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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]真空腔室和真空腔室的门的上锁方法-CN201711458470.2有效
发明人：富田尚宏;伊藤毅;浅川正人;末木英人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种真空腔室和真空腔室的门的上锁方法，进一步提高在FPD等的制造装置的内部工作的操作者的安全性。搬送腔室(10)包括容器、顶板(13)、排气装置(41)、门(32)、电磁锁和控制装置(51)。容器具有收纳被处理基板的空间，在上部具有上部开口。顶板(13)开闭上部开口。排气装置(41)对容器内进行排气。门(32)设置在容器的侧面，操作者进入容器内时被打开。电磁锁对门(32)进行上锁和解锁。控制装置(51)控制电磁锁，使其以顶板(13)被打开且阻碍顶板(13)封闭上部开口的止挡件已安装在上部开口为条件将门(32)解锁。
空腔上锁方法

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