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[发明专利]检孔通止规-CN201410620086.8在审
发明人：安建国;何彬;卢贤超;梁诚 -专利权人：成都航天模塑股份有限公司
申请日： 2014-11-05 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： G01B3/50 文献下载
摘要：本发明公开一种检孔通止规，包括手柄和分别设置在手柄两端的检孔止端和检孔通端，其特征在于：所述检孔止端和检孔通端为开放性结构，该开放性结构为圆片状结构；检孔止端和检孔通端分别通过连接杆与手柄两端连接，两个连接杆的长度均等于需要检测的孔的检测部位的深度综上所述，该检孔通止规具有开放性结构通、止端，实现了对孔一定位置尺寸的准确检测。并且用料和常规检孔通止规差不多，加工成本不会增加，故成本上不会增加。
检孔通止规

[发明专利]硅通孔刻蚀方法-CN201310572268.8在审
发明人：尹志尧;许颂临;倪图强 -专利权人：中微半导体设备（上海）有限公司
申请日： 2013-11-15 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，公开了一硅通孔刻蚀方法，包括交替进行的刻蚀步骤和侧壁沉积步骤，所述侧壁沉积步骤的执行时间不超过相邻两次刻蚀步骤执行的间隔时间，且所述侧壁沉积步骤的执行时间逐次减少。本发明的优点是，随着刻蚀深度逐渐变深，侧壁沉积步骤的执行时间逐渐变短，通过调整重复执行的侧壁沉积步骤的执行时间，改变刻蚀过程中刻蚀气体和沉积气体的通入量，从而改变刻蚀结构表面及侧壁刻蚀气体、沉积气体及其产生的等离子体的分布
硅通孔刻蚀方法

[发明专利]通孔的制造方法-CN201810634871.7在审
发明人：赵东光;占琼 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供一种通孔的制造方法，通过增加一道通孔底部上的第一扩散阻挡层的过刻蚀以及一道第二扩散阻挡层的沉积，将去除光阻层时在通孔底部上堆积的残留物去除，并保证扩散阻挡层的整体效果，从而可以保证通孔的上下连通性，改善通孔的导通性能。
通孔扩散阻挡层残留物去除导通性能上下连通整体效果光阻层过刻蚀沉积去除堆积制造保证

[发明专利]自保持通孔探头-CN201210274821.5在审
发明人： D.T.恩格奎斯特;B.S.曼特尔 -专利权人：特克特朗尼克公司
申请日： 2012-08-03 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： G01R1/06 文献下载
摘要：一种自保持通孔探头，其中平面体构造为使得其边缘与被测器件的通孔的侧壁接合以产生点的电接触，并且该平面体阻止该平面体在插入后从通孔去除。平面体的边缘可包括产生点的电接触且阻止平面体在插入后从通孔去除的倒钩。平面体的插入到通孔中的端部可形成锥形尖端以便于插入。平面体的插入到通孔中的端部可包括阻止平面体在插入后从通孔去除的倒钩。平面体的边缘可包括止动件，其防止插入到通孔中的平面体进一步而超过止动件。
保持探头

[发明专利]蛭石轻质通孔陶粒-CN201610477815.8在审
发明人：何任红;马爱军;金白云;袁欣;袁长兵;许盛英;蒋文兰;许庆华 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： C04B38/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种蛭石轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，蛭石轻质通孔陶粒由膨胀蛭石、高粘凹凸棒石粘土、粉状凹凸棒发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩和硫酸亚铁组成。将蛭石轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为蛭石轻质通孔陶粒。蛭石轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从蛭石轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好和成活率高，蛭石轻质通孔陶粒适用于配制无土栽培基质和营养土。
蛭石轻质通孔陶粒

[发明专利]炉渣轻质通孔陶粒-CN201610477859.0在审
发明人：蒋文兰;许庆华;王鲁海;邱茗;金白云;袁欣;许盛英;袁长兵 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B33/132 文献下载
摘要：本发明公开了一种炉渣轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，炉渣轻质通孔陶粒由炉渣、高粘凹凸棒石粘土、粉状凹凸棒发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和硫酸亚铁组成。将炉渣轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为炉渣轻质通孔陶粒。炉渣轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从炉渣轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好、成活率高和寿命更长，适用于配制无土栽培基质和营养土。
炉渣轻质通孔陶粒

[发明专利]页岩轻质通孔陶粒-CN201610485034.3在审
发明人：袁欣;袁长兵;许盛英;金白云;吴一青;沈向东;许庆华;蒋文兰 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B38/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种页岩轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，页岩轻质通孔陶粒由页岩、高粘凹凸棒石粘土、粉状页岩发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和生石灰组成。将页岩轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为页岩轻质通孔陶粒。页岩轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从页岩轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好、成活率高和寿命更长，适用于配制无土栽培基质和营养土。
页岩轻质通孔陶粒

[发明专利]浮石轻质通孔陶粒-CN201610477760.0在审
发明人：蒋文兰;许庆华;黄允金;陈丽萍;金白云;袁欣;许盛英;袁长兵 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B33/132 文献下载
摘要：本发明公开了一种浮石轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，浮石轻质通孔陶粒由浮石、高粘凹凸棒石粘土、粉状浮石发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和硫酸亚铁组成。将浮石轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为浮石轻质通孔陶粒。浮石轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从浮石轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好，成活率高和寿命更长，适用于配制无土栽培基质和营养土。
浮石轻质通孔陶粒

