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[发明专利]离子源及其操作方法-CN201480037223.3有效
发明人：科斯特尔·拜洛;大卫·P·斯波德莱;杰·舒尔;奈尔·巴森 -专利权人：瓦里安半导体设备公司
申请日： 2014-05-02 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种离子源及其操作方法。所述离子源包括离子源腔室、配置在离子源腔室中且经设置以发射电子以产生电弧等离子体的阴极、以及经设置以将电子驱除回到电弧等离子体中的斥拒极。离子源腔室及阴极可包括耐火金属。离子源腔室还包括经设置以提供卤素物种至离子源腔室的气体源。在第一组操作条件下，反应性插件与卤素物种互相起作用以在离子源腔室中得到耐火金属的第一蚀刻速率，当离子源腔室中不配置有反应性插件时，在第一组操作条件下，离子源腔室中的耐火金属的第二蚀刻速率大于第一蚀刻速率该方案除了减少离子源表面的金属蚀刻外，使用硅做为反应性插件的实施例的优点包括没有额外的金属物种从硅插件被引入至电弧等离子体中。
延长生命离子源

[发明专利]用于液相色谱‑质谱仪的离子源组件-CN201510084072.3有效
发明人：刘召贵;张佶;潘翔;高擘;李琰;周立 -专利权人：江苏天瑞仪器股份有限公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明提出一种用于液相色谱‑质谱仪的离子源组件，包括固定板；所述离子源与固定板可枢转地相连；电流弹针设在固定板上，金属触块设在离子源上，电流弹针的伸缩针头朝向金属触块；当离子源打开时，电流弹针的伸缩针头与金属触块分离且伸出电流弹针，当离子源关闭时，电流弹针的伸缩针头与金属触块压接且缩回电流弹针。根据本发明实施例的用于液相色谱‑质谱仪的离子源组件，当所述离子源打开时，所述电流弹针的伸缩针头与所述金属触块分离且伸出所述电流弹针，当所述离子源关闭时，所述电流弹针的伸缩针头与所述金属触块压接且缩回所述电流弹针，离子源的打开与关闭不会对接电造成影响，避免了电线随着离子源开关而移动拉扯可能造成的风险。
用于色谱质谱仪离子源组件

[实用新型]用于液相色谱-质谱仪的离子源组件-CN201520112645.4有效
发明人：刘召贵;张佶;潘翔;高擘;李琰;周立 -专利权人：江苏天瑞仪器股份有限公司
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本实用新型提出一种用于液相色谱-质谱仪的离子源组件，包括：固定板；所述离子源与固定板可枢转地相连；电流弹针设在固定板上，金属触块设在离子源上，电流弹针的伸缩针头朝向金属触块；当离子源打开时，电流弹针的伸缩针头与金属触块分离且伸出电流弹针，当离子源关闭时，电流弹针的伸缩针头与金属触块压接且缩回电流弹针。根据本实用新型实施例的用于液相色谱-质谱仪的离子源组件，当所述离子源打开时，所述电流弹针的伸缩针头与所述金属触块分离且伸出所述电流弹针，当所述离子源关闭时，所述电流弹针的伸缩针头与所述金属触块压接且缩回所述电流弹针，离子源的打开与关闭不会对接电造成影响，避免了电线随着离子源开关而移动拉扯可能造成的风险。
用于色谱质谱仪离子源组件

[实用新型]多功能离子束复合处理系统-CN200920199384.9无效
发明人：张高会;李红卫;万向明;武建军;郑顺奇;焦志伟;于明州;周云;黄国青 -专利权人：中国计量学院
申请日： 2009-10-29 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多功能离子束复合处理系统，包括真空室、离子注入装置和磁控溅射装置，真空室连接真空泵，离子注入装置安装在真空室上部，真空室内部设有样品台，样品台位于离子注入装置下方；离子注入装置包括气体离子源和金属离子源，磁控溅射装置为磁控溅射靶，磁控溅射靶、气体离子源和金属离子源分别连接电源，金属离子源和磁控溅射靶安装在气体离子源侧部，金属离子源与磁控溅射靶分别连接角度调节装置。本实用新型集离子注入、磁控溅射、金属离子注入于一体，磁控溅射后(或磁控溅射时)既可以注入气体离子，也可以在注入气体离子的时候，还可以外加注入金属离子，从而既提高了沉积速度，又可以增加改性层厚度。
多功能离子束复合处理系统

