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[发明专利]一种硒化物靶溅射制备铜锌锡硒吸收层薄膜的方法及应用-CN202111328336.7在审
发明人：王书荣;李祥;李新毓;刘信;李秋莲 -专利权人：云南师范大学
申请日： 2021-11-10 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种硒化物靶溅射制备铜锌锡硒吸收层薄膜的方法，具体包括以下步骤：(1)衬底预处理；(2)钼层的制备；(3)铜锌锡硒预制层的制备：以Cu靶、ZnSe化合物靶、SnSe靶作为靶源，在所述钼层上按照ZnSe/SnSe/Cu的顺序溅射，即得到铜锌锡硒预制层；(4)铜锌锡硒吸收层薄膜的制备：将所述铜锌锡硒预制层制备完成后的所述衬底退火硒化处理后，得到一种硒化物靶溅射制备的铜锌锡硒吸收层薄膜；本发明的制备工艺简便、薄膜组分可控、样品制备周期短、薄膜重复性较好，可以制备出符合高效率铜锌锡硒薄膜太阳电池要求的贫铜富锌的铜锌锡硒吸收层薄膜。
一种硒化物靶溅射制备铜锌锡硒吸收薄膜方法应用

[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的硒化方法-CN201710202998.7在审
发明人：袁晓杰;张军;彭峰 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的硒化方法，涉及半导体光电材料技术领域；该方法包括如下步骤)以乙二硫醇和乙二胺混合液为溶剂，溶解硒粉制备硒溶胶；控制硒粉在硒溶胶的质量浓度为0.15～0.18g/mL；2)通过旋涂‐烘烤的方法在铜锌锡硫前驱薄膜的上表面制备硒薄膜；3)在直接快速退火工艺中实现铜锌锡硫前驱薄膜的硒化，制备出达到铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层要求的大晶粒铜锌锡硫硒薄膜。对比一般使用外部硒源快速硒化的工艺，本发明能促进硒化过程中硒源向铜锌锡硫薄膜的内部扩散，减少薄膜硒化过程中使用硒粉的量，能制备出达到铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层要求的大晶粒铜锌锡硫硒薄膜。
一种铜锌锡硫薄膜方法

[发明专利]铜锌锡硒太阳电池吸收层薄膜的制备方法-CN200910311903.0有效
发明人：魏浩;苏言杰;郭炜;张亚非;王艳艳 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2009-12-21 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种太阳能电池技术领域的铜锌锡硒太阳电池吸收层薄膜的制备方法，包括：制备铜锌锡硒纳米粒子；将铜锌锡硒纳米粒子溶于溶解剂中，经超声分散处理得到铜锌锡硒纳米粒子浆液；将铜锌锡硒纳米粒子浆液涂覆于基底上，对基底进行热处理，制得铜锌锡硒太阳电池吸收层薄膜。
铜锌锡硒太阳电池吸收薄膜制备方法

[发明专利]一种基于分子式墨水刮涂制备柔性铜锌锡硫硒薄膜及其器件的方法-CN202011334209.3有效
发明人：林显忠;徐菡;葛思洁;杨文韬;黄宇翔 -专利权人：中山大学
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于分子式墨水刮涂制备柔性铜锌锡硫硒薄膜的方法。通过刮涂法将分子式墨水前驱体溶液涂覆在柔性衬底材料的表面，高温烘干得到铜锌锡硫预置层薄膜，再经过退火硒化处理得到结晶性良好的柔性铜锌锡硫硒薄膜。本发明还公开了该柔性铜锌锡硫硒薄膜在太阳电池中的应用，并公开了一种基于分子式墨水刮涂制备柔性铜锌锡硫硒太阳电池的方法，通过在铜锌锡硫硒薄膜表面先后沉积CdS缓冲层、ZnO窗口层以及ITO透明电极层，最后在ITO层上沉积Ag电极得到所述铜锌锡硫硒太阳电池。
一种基于分子式墨水制备柔性铜锌锡硫硒薄膜及其器件方法

[发明专利]堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池及其制作方法-CN201210132239.5有效
发明人：林俊荣;杨能辉 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2012-04-28 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池及其制作方法。该堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池的制作方法，是依序于背电极层上形成含硫化合物层、硒化亚铜层与锡化锌层，经过硒化与硫化反应后制得硒化含硫化合物层与硒硫化太阳能吸收层，再沉积n型缓冲层与顶电极层制得堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池，其中硒硫化太阳能吸收层包括一低能隙铜锌锡硒层夹置于两高能隙铜锌锡硒硫层间，形成堆叠式太阳能吸收层。此外，本发明亦提供一种堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池，通过堆叠式太阳能吸收层提高光吸收率并且降低电子/空穴的复合率，藉以提升堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池的光电性质。
堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池及其制作方法

