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[发明专利]一种锆合金氧化膜应力及开裂的计算方法、装置和设备-CN202310549513.7在审
发明人：张君松;龙冲生;赵毅;吕俊男;韦天国 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G16C60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种锆合金氧化膜应力及开裂的计算方法、装置和设备，本发明属于锆合金腐蚀动力学技术领域；方法包括基于统计物理和脆性材料统计强度原理，建立锆合金氧化膜应力统计模型和锆合金氧化膜开裂统计模型；采用所述锆合金氧化膜应力统计模型和锆合金氧化膜开裂统计模型计算锆合金氧化膜应力及开裂情况本发明从氧化膜的生长触发，基于统计物理和脆性材料统计强度原理，建立锆合金氧化膜应力与开裂的统计模型，获得氧化膜应力与开裂行为的变化规律，为锆合金腐蚀动力学奠定了坚实的基础。
一种合金氧化应力开裂计算方法装置设备

[发明专利]用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构-CN201510962269.2有效
发明人：周烽;王辉;郭本银;谢耀;王丽萍 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-21 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：用于极紫外光刻装置中的锆膜置换机构，属于极紫外光刻相关技术领域；本机构为了解决真空环境下锆膜更换的技术问题；本机构的锆膜安装板一直与法兰处于压紧状态，一旦监测到锆膜有破损，首先利用直线运动作动器推动锆膜安装板，把锆膜安装板与法兰脱开，然后驱动步进电机将锆膜安装板移动到下一个锆膜的位置，最后利用直线运动作动器推动锆膜安装板，使之与真空腔法兰压紧，从而完成锆膜更换；本机构可以在不破坏高真空环境的情况下进行破损后的锆膜更换
用于紫外光刻装置中的置换机构

[发明专利]镁合金表面上锆基薄膜的修复方法-CN201510341957.7有效
发明人：崔秀芳;金国;刘喆;宋佳慧;李洋;谭娜 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2015-06-18 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： C25D11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种镁合金表面上锆基薄膜的修复方法，采用电沉积和化学沉积使得含锆离子的成膜溶液在所述锆基薄膜的失效部位进行沉积，以形成致密的锆基转化膜。本发明采用充分吸收了成膜液的导电载体均匀地涂擦转化膜失效破损部位，由于采用了电沉积，有效地促进了锆基转化膜的沉积，促使转化膜在失效部位迅速形成，从而在破损部位重新形成了具有防护作用的致密锆基转化膜。该方法制备的锆基转化膜裂纹宽度较小，更为致密，有效地抑制了锆基转化膜失效后的腐蚀过程，从而有效地延长了零件的服役期限。
镁合金表面上薄膜修复方法

[发明专利]一种钛表面氧化锆复合陶瓷膜层的制备方法-CN201610221224.4在审
发明人：高广睿;王宝云;罗小峰;屈静;刘晶;郑晓晨 -专利权人：西安赛福斯材料防护有限责任公司
申请日： 2016-04-11 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛表面氧化锆复合陶瓷膜层的制备方法，该方法为：1、在钛零件表面采用真空离子镀方法制备锆膜层，通过调整镀膜工艺参数，沉积制备厚度1～50μm的锆膜层；2、将制备了锆涂层的工件进行真空热处理，钛工件表面锆膜层与基体进一步互扩散，获得一定厚度的钛、锆互扩散层；3、将表面制备了锆扩散层的钛工件进行微弧氧化处理，工件表面生成含氧化钛的复合氧化锆陶瓷膜层，陶瓷层的厚度1～100μm；氧化锆含量10本发明采用离子镀膜与微弧氧化技术在钛及钛合金表面制备氧化锆复合陶瓷膜层，通过调节基体表面沉积膜层厚度以及扩散热处理获得不同锆含量的过渡层，最终通过微弧氧化在钛基体表面获得不同厚度和氧化锆含量的复合陶瓷膜层
一种表面氧化锆复合陶瓷膜制备方法

[发明专利]成膜方法、成膜装置-CN201210082649.3无效
发明人：两角友一朗;菅原卓也;秋山浩二;菱屋晋吾;广田俊幸;清村贵利 -专利权人：尔必达存储器株式会社;东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-03-26 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明涉及成膜含有氧化锆膜的电介质膜的方法，该方法具有：供给由在结构中含有环戊二烯基环的锆化合物构成的锆原料和氧化剂，在被处理基板上成膜氧化锆膜的工序；供给由在结构中含有环戊二烯基环的钛化合物构成的钛原料和氧化剂，在上述氧化锆膜上成膜氧化钛膜的工序。
方法装置

[发明专利]一种锆表面阳极氧化的处理方法-CN201010579465.9无效
发明人：刘吉坡;王娅辉;刘金浪;叶建林;宋发举;张成;邢炜;毛辉 -专利权人：西安优耐特容器制造有限公司
申请日： 2010-12-08 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： C25D11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种锆表面阳极氧化的处理方法，该方法在对需阳极化的锆材表面进行酸洗，然后通过阳极氧化处理在锆表面生成一层氧化膜，最后对生成氧化膜锆表面进行清洗。本发明的处理方法使锆材表面生成一层氧化膜，这层氧化膜能有效提高锆材料的耐腐蚀能力，提高设备寿命，适用于需要提高耐腐蚀能力的锆材料表面。
一种表面阳极氧化处理方法

