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[发明专利]显影装置、衬底处理装置、显影方法及衬底处理方法-CN201780069615.1有效
发明人：春本将彦;浅井正也;田中裕二;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-10-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明中，在衬底的一面上形成含金属涂布膜，在含金属涂布膜上由感光性有机材料形成有机涂布膜，且有机涂布膜被曝光成指定图案。通过狭缝喷嘴向有机涂布膜供给显影液，由此在有机涂布膜形成指定图案。另外，通过置换喷嘴向有机涂布膜的图案及含金属涂布膜供给置换液，由此将含金属涂布膜的部分去除，在含金属涂布膜形成指定图案。通过冲洗喷嘴向具有有机涂布膜的图案及含金属涂布膜的图案的衬底供给冲洗液。
显影装置衬底处理方法

[发明专利]一种PVC装饰膜涂布装置以及使用方法-CN202210880994.5有效
发明人：盛永祥;张俊杰;盛少杰;胡小林 -专利权人：浙江锦盛装饰材料股份有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B05C1/08 文献下载
摘要：本申请涉及装饰膜涂布的技术领域，尤其是涉及一种PVC装饰膜涂布装置以及使用方法，主要涉及一种PVC装饰膜涂布装置，包括机架，所述机架上转动连接有涂布辊，所述涂布辊的圆周侧壁上可拆卸连接有涂布膜材，所述涂布膜材通过设置在所述涂布辊两端的连接组件进行固定本申请具有以下效果：在涂布辊的表面外加一层涂布膜材，在涂布的过程中通过涂布膜材进行粘附，涂布辊进行转动时，同步将可进行涂布的操作，而当结束一个阶段的涂布工作后，可将涂布膜材取下，这样直接做清理，再需要做涂布工作时，再安装涂布膜材即可，使用方便。
一种 pvc 装饰膜涂布装置以及使用方法

[发明专利]成膜方法和成膜装置-CN201280010392.9无效
发明人：清水正裕;伊藤仁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-02-22 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： H05K3/22 文献下载
摘要：在塑料基板上涂布包含膜成分的涂布组合物而形成涂布膜，对该涂布膜照射电磁波而将涂布膜干燥和/或改性，形成膜。作为膜，可以举出导电体膜、半导体膜、电介质膜，在形成导电体膜时使用包含金属纳米颗粒的涂布组合物，在形成半导体膜时使用有机半导体材料作为涂布组合物，在形成电介质膜时使用有机电介质材料作为涂布组合物。
方法装置

[发明专利]一种涂布装置和涂布系统-CN201410488392.0有效
发明人：庞立斌;高雪松;赵杨 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2014-09-22 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种涂布装置和涂布系统。该涂布装置用于将膜层材料涂布于基板上以形成相应膜层，包括相互连接的涂布头和供应单元，供应单元用于向涂布头提供膜层材料，涂布头用于吐出膜层材料并将其涂布到基板上，还包括回收单元，用于在涂布头的膜层材料吐出速度和运动速度不在匀速状态时，将供应单元供应至涂布头的膜层材料进行回收。该涂布装置通过设置回收单元，使涂布装置在处于工作不稳定阶段时，供应至涂布头的膜层材料被回收，从而确保了膜层涂布的均匀性和稳定性，这能使涂布形成的膜层的厚度更加均匀，而且很少出现不良，进而改善了该涂布装置的涂布质量，同时还提高了该涂布装置的工作效率。
一种装置系统

[发明专利]一种新型离型膜涂布装置-CN202110598925.0在审
发明人：罗开荣 -专利权人：嘉兴市金荣科技股份有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型离型膜涂布装置，包括有追膜移动车、涂布托板、涂布头、刮板，离型膜由牵引装置牵引移动，涂布托板安装在追膜移动车上，涂布头和刮板依次排列并分别正对涂布托板，离型膜位于涂布托板和涂布头之间，涂布头和刮板均安装在升降板上，升降装置安装在移动板上，移动板可移动的安装在第二滑轨上，第二滑轨安装在追膜移动车上，第二滑轨平行于第一滑轨。本发明的新型离型膜涂布装置，采用追膜涂布的方式进行涂布，避免了离型膜在牵引输送过程中自身的晃动以及受到涂布头的作用发生形变等影响涂布效果的问题，硅油等通过本发明的涂布装置涂布后更加均匀，提高了离型膜的质量
一种新型离型膜涂布装置