[发明专利]利用废旧黄铜制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体的方法-CN202110678331.0有效
发明人：刘芳洋;陈望献;潘逸宁;赵祥云;张宗良;蒋良兴;贾明 -专利权人：中南大学
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种利用废旧黄铜制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体的方法，该方法中，依次通过洗涤、氧化碱浸、蒸氨、酸溶、结晶这些步骤将黄铜中的铜锌合金制备成铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体所需金属盐，并且去除铜锌外大部分的杂质元素，并通过获得的铜锌的含量以及铜锌锡硫硒材料中的铜、锌、锡元素配比确定铜盐(或锌盐)、锡盐和硫源的添加量，并加入相应的有机溶剂，得到所需铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体溶液。本发明通过一步法从废旧金属直接合成铜锌锡硫硒太阳电池前驱体溶液，无需铜锌分离步骤，且痕量杂质残留对电池效率无明显影响，避免了传统回收需要消耗大量酸碱液和复杂流程，完成资源短流程再利用。
利用废旧黄铜制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱方法

[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收层及其制备方法、铜锌锡硫薄膜太阳能电池-CN202210315605.4在审
发明人：魏要伟;孟祥欢;沈永龙;李珍珍;段艳艳;韩炎兵;周珂;韩甲豪 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收层及其制备方法、铜锌锡硫薄膜太阳能电池，属于薄膜太阳能电池技术领域。本发明的铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收层的制备方法，包括以下步骤：将铜锌锡硫前驱体复合薄膜进行退火处理；所述铜锌锡硫前驱体复合薄膜包括铜锌锡硫前驱体层和硒化锑层，所述铜锌锡硫前驱体层主要由铜源、锌源、锡源和硫源组成由于硒化锑层的存在，铜锌锡硫前驱体层在退火处理中可以产生尺寸较大的晶粒，并且硒化锑层不会使铜锌锡硫前驱体层在退火处理中产生二次相。
一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收及其制备方法

[发明专利]一种铜锌锡硫、硒粉体的制备方法-CN201310667667.2有效
发明人：秦勇;吴巍炜;窦伟 -专利权人：兰州大学
申请日： 2013-12-07 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01L31/0749 文献下载
摘要：本发明公开一种铜锌锡硫或铜锌锡硒或铜锌锡硫硒粉体，如：CuZnSnS4、CuZnSnSe4和CuZnSn（SxSe4-x）的制备方法。本发明的方法是：首先将铜、锌、锡的水溶性盐通过溶液反应制备出铜锌锡粉体，然后将所得到的铜锌锡粉体与硫或硒或硫硒反应得到目标产物。
一种铜锌锡硫硒粉体制备方法

[发明专利]一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材及其制备方法和应用-CN201810261996.X有效
发明人：庄大明;赵明;吴逸轩;孙汝军;魏要伟;任国铵;张冷;吕循岩;彭孝;王晨;胡岚 -专利权人：清华大学
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种锑掺杂铜锌锡硫硒靶材及其制备方法。本发明首先将铜锌锡硫硒粉末和含Sb粉末球磨混合，得到原料混合物；然后对原料混合物进行烧结，得到锑掺杂铜锌锡硫硒靶材。采用本发明所述制备方法得到的锑掺杂铜锌锡硫硒靶材已经将锑元素和铜锌锡硫硒掺杂混合，直接采用溅射法来溅射得到锑掺杂铜锌锡硫硒吸收层薄膜即可，无需添加蒸发装置，操作简单。
铜锌锡硫硒锑掺杂靶材制备原料混合物吸收层溅射薄膜制备方法和应用晶粒掺杂混合球磨混合蒸发装置烧结溅射法锑元素应用

[发明专利]酸浸黄铜制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体溶液的方法-CN202210509989.3在审
发明人：刘芳洋;潘逸宁;陈望献;张宗良;蒋良兴;贾明 -专利权人：中南大学
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种酸浸黄铜一步法制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体溶液的方法，该方法通过洗涤、氧化酸浸、蒸发、添加锌盐、锡盐和硫脲这些步骤将铜锌合金制备成铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体溶液。本发明通过酸浸从废旧黄铜直接合成铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱体溶液，使用有机溶剂取代通常酸浸使用的水溶液，浸出得到的溶液可直接作为铜锌锡硫硒前驱体溶液。流程短，操作简单，可以低成本高效利用再生资源制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池。
黄铜制备铜锌锡硫硒薄膜太阳电池前驱溶液方法