[发明专利]一种层状磷酸锆基分子筛膜及其制备方法-CN201911140700.X有效
发明人：刘毅;纪涛涛 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-11-20 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B01D71/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种层状磷酸锆基分子筛膜及其制备方法。磷酸锆基分子筛膜包括磷酸锆功能膜层和载体；磷酸锆膜层为层状结构。磷酸锆基分子筛膜的制备过程：将氧化锆溶胶涂覆在载体的表面，经高温煅烧得到氧化锆凝胶层修饰的载体；将反应试剂和反应助剂溶解于去离子水中得到反应前驱体溶液；将氧化锆凝胶层修饰的载体和反应前驱体溶液装入反应釜中进行水热反应；反应结束后，经过洗涤干燥即可得到层状磷酸锆基分子筛膜；本发明制备的层状磷酸锆基分子筛膜连生性良好，层间距离可灵活调控，具有优异的气体及液体分离性能。膜材料热稳定性、化学稳定性及力学稳定性均较为良好，同时制备工艺简单，成本较低，普适性强，具有较好的工业分离应用前景。
一种层状磷酸分子筛及其制备方法

[发明专利]一种定量测试金属表面锆基转化膜层膜重的方法-CN202310790875.5在审
发明人：魏大力;赵凯利;薛烽;张荣金;杨志平;聂晓霖 -专利权人：南京科润工业介质股份有限公司;东南大学
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01N23/223 文献下载
摘要：本发明公开了一种定量测试金属表面锆基转化膜层膜重的方法，该方法先建立关于锆元素化学计量值与转化膜层中锆元素荧光强度的函数关系，得到标准曲线，然后在生产现场利用台式或手持式荧光光谱仪将得到的转化膜层中锆元素荧光强度直接定量得到锆基转化膜层的锆含量本发明基于ICP‑XRF耦合的光谱联用测试方法，能够实现对金属表面氧化锆转化膜层中锆含量的定量测试，生产现场利用台式或便携式荧光光谱仪，调用已建立的工作曲线，可实现在数分钟内，快速准确的读取金属产品表面锆基转化膜层重量
一种定量测试金属表面转化膜层膜重方法

[发明专利]一种在镁合金表面制备锆基有色转化膜的处理液及处理方法-CN201310438945.7有效
发明人：杜军;王建;李文芳;穆松林 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2013-09-24 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： C23C22/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种在镁合金表面制备锆基有色转化膜的处理液，每升处理液中含有0.2～2.5g含锆的主成膜剂、0.2～1.5g含锆的成膜氧化剂、0.5～1.5g成膜辅助剂、0.5～3.0g络合着色剂、0.5～2.0g溶液pH缓冲剂、0.01～0.05g溶液pH调节剂；所述含锆的主成膜剂由氟锆酸与氟锆酸盐以任意比例复配而成；所述含锆的成膜氧化剂为氧氯化锆；所述成膜辅助剂为氟钛酸、氟钛酸钾、氟钛酸铵或氟钛酸钠中的一种本发明还公开了利用上述处理液镁合金表面制备锆基有色转化膜的处理方法。本发明生成的转化膜耐蚀性较好，且具有颜色，成膜速度快，环境友好。
一种镁合金表面制备有色转化处理方法

[发明专利]一种锆铌合金表面非化学计量比氧化膜及其制备方法-CN201711156469.4有效
发明人：汪瑞军;詹华;关成军;袁祖浩 -专利权人：北京金轮坤天特种机械有限公司;中国农业机械化科学研究院
申请日： 2017-11-20 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C23C8/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种锆铌合金表面非化学计量比氧化膜及其制备方法，将锆铌合金材料表面依次进行研磨和抛光，在含氧气氛炉中对锆铌合金进行直接氧化处理。本发明在锆铌合金材料表面获得锆氧比为1:(1～2)的非化学计量比的氧化膜，膜层的努氏硬度可达1200～1500HK。本发明所提供的锆铌合金材料表面制备非化学计量比氧化锆膜的方法，可有效改善锆铌合金的努氏硬度、提高表面氧化膜的致密性，从而改善其耐磨性和耐蚀性。
锆铌合金非化学计量比氧化膜制备努氏硬度耐磨性和耐蚀性表面氧化膜含氧气氛炉研磨和抛光氧化锆膜直接氧化致密性膜层锆氧

