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[发明专利]一种水处理溶液添加装置、水处理装置及系统-CN202110134431.7在审
发明人：陈志伟;赵钢;黄美成;黄宇翔 -专利权人：陈志伟
申请日： 2021-01-31 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种水处理溶液添加装置、水处理装置及系统，水处理溶液添加装置包括加药模块，加药模块包括药液桶(256)、加液管、加药液管(251)和药液泵(255)；药液桶用于存储水处理溶液；加液管固定在药液桶上或药液桶外部的固定物上，用于向药液桶加入稀释水或药液；加液管上设有水阀；加药液管将药液桶内的药液输送到水处理容器中，水处理容器为基于滤芯进行水处理的水处理装置的容器；加药液管上设有药液泵。本发明的水处理溶液添加装置、水处理装置及系统结构紧凑，能自动加入药液。
一种水处理溶液添加装置系统

[实用新型]一种水处理溶液添加装置、水处理装置及系统-CN202120274835.1有效
发明人：陈志伟;赵钢;黄美成;黄宇翔 -专利权人：陈志伟
申请日： 2021-01-31 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水处理溶液添加装置、水处理装置及系统，水处理溶液添加装置包括加药模块，加药模块包括药液桶(256)、加液管、加药液管(251)和药液泵(252)；药液桶用于存储水处理溶液；加液管固定在药液桶上或药液桶外部的固定物上，用于向药液桶加入稀释水或药液；加液管上设有水阀；加药液管将药液桶内的药液输送到水处理容器中，水处理容器为基于滤芯进行水处理的水处理装置的容器；加药液管上设有药液泵。本实用新型的水处理溶液添加装置、水处理装置及系统结构紧凑，能自动加入药液。
一种水处理溶液添加装置系统

[发明专利]药液处理装置-CN202080093066.3在审
发明人：出口泰纪 -专利权人：东邦化成株式会社
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供一种抑制在每个基板的抗蚀剂去除中产生不均的药液处理装置。所述药液处理装置具备：处理槽(10a)，通过将基板(4)浸渍于药液(6)来对所述基板进行抗蚀剂去除处理；多个保持部(22)，以纵置的方式保持所述基板(4)；上下驱动部(20)，单独地上下驱动所述保持部(22)；以及装夹部(55)，卡脱自如地装夹所述基板(4)，所述上下驱动部(20)使所述保持部(22)在将所述基板(4)浸渍于所述药液(6)的浸渍位置与将所述基板(4)从所述药液(6)提起的非浸渍位置之间单独地上下移动，由此由所述保持部(22)保持的所述基板(4)被以单片式进行抗蚀剂去除处理。
药液处理装置

[发明专利]药液、处理方法-CN202211059865.6在审
发明人：水谷笃史;滋野井悠太 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C09K13/06 文献下载
摘要：本发明提供一种Al氧化物的蚀刻能力优异、Ga氧化物的蚀刻能力的抑制性优异、Al氧化物相对于Ga氧化物的蚀刻选择性也优异的药液及使用了上述药液的处理方法。一种药液，其包含磷酸或其盐、非质子性极性溶剂、水及具有羧基且不具有羟基的化合物或其盐，其中，磷酸或其盐的含量相对于药液的总质量为5.0质量％以下，非质子性极性溶剂的含量相对于药液的总质量为50.0质量％以上，水的含量相对于药液的总质量为2.0质量％以上且小于50.0质量％。
药液处理方法

[发明专利]药液处理装置-CN99121786.1无效
发明人：新山喜三郎;菅原清司 -专利权人：东京化工机株式会社
申请日： 1999-10-11 - 公布日： 2003-12-24 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本发明的药液处理装置包括以填满与应喷射的药液B相同的药液B的药液槽9、配设在药液槽9的药液B中，用于夹住印刷电路板材A而输送的带式输送机2、配设于药液槽9的药液B中，朝向被输送的印刷电路板材A以极小的上、下间隔L喷射新鲜药液B的缝隙状喷射口13或喷射喷嘴等药液喷射装置10。
药液处理装置