[发明专利]膨润土轻质通孔陶粒-CN201610478230.8在审
发明人：邱茗;王跃皓;王鲁海;许庆华;金白云;蒋文兰;袁欣;许盛英 -专利权人：平凉华晨非金属应用科技有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B38/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种膨润土轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，膨润土轻质通孔陶粒由膨润土、粉状膨润土发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和硫酸亚铁组成。将膨润土轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为膨润土轻质通孔陶粒。膨润土轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从膨润土轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好和成活率高，膨润土轻质通孔陶粒适用于配制无土栽培基质和营养土。
膨润土轻质通孔陶粒

[发明专利]石墨轻质通孔陶粒-CN201610480787.5在审
发明人：许庆华;蒋文兰;金白云;马爱军;何任红;袁欣;袁长兵;许盛英 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B38/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种石墨轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，石墨轻质通孔陶粒由石墨、高粘凹凸棒石粘土、粉状凹凸棒发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和硫酸亚铁组成。将石墨轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为石墨轻质通孔陶粒。石墨轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从石墨轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好和成活率高，石墨轻质通孔陶粒适用于配制无土栽培基质和营养土。
石墨轻质通孔陶粒

[发明专利]石膏轻质通孔陶粒-CN201610480761.0在审
发明人：何任红;马爱军;金白云;袁欣;袁长兵;许盛英;蒋文兰;许庆华 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： C04B38/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种石膏轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，石膏轻质通孔陶粒由石膏、高粘凹凸棒石粘土、粉状石膏发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和生石灰组成。将石膏轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为石膏轻质通孔陶粒。石膏轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从石膏轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好、成活率高和寿命更长，适用于配制无土栽培基质和营养土。
石膏轻质通孔陶粒

[发明专利]麦饭石轻质通孔陶粒-CN201610478261.3在审
发明人：邱茗;王跃皓;王鲁海;许庆华;金白云;蒋文兰;袁欣;许盛英 -专利权人：平凉华晨非金属应用科技有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B33/132 文献下载
摘要：本发明公开了一种麦饭石轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，麦饭石轻质通孔陶粒由麦饭石、凹凸棒石粘土、粉状麦饭石发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石、硫酸亚铁和生石灰组成。将麦饭石轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为麦饭石轻质通孔陶粒。麦饭石轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从麦饭石轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好和成活率高，适用于配制无土栽培基质和营养土。
麦饭石轻质通孔陶粒

[发明专利]泥煤轻质通孔陶粒-CN201610480483.9在审
发明人：邱茗;王跃皓;王鲁海;许庆华;金白云;蒋文兰;袁欣;许盛英 -专利权人：平凉华晨非金属应用科技有限公司
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B38/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种泥煤轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，泥煤轻质通孔陶粒由泥煤、高粘凹凸棒石粘土、粉状凹凸棒发泡剂、活性白土废渣、漂珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和生石灰组成。将泥煤轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为泥煤轻质通孔陶粒。泥煤轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、没有有害病菌、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从泥煤轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好、成活率高和寿命更长，适用于配制无土栽培基质和营养土。
泥煤轻质通孔陶粒

[发明专利]木屑轻质通孔陶粒-CN201610483448.2在审
发明人：金白云;蒋文兰;许庆华;邱茗;王鲁海;袁欣;许盛英;袁长兵 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B33/132 文献下载
摘要：本发明公开了一种木屑轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，木屑轻质通孔陶粒由木屑、高粘凹凸棒石粘土、膨润土、粉状凹凸棒发泡剂、空心微珠、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石、轻质碳酸钙和生石灰组成。将木屑轻质通孔陶粒的配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为木屑轻质通孔陶粒。木屑轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从木屑轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好，成活率高和寿命更长，木屑轻质通孔陶粒适用于配制无土栽培基质和营养土。
木屑轻质通孔陶粒

[发明专利]污泥轻质通孔陶粒-CN201610477752.6在审
发明人：许庆华;蒋文兰;金白云;马爱军;何任红;袁欣;袁长兵;许盛英 -专利权人：蒋文兰
申请日： 2016-06-28 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C04B38/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种污泥轻质通孔陶粒，其技术方案的要点是，污泥轻质通孔陶粒由污泥、高粘凹凸棒石粘土、生石灰、活性白土、粉状凹凸棒发泡剂、空心微珠、轻质氧化镁、膨胀珍珠岩、膨胀蛭石和硫酸亚铁组成。将配料进行搅拌混合、挤压造粒、烘干、焙烧、保温、筛分后密封包装为污泥轻质通孔陶粒。污泥轻质通孔陶粒具有比表面积大、堆积密度小、吸水率高、透气性能优越、外观造型美观无异味、轻质强度好、微孔和大孔为一体的特点。用于培育或种植各种苗木、花草和蔬菜时，植物的根部将会从污泥轻质通孔陶粒里吸收水或液态肥的营养成分，确保植物生长发育好，成活率高和寿命更长，污泥轻质通孔陶粒适用于配制无土栽培基质和营养土。
污泥轻质通孔陶粒