[发明专利]能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源-CN200910242350.8无效
发明人：徐嘉东;李建明 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2009-12-09 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种能引出高束流金属离子的冷阴极潘宁离子源，该潘宁离子源的上阴极是一圆柱体，下阴极是一个带有圆孔的圆片，其制造材料是与引出金属离子同种的金属材料。这不仅可使离子源引出高熔点金属离子，还可以引出高束流的金属离子。这种改进的离子源的最大特点是结构简单，操作方便。
引出流金离子阴极离子源

[发明专利]一种电喷雾离子源装置-CN201110279418.7无效
发明人：聂宗秀;张宁;王佳宁;陈芮;周晓煜 -专利权人：中国科学院化学研究所
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H01J49/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种电喷雾离子源装置。所述离子源装置包括电喷雾离子源和直流电源；所述直流电源的正极和负极分别与所述电喷雾离子源的金属细管的一端相连接。所述装置利用欧姆加热的原理，将直流电源正负极直接连接到电喷雾离子源的金属细管上，金属细管可以实现快速升温，在较高温度下，被分析物的离子化效率会提高，从而提高了电喷雾离子源的灵敏度。
一种喷雾离子源装置

[发明专利]一种侧引出MEVVA金属离子源-CN201310488990.3无效
发明人：张磊 -专利权人：常州博锐恒电子科技有限公司
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公布了一种新型金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA)离子源的新结构。MEVVA离子源通过真空弧放电的方式使阴极材料变成离子，这些离子通过热扩散和低压引出到达引出电极，在引出电极高压作用下加速，得到很高的能量，形成离子束流。在MEVVA离子源工作过程中，真空弧放电固有伴随产生很多金属液滴，对离子源引出束流品质造成很坏影响，在本结构中，引出电极位于阴极侧面，可以解决MEVVA离子源液滴对污染的问题，并且离子源采用间冷式可推进阴极，提高了离子源的寿命，使其能够满足更高的工业化生产的条件。
一种引出 mevva 金属离子源

[发明专利]离子源电场结构及离子源装置-CN202010688577.1在审
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生;刘运鸿 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源电场结构及离子源装置，离子源电场结构包括：包括设于外壳内的阳极部件，在所述阳极部件与外壳之间还设置有一个隔离金属层；所述隔离金属层为与所述阳极部件相对应的环形设计，与所述阳极部件和外壳保持绝缘状态；所述隔离金属层通过所述阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制。本申请的技术方案，通过在阳极部件与外壳之间设置的与阳极部件相对应的环形设计的隔离金属层；隔离金属层处于悬浮电位，通过阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制；该电场结构可以有效控制离子源的离子束发射角范围，提高了离子源发射离子束的集中效果。
离子源电场结构装置

[实用新型]离子源电场结构及离子源装置-CN202021413081.5有效
发明人：刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;吴秋生;刘运鸿 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01J27/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源电场结构及离子源装置，离子源电场结构包括：包括设于外壳内的阳极部件，在所述阳极部件与外壳之间还设置有一个隔离金属层；所述隔离金属层为与所述阳极部件相对应的环形设计，与所述阳极部件和外壳保持绝缘状态；所述隔离金属层通过所述阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制。本申请的技术方案，通过在阳极部件与外壳之间设置的与阳极部件相对应的环形设计的隔离金属层；隔离金属层处于悬浮电位，通过阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制；该电场结构可以有效控制离子源的离子束发射角范围，提高了离子源发射离子束的集中效果。
离子源电场结构装置

[发明专利]金属气体混合离子注入机-CN200610124137.3有效
发明人：陶士慧;马山明;邵先华;叶围洲;蔡恩发;蔡坚将;吴观绵;吴九妹;蔡秀芳 -专利权人：珠海市恩博金属表面强化有限公司
申请日： 2006-12-08 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属气体混合离子注入机，旨在提供一种效果好的、使用范围大的金属气体混合离子注入机。该机包括金属离子源(1)、离子源供电系统、气体离子源(31)、供气系统、气体离子源供电系统、真空室(2)、工件靶台(3)、抽真空系统(4)、冷却系统和控制屏。本发明能将金属离子和气体离子混合注入到工件表面，从而使离子注入技术的使用范围得到大大扩展。
金属气体混合离子注入