[发明专利]一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法-CN201410514152.3有效
发明人：张春江 -专利权人：上海科慧太阳能技术有限公司
申请日： 2014-09-29 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种禁带宽度可控的铜锌锡硫硒薄膜材料的制备方法，其包括以下步骤：在沉积有背电极层的衬底上制备铜锌硒合金预制层；铜锌锡合金预制层在具有硫源及硒源的惰性气氛环境下进行热处理，得到铜锌锡硫硒薄膜材料采用上述方案，本发明采用同步硫化、硒化法，工艺流程简单，材料均匀性好，能实现铜锌锡硫硒薄膜材料的元素组分精确控制，禁带宽度可调，具有很高的市场应用价值。
一种宽度可控铜锌锡硫硒薄膜材料制备方法

[发明专利]一种具有硫组分梯度的铜锌锡硫硒薄膜的制备方法-CN202011448304.6有效
发明人：王书荣;杨帅;徐信;李新毓;李祥;王亭保 -专利权人：云南师范大学
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有硫组分梯度的铜锌锡硫硒薄膜的制备方法，包括以下步骤：将钠钙玻璃放入磁控溅射腔室，沉积双层钼背电极；利用磁控溅射系统，按ZnS/CuS/Sn/CuS的顺序进行多周期分步溅射，沉积铜锌锡硫预制层薄膜；将预制层在氩气条件下低温合金、后高温硒化制备出铜锌锡硒薄膜；将制备的铜锌锡硒薄膜放置于硫化炉进行硫的等离子体硫化，待S等离子体硫化结束后取出样品，冷却，得到具有硫组分梯度的铜锌锡硫硒薄膜，本发明的方法能够制备出高质量的具有带隙梯度的铜锌锡硫硒吸收层薄膜
一种具有组分梯度铜锌锡硫硒薄膜制备方法

[发明专利]铜锌锡硒太阳能电池及其制造方法-CN201210260078.8在审
发明人：李纪;马图腾;魏铭;朱长飞 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2012-07-25 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明提供涉及一种铜锌锡硒太阳能电池及其制造方法。更具体地，本发明的铜锌锡硒太阳能电池包括：衬底；设置在衬底上的背电极层；通过非真空电化学沉积而设置在背电极层上的铜锌锡硒吸收层；设置在铜锌锡硒吸收层上的缓冲层；依次设置在缓冲层上的本征氧化锌层和掺铝氧化锌层；以及设置在掺铝氧化锌层上的收集电极。本发明避免了稀有金属的使用，又实现了铜锌锡硒薄膜太阳能电池的低成本制造和工业化生产。
铜锌锡硒太阳能电池及其制造方法

[发明专利]一种自驱动薄膜光电探测器及其制备方法-CN202211273849.7在审
发明人：梁广兴;李传昊;陈烁;郑壮豪 -专利权人：深圳大学
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H01L31/0392 文献下载
摘要：本发明公开了一种自驱动薄膜光电探测器及其制备方法，方法包括步骤：提供衬底；在衬底上形成铜锌锡硫前驱体膜，对铜锌锡硫前驱体膜进行过饱和硒化处理，得到铜锌锡硫硒吸收层；采用化学水浴法在铜锌锡硫硒吸收层上沉积硫化镉缓冲层；采用磁控溅射法在硫化镉缓冲层上沉积氧化铟锡窗口层，热蒸发银电极，得到自驱动薄膜光电探测器。本发明通过采用溶液旋涂法和过饱和硒化处理制得了微米级晶粒紧密堆积且高载流子迁移率方向择优取向生长的高质量铜锌锡硫硒吸收层薄膜，并且由于铜锌锡硫硒吸收层薄膜具有择优取向的原子排列，减少了铜和锌的反位缺陷，
一种驱动薄膜光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法-CN201410638475.3有效
发明人：陈永生;符凯亮;张利伟 -专利权人：郑州大学
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明属于一种提高用于太阳能电池的铜锌锡硫薄膜质量的方法，包括以下步骤，硒化：在500-550℃下，采用固态硒源((硒粉或硒块))对铜锌锡硫薄膜进行硒化，硒化时间为20-40min，然后冷却至室温；硫化：将硒化后的铜锌锡硫薄膜在500-550℃下、固态硫源（硫粉或硫块）下硫化，硫化时间为20-40min，然后冷却至室温；二次硒化：在500-550℃下，采用固态硒源对硫化后的铜锌锡硫薄膜进行二次硒化，硒化时间为10-20min，然后冷却至室温；二次硫化：将二次硒化后的铜锌锡硫薄膜在500-550℃下、固态硫源下二次硫化，硫化时间为5-13min，然后冷却至室温。
一种提高用于太阳能电池铜锌锡硫薄膜质量方法

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