[发明专利]药液处理装置-CN200710086735.0无效
发明人：新山喜三郎;菅原清司 -专利权人：东京化工机株式会社
申请日： 2007-03-13 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： H05K3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种药液处理装置，在解决被喷射的药液所造成的乱流、储液、变形事故的同时，能防止在液中的上浮、鼓动、变形等的搬送困扰，也不会对电路形成面造成损伤。该药液处理装置(1)被用于基板的制造工序中，通过药液(B)对基板材料(A)进行表面处理。其具有：液槽(5)，被药液(B)填满；输送装置(3)，被配设在该液槽(5)内，搬送基板材料(A)；以及喷嘴(4)，被配设在该液槽(5)内，对基板材料(A)喷射药液(B)。
药液处理装置

[发明专利]药液处理装置-CN200710154150.8无效
发明人：新山喜三郎;菅原清司 -专利权人：东京化工机株式会社
申请日： 2007-09-19 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种药液处理装置，第1，解决喷射的药液导致的紊流、储液、变形问题，第2，防止在液中的上浮、鼓动、变形等的搬送损坏，也不会对电路形成面造成损伤。该药液处理装置用于基板的制造工序中，利用药液对基板材料进行表面处理。并且具有液槽，该液槽盛满该药液；输送机，该输送机配设在该液槽内并搬送该基板材料；喷嘴，该喷嘴配设在该液槽内并对该基板材料喷射该药液。
药液处理装置

[发明专利]药液处理装置-CN201380019952.1有效
发明人：吉安健太朗;多比良昌弘;山本直义 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2013-06-07 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：将药液处理装置(S)构成为：在从药液罐(12)经由喷淋配管(16)向喷淋嘴(14)输送药液(L)的过程中，从添加液罐(25)经由添加液配管(26)向在喷淋配管(16)中流动的药液(L)补充添加液(L2)，并将从喷淋嘴(14)供应到被处理基板(W)的表面后的药液(L)回收到药液罐(12)中。
药液处理装置

[发明专利]药液处理装置-CN201380019935.8有效
发明人：村田亮 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2013-05-30 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：在对被处理基板(W)表面实施蚀刻处理的蚀刻处理装置(S)中，具备：处理槽(10)；搬运线(40)，其对搬入到该处理槽(10)的被处理基板(W)进行搬运；上侧和下侧蚀刻喷淋器(12、18)，其对由搬运线(40)搬运的被处理基板(W)表面喷射蚀刻液(L)；以及顶壁用喷淋器(24)，其对处理槽(10)的顶壁面(10c)喷射蚀刻液(L)。
药液处理装置

[发明专利]衬底处理装置及采用此装置的衬底处理方法-CN01133875.X无效
发明人：樱井秀昭;伊藤正光;伊藤信一 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2001-12-21 - 公布日： 2002-08-28 - 主分类号： H01L21/30 文献下载
摘要：提供一种衬底处理装置及衬底处理方法,可以消除被处理表面上的药液浓度差,可以实现高精度的药液处理。在药液喷出/吸引单元(扫描喷嘴)21中设置有用来向被处理衬底喷出药液的药液喷出开口22和用来吸引被处理衬底上的药液的药液吸引开口23,由于从上述药液喷出开口22连续喷出的药液被上述药液吸引开口23连续吸引,在上述扫描喷嘴21和被处理表面之间,以及在上述药液喷出开口22和上述药液吸引开口23之间的区域中不断有新鲜药液供给被处理表面。
衬底处理装置采用方法

[实用新型]基板处理装置-CN201820610174.3有效
发明人：赵康一 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基板处理装置，其进行针对被处理基板的药液涂覆工艺，其包括：药液处理单元，其按照规定的工艺顺序处理药液；加热单元，其在药液通过药液处理单元被处理的过程中将药液加热至规定范围的温度，据此，可以获得提高药液的处理效率以及提高药液中所含有的气体的去除效率的有利效果。
基板处理装置药液处理单元被处理基板本实用新型处理效率加热单元顺序处理药液加热药液涂去除