[发明专利]一种含锆膜层的镀膜玻璃及其制备方法-CN201510345204.3在审
发明人：吴昌飞;艾蒙雁 -专利权人：芜湖市晨曦新型建材科技有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： B32B17/06 文献下载
摘要：一种含锆膜层的镀膜玻璃及其制备方法，包括玻璃基片、镀制于玻璃基片表面的功能膜层、镀制于功能膜层表面的含锆膜层，含锆膜层材料为SiNx和ZrSiOxNy的混合物，该混合物中SiNx重量百分比为50％-70％，且58％-63％最佳；在玻璃基片上用磁控溅射方式沉积功能膜层，再用磁控溅射方式在功能膜层外沉积含锆膜层；上述步骤在真空度0.1Pa真空室内工作，含锆膜层沉积结束，释放真空，充入N₂/O₂体积比小于等于8的保护气体，辊道送出含锆膜层玻璃。本方法得到的含锆膜层镀膜玻璃，可以有效解决传统镀膜基片划伤、摩擦、氧化等问题，具有较高的实用价值和经济价值。
一种含锆膜层镀膜玻璃及其制备方法

[发明专利]一种汽车用高强钢表面锆化膜快速成膜的方法-CN202110501994.5在审
发明人：严森;李建中;刘包发;石俊杰;高宣雯;于凯 -专利权人：东北大学
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： C23C22/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种汽车用高强钢表面锆化膜快速成膜的方法，其中的锆基转化液为水溶液，包含1～7g/L的锆化剂、2～8g/L的氧化剂、0.2～10g/L的络合剂和0.2～1.5g/L的促进剂，将预处理后的基体浸泡在调节PH值后的锆基转化液中进行锆化处理。本发明采用低成本的添加剂配制锆基转化液，可处理表面条件较差的高强钢基板，在表面形成耐蚀性，附着力性能优良的锆基转化膜，同时引入新型添加剂改善锆基转化液的成膜性能，做到加速锆化成膜的效果。
一种汽车高强表面锆化膜快速成方法

[发明专利]一种镀膜材料及其制备方法-CN200710161056.5有效
发明人：郭丽芬;张旺;宫清 -专利权人：比亚迪股份有限公司
申请日： 2007-12-24 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： B32B33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种镀膜材料，该材料包括基材和镀覆在基材上的膜层，所述膜层包括依次镀覆在基材上的钛锆膜层和钛锆碳氮化合物膜层。还提供了一种镀膜材料的制备方法，该方法包括依次在形成钛锆膜层的磁控溅射条件下和形成钛锆碳氮化合物膜层的磁控溅射条件下，在磁控靶上施加电源使磁控靶上的靶材物质溅射并沉积在基材上，以形成依次镀覆在基材上的钛锆膜层和钛锆碳氮化合物膜层，所述靶材为钛锆镶嵌靶。本发明提供的镀膜材料，膜层为蓝色，色差小，颜色均匀，而且膜层的金属质感很强，结合力好，耐磨性和耐腐蚀性能优良。
一种镀膜材料及其制备方法

[发明专利]锆合金表面氧化锆/氮化铬复合膜及其制备方法与应用-CN201810477181.5有效
发明人：吴杰;李德军;董磊;邓建华;李国政;薛文斌 -专利权人：天津师范大学
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： C23C28/04 文献下载
摘要：本发明提供一种锆合金表面氧化锆/氮化铬复合膜及其制备方法与应用。所述的复合膜由氧化锆和氮化铬组成，其中氧化锆的厚度为5~20μm，氮化铬的厚度为1~4μm。先采用微弧氧化技术在锆合金表面原位生长一层氧化锆膜，电解液为含有硅酸钠、氢氧化钾和甘油的水溶液；再采用浸没式等离子体沉积技术在氧化锆膜的多孔状外层上沉积一层氮化铬膜，靶材为铬，工作气体为氮气。本发明主要解决了现有技术在锆合金表面制备抗腐蚀膜的效率低、性能提升幅度有限，易引入杂质元素等问题。
氮化铬锆合金复合膜表面氧化氧化锆膜氧化锆制备氮气表面原位生长等离子体沉积表面制备氮化铬膜工作气体抗腐蚀膜氢氧化钾微弧氧化性能提升杂质元素电解液多孔状硅酸钠浸没式甘油靶材沉积应用引入

[发明专利]滤光结构及其制造方法、成像系统及成像方法-CN202211260982.9在审
发明人：户权;吴晓斌;沙鹏飞;谢婉露;韩晓泉;王魁波;罗艳;李慧;马赫;谭芳蕊 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：该滤光结构包括由下而上依次层叠的锆膜、中间层膜和铝膜；所述中间层膜包括钼膜、铌膜或氮化锆膜。该滤光结构的制造方法包括：提供第一预设厚度的锆膜；在所述锆膜上镀上第二预设厚度的中间层膜，所述中间层膜包括钼膜、铌膜或氮化锆膜；在所述中间层膜上镀上第三预设厚度的铝膜，得到滤光结构。本申请实施例提供的滤光结构包括由下而上依次层叠的锆膜、中间层膜和铝膜，能够在很大程度上滤除杂散光，大大消除了杂散光的影响，从而提高了极紫外成像的成像质量，解决了相关技术中存在的对于杂散光的滤除效果不佳，
滤光结构及其制造方法成像系统

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