[发明专利]一种彩色不锈钢真空镀膜装置-CN201710883122.3在审
发明人：胡建德 -专利权人：佛山市博雅钛金科技有限公司
申请日： 2017-09-26 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种彩色不锈钢真空镀膜装置，包括圆柱形外筒体，所述外筒体内设有与其同轴线布置的圆柱形内筒体，外筒体与内筒体之间设有用于带动金属管件转动的旋转机构，外筒体和内筒体上分别设有绕两者侧壁呈圆柱螺旋状布置的第一金属离子源组和第二金属离子源组，所述第一金属离子源组和第二金属离子源组中均包括多个沿同一圆柱螺旋线间隔分布的金属离子源，第一金属离子源组和第二金属离子源组螺旋方向相同且两者相对布置。本发明提供的彩色不锈钢真空镀膜装置，薄膜在金属管件上的附着更均匀，镀膜后的金属管件的成品质量更高，真空电镀工序所需的时间缩短至原来的一半，功效提高50％以上。
一种彩色不锈钢真空镀膜装置

[发明专利]根据SOH监测的运行中锂化-CN201811091133.9在审
发明人：罗恩·帕兹;尼尔·凯德姆;多龙·布尔施泰恩;尼尔·巴拉木;尼尔·保尔;丹尼尔·阿罗诺夫 -专利权人：存点有限公司
申请日： 2018-09-18 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： H01M10/42 文献下载
摘要：提供了系统和方法，其中利用相应袋中的电池堆的电极，原位调节电池堆和锂离子电池中的金属离子的水平。可以通过电连接到电极的袋中的金属离子源电化学地进行金属离子的调节。可以优化金属离子源的位置和形状以产生到电极表面的均匀金属离子移动和有利的SEI形成。金属离子源可以是可拆卸的，或者包括锂源，该锂源用于根据SoH参数在电池运行期间锂化阳极或阴极。金属离子的调节可以在单独的一个或多个电解质储存器中从金属离子源进行，在形成之前或期间循环含金属离子的电解质通过袋中的电池堆。
金属离子源金属离子电池堆袋中锂化电极锂源阴极电解质储存器电解质锂离子电池电化学电极表面均匀金属可拆卸的离子移动原位调节阳极电连接监测电池优化

[发明专利]包含啤酒花β酸和金属离子的口腔护理组合物-CN202080068615.1在审
发明人： A·A·拜格;A·R·比斯布洛克;S·J·圣约翰 -专利权人：宝洁公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： A61K8/81 文献下载
摘要：本发明公开了口腔护理组合物，其含有啤酒花β酸，诸如来自葎草科物种的提取物，和金属离子源，诸如锡离子源和/或锌离子源。公开了口腔护理组合物，其含有锡离子源和/或锌离子源以及一种或多种啤酒花β酸，诸如来自啤酒花的提取物。公开了口腔护理组合物，其含有锡离子源和/或锌离子源以及来源于啤酒花提取物的β酸。
包含啤酒花金属离子口腔护理组合

[发明专利]阴极活性材料-CN201010263778.3无效
发明人：黄碧颖;杰弗里·斯沃耶;耶齐德·M.·赛义迪;黄海涛 -专利权人：威伦斯技术公司
申请日： 2005-05-19 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： H01M4/58 文献下载
摘要：本发明涉及一种电活性的金属聚阴离子或混合金属聚阴离子，其由以下方法制备：形成含有聚合材料、溶剂、聚阴离子源或碱金属聚阴离子源，和至少一种金属离子源的浆液；在一定温度下加热该浆液达足够时间以去除溶剂，从而形成基本上干燥的混合物；在一定温度下加热该混合物达足够时间以制得电活性金属聚阴离子或混合金属聚阴离子。在一个可替代实施方案中，本发明的金属聚阴离子或混合金属聚阴离子由另一种方法制备，该方法包括将聚合材料与聚阴离子源或碱金属聚阴离子源以及至少一种金属离子源混合得到微细混合物，加热该混合物达到高于聚合材料熔点的温度
阴极活性材料

[发明专利]离子植入机-CN201811056894.0有效
发明人：田成俊;洪纪伦;吴宗祐;林宗贤 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备制造技术领域，公开了一种离子植入机，其中离子植入机包括：离子源结构，离子源结构所采用的离子源为电感耦合等离子体源；分析磁体，与离子源结构连接，能够接收离子源结构提供的植入离子束，并分离得到植入离子束；价态转换装置，与分析磁体连接，能够接收从分析磁体出射的植入离子束，并对植入离子束中离子的价态进行转化。本发明提供的离子植入机的离子源结构通过电感耦合等离子技术形成需要植入的等离子体。由于在离子源结构的整个工作过程中不需要金属器件参与，因此从源头减少了金属离子的产生。并且通过价态转换装置能够对植入离子束中的离子的价态进行转化，从而提高离子植入机的适用性。
离子植入

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