“空腔室”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1412485个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]真空腔室及真空腔室加热系统-CN202310970625.X在审
发明人：罗先刚;龙云;汪孟珂;鲜汶秀 -专利权人：天府兴隆湖实验室
申请日： 2023-08-03 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G21K1/00 文献下载
摘要：本申请涉及冷原子技术领域，具体涉及一种真空腔室及真空腔室加热系统。真空腔室包括腔室侧壁和由腔室侧壁围成的真空腔，在腔室侧壁的外壁或内壁设有反射层，反射层对第一波段的光具有高反射率、低透过率，在反射层上设有通光区，通光区用于供第一波段的光通过，反射层可将射至反射层的第一波段的光反射回真空腔内本申请实施例的真空腔室和真空腔室加热系统，通过直接对真空腔室外侧壁照射第一波段的光来加热真空腔，不会引入电流，因此从根本上消除了磁场噪声的干扰，且加热均匀、加热稳定性高。
空腔加热系统

[发明专利]真空腔室-CN201610494478.3在审
发明人：刘思洋 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种真空腔室，通过在密封门与腔体之间设置由内环密封圈及外环密封圈组成的两层密封圈，实现所述腔体与密封门共同形成一密闭空间，并在内、外环密封圈、腔体与密封门之间形成一辅助空间，同时设置一通道连通该辅助空间以用于对该辅助空间抽真空及破真空，在对密闭空间进行抽真空时，同步对辅助空间进行抽真空，使密封门受力平衡，能够减小密封门的形变，进而增强真空腔室的气密性，减少颗粒、及水汽进入真空腔室，并可以改善因密封门形变造成的金属接触问题，提高产品良率
空腔

[实用新型]真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链-CN202020953038.1有效
发明人：程实然;郭颂;刘海洋;王铖熠;李娜;张军;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-29 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： E05D3/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空腔室及其多转轴重载真空腔室铰链装置。因此，本实用新型开合时，腔室门既可以沿某一转轴伸缩，也可以沿某一转轴旋转，可实现腔室门拉伸开合与旋转开合，从而减小负载旋出空间，使设备整体结构紧凑，节省设备空间。
空腔及其转轴重载铰链

[发明专利]用于真空腔室的闸门阀以及真空腔室-CN200880121748.X有效
发明人： P·瓦格纳;A·迈耶;C·埃格利 -专利权人：欧瑞康太阳IP股份公司(特吕巴赫)
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： F16K3/18 文献下载
摘要：一种用于真空腔室的闸门阀包括两个托架(5a)，其中每个托架通过两个平行的链接(6)连接到提供基本上平的前部的框架结构并通过平行杆(14)连接到致动杆(12a)。
用于空腔闸门以及

[发明专利]真空腔室装置-CN201510874701.2在审
发明人：赵芝强;梁冠雄;刘玉平;卢永锦 -专利权人：珠海宝丰堂电子科技有限公司
申请日： 2015-12-01 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空腔室装置，其包括内可抽真空的腔室，其进一步包括有设置在腔室内的安装板，在该腔室的底板上设有至少三个安装组件，该安装板通过该至少三个安装组件安装在腔室底板上，并且该安装板与腔室的底板之间留有间距该安装板在腔室内依靠安装组件的最少三点支撑和材料自身强度完成单独无变形的基准面，其与腔室底板之间留有间距，在真空腔室内形成内腔室，原本安装在腔室底板的所有的机构都安装在内腔室的该安装板上，腔室的变形只会使得内腔室的该安装板整体偏移、倾斜，不会影响内部零件，使零件调试和生产效率更高，消除因为腔室变形导致的报废成本，该发明的真空腔室装置能够减小以至消除真空腔室内部基准丢失。
空腔装置

[发明专利]真空腔室和真空腔室的门的上锁方法-CN201711458470.2有效
发明人：富田尚宏;伊藤毅;浅川正人;末木英人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种真空腔室和真空腔室的门的上锁方法，进一步提高在FPD等的制造装置的内部工作的操作者的安全性。搬送腔室(10)包括容器、顶板(13)、排气装置(41)、门(32)、电磁锁和控制装置(51)。容器具有收纳被处理基板的空间，在上部具有上部开口。顶板(13)开闭上部开口。
空腔上锁方法

[实用新型]真空腔室和具有该真空腔室的基板传送系统-CN200820105233.8无效
发明人：斯里兰·克里士纳瓦米;洪·T·纽恩;乔治·曾;马提亚·布伦纳 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2008-04-11 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型包含一种用于传送基板进出配置成容纳多块基板的腔室的系统。
空腔具有传送系统

[发明专利]真空腔室密封结构-CN202310800245.1在审
发明人：满卫东 -专利权人：上海铂世光半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于真空腔室的密封结构、一种用于等离子体反应室，以及一种微波等离子体化学气相沉积装置。该真空腔室包括从外部伸入腔体的基台结构，基台结构能绕轴线旋转并上下运动，密封结构用于基台结构与腔体壁之间的动密封，密封结构至少包括设于基台结构与腔体壁之间的第一密封圈，第一密封圈表面涂覆有润滑剂以构成湿式密封本发明提供的用于真空腔室的密封结构能够提高真空腔室的密封性能、延长密封材料的使用寿命，同时还可以减少密封结构所带来的污染。
空腔密封结构

