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[发明专利]一种半导体器件及其制备方法和电子装置-CN202310837880.7在审
发明人：蔡双;王新龙 -专利权人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
申请日： 2023-07-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件及其制备方法和电子装置，方法包括：提供盖帽基底，具有第一空腔和第二空腔；形成第一虚拟图案层，第一虚拟图案层覆盖第一空腔；形成第二虚拟图案层和第三虚拟图案层，第二虚拟图案层覆盖第一虚拟图案层且露出第一虚拟图案层的部分底面，第三虚拟图案层覆盖第二空腔且露出第二空腔的部分底面；沉积吸气材料层，第一虚拟图案层上的吸气材料层与第二虚拟图案层之间形成有第一剥离切入口；去除第一虚拟图案层、第二虚拟图案层和第三虚拟图案层，以使得第一虚拟图案层上的吸气材料层、第二虚拟图案层上的吸气材料层、及第三虚拟图案层上的吸气材料层同时被去除。
一种半导体器件及其制备方法电子装置

[发明专利]定制化虚拟图案填充方法-CN201510090145.X有效
发明人：樊强 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2015-02-27 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明提供一种定制化虚拟图案填充方法，所述定制化虚拟图案填充方法包括用户版图导入步骤、版图图层映射转换步骤、虚拟图案填充步骤、版图合并步骤以及最终版图输出步骤。其中，所述版图图层映射转换步骤在所述虚拟图案填充步骤之前将用户版图图层映射转换为标准版图图层映射，并在所述虚拟图案填充步骤之后将标准版图图层映射转换为用户版图图层映射；以及所述虚拟图案填充步骤采用标准虚拟图案实用程序进行虚拟图案填充本发明所提供的定制化虚拟图案填充方法能够基于用户需求快速并准确地创建合格的定制化虚拟图案填充方案，不仅效率高，而且质量有保证。
定制虚拟图案填充方法

[发明专利]一种填充虚拟图案的方法-CN201910347352.7在审
发明人：曹云 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2019-04-28 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明提供一种填充虚拟图案的方法，包括以下步骤：提供一待填充虚拟图案的版图；将所述待填充虚拟图案的版图虚拟划分为多个单元格待填充区；以及根据GDS文件对所述单元格待填充区填充虚拟图案。本发明通过将待填充虚拟图案的版图虚拟划分为多个单元格待填充区，使得将所述单元格待填充区需要填充的虚拟图案针对性的填充到其中，从而在填充虚拟图案之后，产生的GDS文件所占的存储空间较小。另外，在每个所述GDS文件中，具有与其对应的所述单元格待填充区需要填充的所有虚拟图案，使得每个GDS文件可以对至少一个单元格待填充区填充所有的虚拟图案。
虚拟图案填充单元格填充区虚拟存储空间

[发明专利]一种虚拟图案填充程式的质量合格保证方法以及版图结构-CN201310746362.0在审
发明人：樊强 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种虚拟图案填充程式的质量合格保证方法以及版图结构，所述方法包括以下步骤步骤（a）虚拟图案设计与电路版图主设计规则的一致性检查；步骤（b）虚拟图案插入之后虚拟图案检查规则和图形密度检查规则的违反性检查；步骤（c）虚拟图案和参考图层之间的相关性检查。本发明中提供了一种新的并且是全面的虚拟图案填充的质量保证流程，以避免现有技术质量监测过程中存在的各种缺陷，本发明所述方法的优点在于可以消除由于虚拟图案的插入带来的各种潜在的风险（1）可以避免虚拟图案违反设计规则以及由此带来的工艺过程中的各种问题；（2）所述方法可以避免由于虚拟图案和参考图层之间接触，造成所述器件性能失效，损坏。
一种虚拟图案填充程式质量合格保证方法以及版图结构

