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- [发明专利]基板处理模块和基板处理装置-CN202180047508.5在审
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出口泰纪
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东邦化成株式会社
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2021-07-06
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2023-03-07
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H01L21/304
- 本发明的基板处理模块(7)具备:第一槽(34)和第二槽(32),在第一方向上排列,并能够配置基板(4);第一输送部(11),使基板(4)在第一方向上移动;第二输送部(48),使基板(4)在与第一方向交叉的第二方向上移动;以及上下输送部(13),与第一输送部(11)连结,使基板(4)上下移动,第一输送部(11)的第一致动器(12)和第二输送部(48)的第二致动器(41)分别配置在与能接入第一槽(34)和第二槽(32)的处理空间(A)隔离的驱动空间(B1、B2)中。
- 处理模块装置
- [发明专利]药液处理装置-CN202080093066.3在审
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出口泰纪
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东邦化成株式会社
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2020-01-17
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2022-08-30
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H01L21/027
- 本发明提供一种抑制在每个基板的抗蚀剂去除中产生不均的药液处理装置。所述药液处理装置具备:处理槽(10a),通过将基板(4)浸渍于药液(6)来对所述基板进行抗蚀剂去除处理;多个保持部(22),以纵置的方式保持所述基板(4);上下驱动部(20),单独地上下驱动所述保持部(22);以及装夹部(55),卡脱自如地装夹所述基板(4),所述上下驱动部(20)使所述保持部(22)在将所述基板(4)浸渍于所述药液(6)的浸渍位置与将所述基板(4)从所述药液(6)提起的非浸渍位置之间单独地上下移动,由此由所述保持部(22)保持的所述基板(4)被以单片式进行抗蚀剂去除处理。
- 药液处理装置
- [发明专利]极化树脂膜及其制造方法-CN201380068407.1有效
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小谷哲浩;向井惠吏;金村崇;高明天;川户进;清水聪
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大金工业株式会社;东邦化成株式会社
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2013-12-27
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2019-02-19
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G01N21/892
- 本发明提供一种极化偏氟乙烯/四氟乙烯共聚物树脂膜,其极大地降低了用作光学膜时的、由显示元件产生的影像或图像的质量的劣化。本发明提供一种极化偏氟乙烯/四氟乙烯共聚物树脂膜,其通过后述的缺陷测定方法测得的点状缺陷的数量为2,000个/m2以下。<缺陷测定方法>使用外观检查机,按照能够以相对于LED光源为45度的角度检测缺陷的方式设置CCD摄像机,一边在其下方以20m/分钟的速度进行扫描,一边在宽度方向(相对于扫描的行进方向成直角的方向)300mm、流动方向(扫描的行进方向)150mm的长方形的范围内读取膜的缺陷。就缺陷而言,首先选定明面积为1.5mm2以下且暗面积为1.4mm2以下的缺陷。接着,为除去这些缺陷中所含的、除电晕处理以外的原因的缺陷,以具有沿着扫描的行进方向的2边的方式设定缺陷的外接矩形,仅将外接宽度为2.88mm以下、外接长度为2.3mm以下、纵横比率为-3.9~+2.7、外接矩形中的占有面积比率为4,000~6,950、且面积比率为‑3,100~+5,200的缺陷作为点状缺陷,利用外观检查机自动地对其个数进行计数。
- 极化树脂及其制造方法
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