更大尺寸的碳化硅晶体。
晶体厚度均匀生长碳化硅长晶炉

[发明专利]一种低能耗蓝宝石晶体生长炉-CN201710024456.5在审
发明人：蔺崇召;姚刚;孙占喜;李吾臣 -专利权人：许昌天戈硅业科技有限公司
申请日： 2017-01-13 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： C30B29/20 文献下载
摘要：本发明公开一种低能耗蓝宝石长晶炉，包括炉体、坩埚、加热系统、冷却器、换热器和控制器，加热系统用于炉体内部的加热，冷却器用于冷却循环水，换热器具有可进行热交换的循环水流道和保护气流道。本发明的蓝宝石长晶炉为较为环保的低能耗长晶炉，长晶炉内的加热系统可灵活调节，不需要完全包裹坩埚的加热元件，但是通过加热元件的不断移动，就能够保证坩埚达到所需的长晶温度，本发明的长晶炉还配有换热器，换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换，利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温，带有一定温度的保护气进入炉体内，能进一步提高炉内的保温效果，实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。
一种能耗蓝宝石晶体生长

[发明专利]长晶炉的火色色温量测装置及其方法-CN201110053482.3无效
发明人：谢旭明 -专利权人：宏贸科技有限公司
申请日： 2011-03-07 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01J5/60 文献下载
摘要：本发明提供一种长晶炉的火色色温量测装置及其方法。本发明的长晶炉的火色色温量测装置主要包含有一影像读取装置与一运算处理单元。影像读取装置是装设于一长晶炉的一观察孔上，以透过观察孔读取长晶炉内的一液态原料的至少一母画面。运算处理装置是与影像读取装置电性连接，以接收母画面，并由母画面选取一子画面，将子画面的RGB三原色数值进行火色色温转换，以获得液态原料的温度，形成全自动化的长晶炉。
长晶炉色温装置及其方法

[实用新型]测温装置-CN201120041574.5有效
发明人：谢旭明 -专利权人：宏贸科技有限公司
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种装设于一蓝宝石长晶炉上的测温装置。此蓝宝石长晶炉包含有一观察孔上与一设置于蓝宝石长晶炉炉内的加热器，观察孔上设置有一玻璃。上述的氧化锆管是设置于蓝宝石长晶炉内，且前端邻近玻璃，末端延伸至加热器。上述的红外线温度侦测器是设置于蓝宝石长晶炉外且检测端对应观察孔，红外线温度侦测器发出红外光直接穿透过玻璃量测氧化锆管末端的温度，以获得准确性高的温度量测值。
测温装置

[实用新型]气体层流的长晶炉-CN202223132579.6有效
发明人：袁刚俊;苏兆鸣 -专利权人：通威微电子有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种气体层流的长晶炉，气体层流的长晶炉包括外腔体、进气管、内腔体、坩埚、层流板和多个出气管，进气管安装在外腔体的顶部；内腔体安装在外腔体内、且位于进气管的下方；坩埚设置在内腔体的内部；层流板安装在外腔体内、且位于内腔体的下方；多个出气管间隔安装在外腔体的底部、且位于层流板的下方；其中，进气管用于向外腔体内通入气体，气体经过层流板，由出气管抽出，气体依次渗过内腔体的侧壁和坩埚的侧壁、进入长晶区。气体层流的长晶炉能够使气体在外腔体从上至下的流动呈层流状态，气体也能够均匀地渗透至长晶区，提高坩埚内掺杂浓度的均匀性。
气体层流长晶炉

[发明专利]碳化硅长晶炉超导冷却机组-CN201910821713.7在审
发明人：徐建峰 -专利权人：青岛云创环境科技有限公司
申请日： 2019-09-02 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅长晶炉超导冷却机组，包括外壳及位于外壳内部的多组相互连接的板式换热器和冷凝器；所述板式换热器通过两条管道与长晶炉炉体连接，一条管道自长晶炉炉体输送载冷剂至板式换热器内，载冷剂经所述板式换热器降温后，经另一条管道输送至水晶炉炉体内；所述板式换热器内接收载冷剂的管道联通至冷凝器内，所述冷凝器将载冷剂降温后，通过另一条管道经板式换热器内部输送至长晶炉炉体内。
板式换热器长晶炉冷凝器载冷剂超导冷却碳化硅炉体冷却塔体内板式换热器降温机组管道输送冷却方式外壳内部恒定的联通炉炉机房水晶冷却能耗消耗水源

[实用新型]碳化硅长晶炉超导冷却机组-CN201921440533.6有效
发明人：徐建峰 -专利权人：青岛云创环境科技有限公司
申请日： 2019-09-02 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅长晶炉超导冷却机组，包括外壳及位于外壳内部的多组相互连接的板式换热器和冷凝器；所述板式换热器通过两条管道与长晶炉炉体连接，一条管道自长晶炉炉体输送载冷剂至板式换热器内，载冷剂经所述板式换热器降温后，经另一条管道输送至水晶炉炉体内；所述板式换热器内接收载冷剂的管道联通至冷凝器内，所述冷凝器将载冷剂降温后，通过另一条管道经板式换热器内部输送至长晶炉炉体内。
碳化硅长晶炉超导冷却机组

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