[发明专利]载体衬底-CN201610913498.X有效
发明人：蓝源富;许献文 -专利权人：力成科技股份有限公司
申请日： 2016-10-20 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H01L23/495 文献下载
摘要：本发明提供一种载体衬底，包括绝缘密封体、第一导电图案、第二导电图案、至少一第一虚拟图案，和至少一第二虚拟图案。载体衬底具有第一布线区和第二布线区。第一导电图案和第一虚拟图案位于第一布线区中。第二导电图案和第二虚拟图案位于第二布线区中。第一和第二导电图案以及第一和第二虚拟图案嵌入于绝缘密封体中。绝缘密封体露出第一和第二导电图案以及第一和第二虚拟图案的顶表面。第一和第二虚拟图案与第一和第二导电图案绝缘。第一虚拟图案面向第二虚拟图案的边缘轮廓包括矩形锯齿形形状、V形锯齿形形状、半圆形锯齿形形状、波浪形状或其组合。
载体衬底

[发明专利]显示设备-CN202110526018.5在审
发明人：岸本广次;张硕元;全勇灿;黄铉彬 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G06F3/046 文献下载
摘要：显示设备包括显示面板和与所述显示面板重叠的数字化器，其中，所述数字化器包括基底层、折叠区域、第一电路图案、多个第一虚拟图案、第二电路图案和多个第二虚拟图案，其中，所述第一电路图案设置在所述基底层的第一表面上并且在第一方向上延伸，所述多个第一虚拟图案设置在由所述第一电路图案限定的区域中，所述第二电路图案设置在所述基底层的第二表面上并且在与所述第一方向相交的第二方向上延伸，所述多个第二虚拟图案设置在由所述第二电路图案限定的区域中，所述第二虚拟图案包括多个第一下部虚拟图案和多个第二下部虚拟图案，其中，所述多个第一下部虚拟图案不与所述折叠区域重叠，所述多个第二下部虚拟图案与所述折叠区域重叠。
显示设备

[实用新型]集成电路的虚拟图案以及半导体集成电路-CN201520116170.6有效
发明人：张京晶;王昆;仝海跃;王奇峰 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2015-02-25 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： H01L23/525 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种集成电路的虚拟图案，包括L形的虚拟导线，一对所述虚拟导线非接触式排列形成一个虚拟单元，在一个所述虚拟单元中，两个所述虚拟导线呈中心对称排列，若干所述虚拟单元非接触式排列形成虚拟图案。本实用新型还提供一种包括上述虚拟图案的半导体集成电路。通过所述虚拟图案的设置，在无需改变工艺流程以及所述互连层材料的前提下，在垫片上焊接导线的工艺中，所述虚拟图案可以缓解应力和超声波的释放；并且，所述虚拟图案可以阻断应力的释放通道，避免互连层沿着应力的释放通道断裂
集成电路虚拟图案以及半导体

[发明专利]一种电容版图设计方法-CN201910464492.2有效
发明人：孙玉红 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G06F30/39 文献下载
摘要：本发明提供一种电容版图设计方法包括：将虚拟图案制备成电容单元；将所述电容单元放置在虚拟图案的放置区域。本实施例将这些虚拟图案利用起来，并作为电容单元来替代这些没有实际作用的虚拟图案，避免了图案效应问题的发生，还形成了尽可能大的去耦电容，提高了芯片的电气性能，还提高了芯片的利用率。
一种电容版图设计方法

[发明专利]虚拟图像显示系统及虚拟图像显示方法-CN202111588558.2在审
发明人：何家驹;李经豪 -专利权人：宏达国际电子股份有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： G06T19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种虚拟图像显示系统及其显示方法。虚拟图像的显示方法包括：使手持式电子装置显示识别图案，识别图案对应物件影像；使虚拟图像显示器拍摄识别图案，并根据识别图案以显示物件影像；以及当识别图案消失时，使虚拟图像显示器撷取手持式电子装置的惯性量测信息
虚拟图像显示系统方法

[发明专利]导电片、触摸传感器以及触摸传感器的制造方法-CN202180036909.0在审
发明人：福田麻人;横山崇;寺屋聪美;松本康祐;白崎义将 -专利权人：日写株式会社
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06F3/044 文献下载
摘要：本发明提供一种导电片以及触摸传感器，其目的在于，在将网格形状设为不规则的图案的情况下，抑制眩光、提高视觉辨认性。多条金属细线(12)包含在虚拟图案(Xa)和反转虚拟图案(Xb)中形成的六边形和六根连结线。通过多条金属细线(12)形成有六边形和六根连结线的虚拟图案(Xa)和使(Xa)左右反转而成的反转虚拟图案(Xb)以配置于相邻的虚拟图案(Xa)或者反转虚拟图案(Xb)的各边的各交点重叠且由多条金属细线(
导电触摸传感器以及制造方法