[发明专利]膜的形成方法-CN201280051649.5有效
发明人：伊藤俊树;松藤奈央子;川端香奈江 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供膜的制造方法，包括：在基材上涂布光固化性组合物以形成涂布膜，该光固化性组合物含有聚合性单体、光聚合引发剂和通过光刺激而产生气体的感光性气体产生剂；使模具与该涂布膜接触；通过该模具用光照射该涂布膜以使该涂布膜固化并且在该涂布膜中产生气体；和用光照射该涂布膜后使该模具从该涂布膜脱离以在该基材上形成具有预定的图案形状的膜(固化膜)，其中用光对该涂布膜的照射中，该涂布膜中的聚合性单体的聚合反应的反应速率高于该涂布膜中的感光性气体产生剂的气体产生反应的反应速率
形成方法

[发明专利]涂布方法和涂布装置-CN200910209319.4无效
发明人：藤田直纪 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-05-30 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够使涂布膜的膜厚控制特别是周缘部的膜厚均匀化容易进行的涂布方法以及涂布装置。该涂布方法使被处理基板与长型喷嘴的喷出口，隔着微小间隙大致水平地对向，进行一边从喷嘴向基板喷出处理液，一边使喷嘴在相对水平方向上移动的涂布扫描，在基板上形成处理液的面状涂布膜，在基板上的涂布扫描终止的位置附近，在进行涂布扫描之前，使由处理液形成的先实施涂布膜成为所期望的图案，由涂布扫描形成在基板上的面状涂布膜的终端与先实施涂布膜相接合，先实施涂布膜成为面状涂布膜的扩张部分。
方法装置

[发明专利]一种小型涂布装置-CN201510712361.3在审
发明人：王锋伟;崔成强;张仕通;王靖 -专利权人：安捷利电子科技（苏州）有限公司
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： B05C9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种小型涂布装置，包括放置基材的涂布平台和在所述基材表面进行涂膜的涂布单元，所述涂布单元整体可前后移动地设置在所述涂布平台上，所述涂布单元包括前后间隔设置的第一涂布部件和第二涂布部件及容纳膜液的膜液槽，所述第一涂布部件设置在所述膜液槽的下方开口上，所述第二涂布部件设置在所述第一涂布部件的后侧，所述膜液经所述第一涂布部件涂布后在所述基材上的涂膜厚度大于经所述第二涂布部件涂布后在所述基材上的涂膜厚度。本发明的小型涂布装置结构设计巧妙，通过第一涂布部件和第二涂布部件对膜料进行两次涂布和压平，解决了大片材料基材上涂布不均匀的问题，有效地提升了涂布效果，尤其适合于实验室使用。
一种小型装置

[发明专利]一种涂布辊刮涂系统-CN202211666138.6在审
发明人：刘庆伏;李新连;杨永军;肖平;赵东明;赵志国;叶林 -专利权人：华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B05C1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种涂布辊刮涂系统，包括：工作台，用于支撑待制膜基板；涂布辊，可转动的设置于所述工作台，涂布辊为椭圆形涂布辊，且在涂布辊的长轴与待制膜基板垂直时，涂布辊与待制膜基板的间距为第一间距d1，在所述涂布辊的短轴与待制膜基板垂直时，所述涂布辊与所述待制膜基板的间距为第二间距。本发明提供的涂布辊刮涂系统，可令涂布辊的长轴与待制膜基板垂直作为初始位置，此时涂布辊与待制膜基板的距离最小，随着涂布辊向前涂布，驱动涂布辊转动，其与待制膜基板的距离逐渐增大，使得待制膜基板前端的膜厚较薄，以在溶液量不足时，不会因为待制膜基板前端的用量过大，而导致待制膜基板后端的膜厚明显变薄的情况，保持膜厚的均匀性。
一种涂布辊刮涂系统

[发明专利]涂布系统和涂布方法-CN201510297672.8有效
发明人：张晓妹;王志强 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-06-01 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种涂布系统和涂布方法。该涂布系统包括涂布设备、检测装置和调节装置；所述涂布设备，用于以设定速度将涂布材料涂布于基板上；所述检测装置，用于在所述涂布设备涂布时检测所述涂布材料的测量点的膜厚，并将检测出的膜厚发送给所述调节装置；所述调节装置，用于根据所述膜厚生成设定速度，并将所述设定速度发送给所述涂布设备。本发明提供的涂布系统和涂布方法中，检测装置在涂布设备涂布时检测涂布材料的测量点的膜厚，调节装置根据膜厚生成设定速度，涂布设备根据设定速度将涂布材料涂布于基板上，从而实现了实时调整膜厚。
系统方法

