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- [发明专利]基板盒清洗装置-CN201380047075.9有效
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坂下俊也
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修谷鲁电子机器股份有限公司
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2013-09-13
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2017-07-11
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H01L21/304
- 使从载置台到支承台的移载简易而不会变得复杂，而且，向支承台的定位也能够容易进行。在室(10)内具备清洗槽(40、50)，所述清洗槽(40、50)在将基板盒(C)的各部件分离的状态下容纳并清洗这些部件，设置在室(10)内对基板盒(C)进行支承的支承台(20)，具备搬送机构，该搬送机构在支承台(20)与清洗槽(40、50)之间对基板盒(C)的各部件进行搬送，在室(10)的开口(11)的外部设置载置台(13)，所述载置台(13)能够载置基板盒(C)，设置在载置台(13)与支承台(20)之间移载基板盒(C)的移载机构(30)，移载机构(30)能够移动至前进位置(R1)和后退位置(R2)这两个位置，所述前进位置(R1)是移载机构(30)搭载支承台(20)并前进到载置台(13)侧而进行与载置台(13)之间的基板盒(C)的接收和交付的位置，所述后退位置(R2)是移载机构(30)后退到室(10)内而在与搬送机构之间进行基板盒(C)的交付和接收的位置。
- 基板盒清洗装置
- [发明专利]晶圆载置装置-CN201980016643.6有效
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竹林央史
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日本碍子株式会社
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2019-09-10
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2023-10-03
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H01L21/683
- 本发明提供晶圆载置装置(10)，其具备：具备晶圆用静电卡盘(14)和晶圆用冷却板(16)的晶圆载置台(12)；具备聚焦环用静电卡盘(22)和聚焦环用冷却板(24)的聚焦环载置台(20)；以及配置于聚焦环载置台晶圆载置台(12)、聚焦环载置台(20)以及夹紧部件(30)分别分体。聚焦环用冷却板(24)的按压部(24b)将晶圆用冷却板凸缘部(16a)朝向设置板(82)按压。夹紧部件(30)在利用凸缘部(32)将凸缘部(24a)朝向设置板(82)按压的状态下利用螺栓(86)紧固于设置板(82)，由此将晶圆载置台(12)及聚焦环载置台(20)不直接紧固于设置板(82)地固定于设置板
- 晶圆载置装置
- [发明专利]搬运装置-CN200410069804.3有效
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上田胜彦
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株式会社大福
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2004-07-12
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2005-02-09
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B65G1/04
- 在检出进退自如地设置在输送台上的物品载置台上的物品载置状态的变化时，为了提高检出传感器的电缆的寿命，在输送台上的固定支柱(32b)上设置物品载置状态检出传感器(31)，在物品载置台(15)上设置反射板(若物品载置台(15)上物品载置状态没有发生变化，操作体(34)受物品载置台(15)上载置的容器(3)的推压操作使反射板(33)下降。于是，来自物品载置状态检出传感器(31)的激光(a)照射反射板(33)，物品载置状态检出传感器(31)检出反射板(33)。若物品载置台(15)上物品载置状态发生变化，操作体(34)因赋能被上升操作，使反射板(33)上升。于是，来自物品载置状态检出传感器(31)的激光(a)从反射板(33)移出，物品载置状态检出传感器(31)不能检出反射板(33)。
- 搬运装置
- [发明专利]载置台装置和处理装置-CN201911013080.3在审
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中川西学;铃木直行;居本伸二
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东京毅力科创株式会社
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2019-10-23
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2020-05-05
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H01L21/67
- 本发明提供一种能够在将所载置的基板冷却成极低温的状态下使该基板旋转且冷却性能较高的载置台装置和处理装置。载置台装置具备：载置台，其在真空容器内保持被处理基板；冷冻机，其具有被保持在极低温的冷头部；冷冻传导体，其以与冷头部接触了的状态固定配置，与载置台隔着间隙地设置到载置台的背面侧；绝热构造部，其以覆盖至少冷头部和冷冻传导体的与冷头部之间的连接部的方式设置，具有真空绝热构造；冷却流体，其向间隙供给，用于将冷冻传导体的冷能向所述载置台传导；以及载置台支承部，其被驱动机构驱动而旋转，将所述载置台支承成能够旋转。
- 载置台装置处理
- [发明专利]光造型装置用配件-CN202110443631.0在审
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大岛英司;榆井俊介
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康达智株式会社
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2021-04-23
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2021-10-26
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B29C64/124
- 光造型装置用配件具有能够相对于光造型装置的造型台进行装卸的基座部(301)、设置于基座部(301)的载置台支柱(302a～302d)以及被载置台支柱(302a～302d)支撑的片载置台(303)。基座部(301)具有能够供来自光扫描部的光线通过的第一开口部(301a)，片载置台(303)具有能够供来自光扫描部的光线通过的第二开口部(303a)。载置台支柱(302a～302d)在从光造型装置的光扫描部到片载置台(303)为止的距离比从光扫描部到造型台为止的距离长的位置支撑片载置台(303)。
- 造型装置配件
- [实用新型]光造型装置用配件-CN202120852535.7有效
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大岛英司;榆井俊介
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康达智株式会社
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2021-04-23
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2022-01-25
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B29C64/124
- 光造型装置用配件具有能够相对于光造型装置的造型台进行装卸的基座部(301)、设置于基座部(301)的载置台支柱(302a～302d)以及被载置台支柱(302a～302d)支撑的片载置台(303)。基座部(301)具有能够供来自光扫描部的光线通过的第一开口部(301a)，片载置台(303)具有能够供来自光扫描部的光线通过的第二开口部(303a)。载置台支柱(302a～302d)在从光造型装置的光扫描部到片载置台(303)为止的距离比从光扫描部到造型台为止的距离长的位置支撑片载置台(303)。
- 造型装置配件
- [发明专利]载置台构造以及等离子体成膜装置-CN201080018904.7无效
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藤里敏章;林志郎;横原宏行
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东京毅力科创株式会社
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2010-09-21
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2012-04-11
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C23C14/34
- 本发明提供一种载置台构造，其载置用于通过等离子体溅射形成金属膜的被处理体，并且外周侧隔着绝缘用的间隙被与接地侧连接的保护罩部件包围。本发明的载置台构造包括：由导电性材料构成，将上述被处理体载置于其上表面一侧且兼用作电极的载置台主体；离开上述载置台主体的下方配置且相对上述载置台主体以绝缘状态设置的由导电性材料构成的基台；支承上述基台且与接地侧连接的支柱；与上述载置台主体连接且供给偏压用的高频电力的高频供电线；和在施加有高频电力的热侧与接地侧之间形成的功率稳定用电容器部。上述功率稳定用电容器部的静电电容被设定为大于在上述载置台主体与上述保护罩部件之间形成的杂散电容的静电电容。
- 载置台构造以及等离子体装置
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