[发明专利]多层空腔电离室-CN201210067109.8有效
发明人：魏可新;李景云;侯金兵;宋明哲;王红玉;高飞 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2012-03-15 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： H01J47/02 文献下载
摘要：本发明属于电离辐射剂量测量技术领域，公开了一种多层空腔电离室。该电离室由一个基本的薄壁电离室和一系列不同厚度的同心室壁组成，其特征在于，选取适当的同心室壁进行组合即可得到具有不同厚度室壁的电离室。该电离室具有操作简单且测量结果准确的特点。
多层空腔电离室

[实用新型]多层空腔电离室-CN201220095762.0有效
发明人：魏可新;李景云;侯金兵;宋明哲;王红玉;高飞 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2012-03-15 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： H01J47/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多层空腔电离室。该电离室由一个基本的薄壁电离室和一系列不同厚度的同心室壁组成，其特征在于，选取适当的同心室壁进行组合即可得到具有不同厚度室壁的电离室。该电离室具有操作简单且测量结果准确的特点。
多层空腔电离室

[实用新型]水泵真空腔室结构-CN201621087619.1有效
发明人：张福长;张源;张渠;林萍 -专利权人：周宁县善长祥农业机械研发有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： F04D9/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种水泵真空腔室结构，包括一泵体，所述泵体上设置有汲水口和与汲水口相连通的出水口，还包括一罩住汲水口的筒体，所述筒体上端与泵体相对接，所述泵体上还设置有连通筒体的进水口，所述汲水口上设置有防止泵体内水倒流回筒体的单向阀
水泵空腔结构

[其他]腔室盖和真空腔室装置-CN201590001100.4有效
发明人：克里斯托夫·霍伊斯勒;约亨·克劳瑟;罗尼·博切尔 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：一种真空腔室装置(1000)根据不同的实施例可以具有如下：多个真空腔室(1002a至1002e)；用于沿着运输方向穿过所述多个真空腔室(1002a至1002e)运输衬底(306)的运输系统(324)；其中，真空腔室(1002a至1002e)在运输方向上借助横向于运输方向延伸的真空腔室侧壁(104a，104b，1304a，1304b)彼此分开；其中每个真空腔室都具有腔室盖开口(104o)；多个腔室盖，其中每个腔室盖配设于一个腔室盖开口(104o)，用于真空密封地封闭相应的真空腔室；其中所述多个腔室盖的至少一个腔室盖(102)具有多个高真空泵连接开口(106a，106b，106c)，用于分别连接一个高真空泵；其中所述多个真空腔室(1002a至1002e)的至少一个真空腔室设定为气体分离腔室(100)并且具有：设置在所述气体分离腔室(100)中的气体分离结构(312)，所述气体分离结构限界气体分离通道(311)，其中所述气体分离结构(312100)配设于具有多个高真空泵连接开口(106a，106b，106c)的腔室盖(102)。
气体分离真空腔室腔室盖腔室气体分离通道高真空泵运输方向延伸连接开口运输系统穿过开口彼此分开穿通开口方向上将元件设置真空密封中部区域侧壁衬底限界封闭延伸

[发明专利]多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法-CN202080044492.8在审
发明人： D·斯坎兰;K·L·莎侬;D·斯蒂芬森 -专利权人：爱德华兹真空泵有限责任公司
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了一种真空排气系统和抽空多个腔室（10）的方法。真空排气系统位于洁净间中，并且包括：多个分支工艺气体通道（14），每个分支工艺气体通道被配置成连接到相应的腔室（10）；以及共享工艺通道（16），该共享工艺通道由分支通道的汇合形成，并且被配置成提供共享的流体连通路径，以用于来自所述腔室中的每一个的工艺气体从洁净间流动到洁净间外部的工艺通道。还存在多个分支抽气通道（30），每个分支抽气通道被配置成连接到相应的腔室（10）和共享的抽气通道（32），该共享的抽气通道由分支抽气通道的汇合形成，并被配置成提供流体连通路径以用于流体在真空腔室（10）
多个真空腔排气系统抽空方法

[发明专利]用于真空腔室的部件、真空腔室和制造排气孔的方法-CN201880095141.2在审
发明人：奥利弗·海默尔;莱内尔·欣特舒斯特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：描述一种用于真空腔室(500)的部件(502)。所述部件包括第一表面(232)和设置在所述第一表面中的盲孔(210)。所述部件进一步包括设置在所述第一表面中并且部分地与所述盲孔重叠的排气孔(220)。
用于空腔部件制造气孔方法

[发明专利]处理基板用的真空腔室及包含该真空腔室的设备-CN200910148064.5有效
发明人：崔贤范;车安基 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2009-06-24 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种处理基板用的真空腔室包含：腔室本体；及腔室盖，与该腔室本体相结合，其中该腔室盖包含：框架，具有数个开口；及数个平板，与该数个开口相结合，该数个平板中的每一者皆具有比该框架更高的导热性。本发明的真空腔室可防止因强度提升所致的变形。
处理基板用空腔包含设备

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条