[发明专利]光掩模检测方法与在线即时光掩模检测方法-CN200710128382.6有效
发明人：杨忠彦;张明哲 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2007-07-10 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光掩模检测方法，适用于具有图案区与空白区的光掩模。首先，提供晶片，此晶片是以上述光掩模进行光刻工艺。晶片上有多个曝光区，每一曝光区中有元件图案区，其中每一元件图案区被切割道区包围。且每一元件图案区对应于光掩模的图案区，而切割道区对应于光掩模的空白区。然后，将切割道区划分成多个虚拟图案区。接着，将虚拟图案区进行两两重叠比较步骤，当虚拟图案区至少其中之一与其他虚拟图案区不完全相叠合，则不完全叠合的虚拟图案区相对应的光掩模上的部分空白区具有光掩模黑影。
光掩模检测方法在线时光

[发明专利]半导体集成电路-CN200680006348.5无效
发明人：川上善之 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2006-03-03 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： H01L21/3205 文献下载
摘要：在LSI布图设计图案的平整化处理中，设置虚拟图案的情况下，设置了信号布线图案(2)的布线层内，设置着相对于信号布线图案(2)倾斜约为45度倾斜角的多个虚拟图案(1)。这些虚拟图案(1)，相对于上层或者是下层相邻的其他布线层中形成的信号布线(3)成约为45度倾斜角交叉。上述信号布线图案(3)的布线层中，设置了相对于这个信号布线图案(3)成约45度倾斜角的多个虚拟图案(13)。上述邻接的两个布线层的虚拟图案(1、13)成约90度的角度交叉。
半导体集成电路

[发明专利]转印自组装的虚拟图案至基板的方法-CN200710005226.0无效
发明人：文载寅 -专利权人：海力士半导体有限公司
申请日： 2007-02-12 - 公布日： 2008-05-28 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明揭示一种转印自组装的虚拟图案至基板的方法。该方法包含：得到初始电路布图的逆布图；缩小该逆布图尺寸，由此得到缩小布图；得到虚拟图案布图，其具有与该缩小布图的外形相同的外形并具有给定线宽，使得该虚拟图案布图自组装至该电路布图；以及转印该自对准或自组装虚拟图案布图与电路布图至半导体基板
组装虚拟图案至基板方法

[发明专利]采用虚拟图案的静电电容式触控屏幕之触摸板结构-CN201480010504.X有效
发明人：金泰一;崔范熙;金相珍;金达洙 -专利权人：未来奈米科技股份有限公司
申请日： 2014-02-27 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： G06F3/044 文献下载
摘要：本发明提供一采用虚拟图案的静电电容式触控屏幕之触摸板结构，包括了第一传感器部分与第二传感器部分。第一传感器部分中形成复数个第一传感器图案于第一方向，且复数个第一虚拟图案排列于第一传感器图案之间。第二传感器部分中形成复数个第二传感器图案于第二方向，且第二方向横越第一方向。复数个第二虚拟图案排列于第二传感器图案之间。每个第一虚拟图案和第二虚拟图案是由至少两个实际上彼此分离的虚拟子图案所组成。
采用虚拟图案静电电容式触控屏幕触摸板结

[发明专利]透明导电层的图案结构-CN201810187111.6有效
发明人：陈柏林;温玮姿;郑雅尹;黄彦衡 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2018-03-07 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明提供一种透明导电层的图案结构，包含有一透明基板及复数电极，电极设置在透明基板上，每一电极皆具有复数虚拟图案，这些虚拟图案排列设置在电极上，虚拟图案间皆具有一间隙通道，且每一电极上具有一主通道环设在虚拟图案外周围，间隙通道的宽度与主通道的宽度比系落在40％～85％间，本发明利用此一特殊的宽度比，以提出一种兼顾视效性以及电性的图案结构。
透明导电图案结构

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