[实用新型]用于洗碗机的药液投放控制系统-CN201721379668.7有效
发明人：王波;吴加明;高奇跃;王洁琴 -专利权人：苏州菩提树智能清洗设备有限公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： A47L15/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于洗碗机的药液投放控制系统，包括药液投放处理器，所述药液投放处理器与洗碗机的中央处理器通信连接；浓度采集传感器与所述药液投放处理器通过信号采集电路连接；药液泵通过电机驱动电路与所述药液投放处理器连接该用于洗碗机的药液投放控制系统设置浓度检测传感器检测洗碗机水箱内的药液浓度，并反馈给药液投放处理器，由药液投放处理器实时控制药液泵的投放量，使洗碗机水箱内的药液量达到最佳的清洗效果，采用这种药液投放控制系统能够实现药液的精确投放，在保证洗涤效果的前提下可避免洗碗机的药液过量投放，能够节约药液的使用量，能起到较好的经济效益。
洗碗机投放处理器投放控制系统药液泵水箱浓度采集传感器浓度检测传感器电机驱动电路信号采集电路本实用新型处理器连接中央处理器清洗效果实时控制通信连接投放量药液量洗涤过量反馈检测节约保证

[发明专利]内窥镜清洗消毒机-CN201580017761.0有效
发明人：高田拓生 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2015-09-16 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： A61B1/12 文献下载
摘要：本发明的内窥镜清洗消毒机包括处理槽，其用于收容内窥镜；处理槽温度测定部，其用于测定所述处理槽内的液体的温度；药液罐，其用于贮存药液；加热部，其用于对所述药液罐内部的所述药液进行加热；第一输送部，其用于将所述药液的一部分从所述药液罐输送到所述处理槽；第二输送部，其用于将所述处理槽内的所述药液输送到所述药液罐；以及控制部，其在所述处理槽温度测定部的测定结果低于规定的阈值的情况下，控制所述第一输送部和所述第二输送部来将贮存在所述处理槽中的所述药液的至少一部分与残留在所述药液罐中的所述药液进行置换
内窥镜清洗消毒

[发明专利]基板处理装置的药液管理系统、费用的计算方法及系统-CN201711234841.9在审
发明人：中川俊元 -专利权人：株式会社平间理化研究所
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明提供最适于将基板制造所使用的药液管理为最佳状态的服务的基板处理装置的药液管理系统、基板处理装置的药液管理费用的计算方法、及基板处理装置的药液管理费用计算系统。在基板处理装置的药液管理系统中，通过配备有累计流量计的配管将基板处理装置与调制药液的新液的药液调制装置、对使用后的药液进行再生的药液再生装置等连接。浓度管理装置测定基板处理装置的药液的浓度，补充药液的原液或新液、再生液，将药液始终管理为最佳的浓度。所供给的补充液的累计流量由累计流量计来计测。累计流量计与网络直接连接。
基板处理装置药液管理流量计新液计算方法及系统费用计算系统测定基板处理装置调制装置基板制造累计流量浓度管理再生装置补充液再生液计测配管原液调制再生配备补充网络服务管理

[发明专利]基板处理装置、基板处理方法以及基板的制造方法-CN200610140334.4无效
发明人：森口善弘;釜石孝生 -专利权人：株式会社日立高科技
申请日： 2006-11-27 - 公布日： 2007-06-06 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种基板处理装置、基板处理方法以及基板的制造方法。该基板处理装置可使基板保持倾斜的状态，并利用高于常温的温度的药液，对倾斜的基板均匀地进行药液处理。加热器(11)在基板(1)通过加热器(11)的下方时，将基板(1)的表面加温到与药液喷嘴(21)所供给的药液的温度相近的温度。药液喷嘴(21)向基板(1)的表面供给高于常温的温度的药液。利用向基板(1)的表面所供给的药液，对基板(1)的表面进行药液处理。藉由在进行基板(1)的药液处理之前，将基板(1)加温到与药液处理所利用的药液的温度相近的温度，而使已供给了药液的基板(1)的表面的上侧和下侧的温度的上升差异缩小，使基板(1)的表面的温度迅速地大致成为均匀
处理装置方法以及制造

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