[发明专利]涂布装置及涂布方法-CN201810396809.9在审
发明人：彭建林;刘宗辉;王精华;诸葛挺 -专利权人：深圳市曼恩斯特科技有限公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： B05C1/08 文献下载
摘要：本发明属于网孔膜涂布工艺技术领域，涉及一种涂布装置及涂布方法。该涂布装置用于涂布网孔膜，其包括涂布模头、浸湿组件及涂布背辊，所述浸湿组件及所述涂布背辊沿网孔膜输送方向依次设置，所述浸湿组件用于将网孔膜浸湿；所述网孔膜环绕于所述涂布背辊的至少部分外壁，所述涂布模头上设有进料口和出料口，所述出料口对准所述涂布背辊以对环绕于所述涂布背辊的外壁的网孔膜进行涂布。该涂布装置在涂布过程中可使网孔膜上的网孔保持湿润，且正负极浆料容易与浸湿组件中的溶剂融合，使得正负极浆料能更加快速地渗透入网孔中，以把网孔中的空气挤出，同时避免正负极浆料粘在与网孔膜复合的辅助膜上。
网孔浸湿涂布背辊涂布装置正负极浆料出料口外壁环绕涂布工艺涂布过程涂布模头依次设置辅助膜进料口膜复合溶剂入网对准湿润挤出融合

[发明专利]涂布膜的干燥方法和光学薄膜-CN200480006181.3无效
发明人：小松原诚;井上龙一;太田美绘;土本一喜;近藤诚司;增田友昭 -专利权人：日东电工株式会社
申请日： 2004-03-04 - 公布日： 2006-04-12 - 主分类号： B05D3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种涂布膜的干燥方法，其目的在于可以稳定制造厚度的偏差少的涂布膜。所以，是在移动的长尺状支撑体(10)上涂布涂布液而形成的涂布膜(11)的干燥方法，在对长尺状支撑体(10)涂布涂布液之后，立刻将溶剂的蒸发速度保持在0.1g/m²·s以下使涂布膜(优选在刚刚涂布之后的涂布膜(11)的移动途中，配置板(20)并在其与涂布膜(11)之间设置一定的空隙，限制涂布液的蒸发速度。
涂布膜干燥方法光学薄膜

[发明专利]一种电池隔膜及其涂布工艺、涂布系统和电池-CN202011187428.3有效
发明人：程跃;廖晨博;陈永乐;庄志;单华靖;刘倩倩 -专利权人：上海恩捷新材料科技有限公司
申请日： 2020-11-02 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： B05D7/04 文献下载
摘要：本发明涉及锂电池隔膜领域，目的在于提供一种电池隔膜及其涂布工艺、涂布系统和电池，涂布工艺包括：聚烯烃膜初步热定型、聚烯烃膜在线涂布、涂布膜热定型，涂布系统包括在聚烯烃膜热定型的行进路线中设置有多节的烘箱，相邻烘箱的间隔位置设置有用于聚烯烃膜涂覆涂布浆料的涂布装置。将在线涂布流程设置于聚烯烃膜热定型结束前阶段，充分利用聚烯烃膜热定型烘箱温度对聚烯烃基膜、涂布浆料进行干燥，涂层与聚烯烃基膜紧密接触，有效提高涂布膜耐热性能，降低涂布膜的含水量，且相较于现有工艺流程更加简化
一种电池隔膜及其工艺系统

[实用新型]双面清水膜涂布系统-CN202122256808.4有效
发明人：陈国发;陈国炎;吴兴龙;陈国礼 -专利权人：杭州大唐印刷有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B05C9/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了双面清水膜涂布系统，包括涂布箱，所述涂布箱内通过轴承转动连接有基材卷料放料辊，基材卷料放料辊的下方设有通过轴承转动连接在涂布箱内的导辊一，导辊一的一侧还设有通过轴承转动连接在涂布箱内的导辊二，涂布箱的一侧壁内壁上滑动连接有上下分布的下层亲水膜涂布模头和上层亲水膜涂布模头，基材从基材卷料放料辊上放出，依次经导辊一、下层亲水膜涂布模头、导辊二、上层亲水膜涂布模头，此双面清水膜涂布系统，区别于现有技术，其双面清水膜涂布系统的使用过程中，可利用调节机构，可针对不同厚度的基材进行调节下层亲水膜涂布模头、上层亲水膜涂布模头高度，使其满足不同厚度的基材进行涂布使用。
双面清水膜涂布系统

[发明专利]涂布膜形成方法和涂布膜形成装置-CN201910516508.X在审
发明人：上塘真吾 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种涂布膜形成方法和涂布膜形成装置。提供一种使形成于在表面具有具备高度差的图案的基板的表面整体的涂布膜的表面平坦化的技术。涂布膜形成方法的特征在于，包括以下的工序：涂布膜形成工序，向在表面具有具备高度差的图案的基板的该表面整体供给涂布液来形成涂布膜；加压工序，利用具备覆盖被保持于第一保持部的所述基板的表面整体的平坦面的加压部，使所述平坦面相对地按压所述基板的涂布膜；以及涂布膜固化工序，使表面被平坦化后的所述涂布膜固化。
涂布膜基板高度差涂布膜形成装置按压图案表面平坦化固化工序加压工序形成工序加压部平坦化平坦面涂布液固化平坦覆盖

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