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[发明专利]一种光伏单晶硅片生产成型后的检验装置-CN202211425325.5有效
发明人：吴志军;叶小冰;李威;阮龙飞 -专利权人：浙江矽盛电子有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能光伏技术领域，具体的是一种光伏单晶硅片生产成型后的检验装置，所述检验装置包括:设备架；转移件滑动设置在设备架上，转移件的下方安装有U形板；移动板安装在转移件上，用于装载光伏单晶硅片，通过U形板连接驱使移动板滑动；第一检测架滑动安装在设备架上，通过驱动部件连接驱动第一检测架移动；翻料件固定设置在转移件的一端，用于对光伏单晶硅片翻面。本发明检验装置，采用自动上料、移料、下料的设计，同时进行，缩短检验工艺时间，提高检验效率，同时翻料件自动取走单面检测完的硅片，转动翻料杆，即可完成硅片自动翻面，对硅片进行双面检测，自动化程度高，适合大量光伏太阳能电池生产使用
一种单晶硅生产成型检验装置

[实用新型]一种上镀膜载板-CN201821983942.6有效
发明人：周桂宏 -专利权人：南京仁厚科技有限公司
申请日： 2018-11-28 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型的实施例中提供的上镀膜载板，其包括用于装载硅片的框架以及用于遮挡硅片单侧面的挡板。框架具备有容纳空间，容纳空间内设置有承接台，承接台形成用于承载硅片的承接槽。在框架底部设置有挡板，也即可以使容纳硅片的容纳槽的下方形成一个局部的小腔体，使硅片的下端面与外界形成隔离，进而减少外界环境的影响，同时，设置流通口，可减小硅片上下气压差异，使载板的背面边缘位置和中心位置镀上相同厚度的膜层
硅片挡板镀膜载板容纳空间承接槽承接台流通口太阳能电池片本实用新型背面边缘气压差异外界环境颜色差异单侧面容纳槽下端面小腔体减小膜层腔体遮挡装载承载隔离容纳

[实用新型]一种大容量大尺寸兼容的硅片清洗承载器-CN202022081913.4有效
发明人：曹政民;武瑞;杨旭洲;高小兵;李大伟;李斌;张利敏;贾瑞波 -专利权人：无锡中环应用材料有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-04-16 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片技术领域，尤其为一种大容量大尺寸兼容的硅片清洗承载器，包括下底板和后承载杆，所述下底板上端后侧固定连接有后承载杆，所述后承载杆上端固定连接有上盖板，所述上盖板下端中部固定连接有中间承载杆，所述下底板上端前侧固定连接有转动座；本实用新型中，通过设置的后承载杆、中间承载杆、前承载杆、放置槽一、放置槽二、放置槽三、转动座、限位螺纹孔和限位螺栓，通过变更花篮结构框架，设置承载杆和放置槽来固定硅片，不仅便于硅片的放置和固定，也可以增加装载量及兼容性，提高生产效率，同时可以对硅片进行限位，防止硅片在清洗和转运过程中掉落。
一种容量尺寸兼容硅片清洗承载

[发明专利]一种二氧化硅隧穿层的制备方法-CN201910241251.1在审
发明人：张高洁;吴仕梁;路忠林;张凤鸣;刘晓瑞;武青茹;周浩 -专利权人：江苏日托光伏科技股份有限公司
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开一种二氧化硅隧穿层的制备方法，其特征在于包括以下几个步骤：第一步、清洗晶体硅片；第二步、将清洗后的晶体硅片装载入氧化炉，升温至800℃；第三步、向氧化炉内通入氧气进行氧化，氧化时间100s~800s；第四步、关闭氧气，循环通入惰性保护气体，冷却时间至少30min，直至晶体硅片温度降至100℃以下；第五步、出舟卸载硅片。本发明工艺方法解决氧化炉高温>800℃氧气氧化难以形成超薄<2 nm的二氧化硅的问题，并且消除了氧化炉高温>800℃氧气氧化，但是卸载硅片时低温氧化的氧化层形成造成二氧化硅/晶体硅的界面较差的问题。
氧气二氧化硅晶体硅片氧化炉隧穿层硅片卸载制备清洗惰性保护气体低温氧化晶体硅温度降氧化层装载冷却

[实用新型]一种用于镀膜设备的升降结构-CN202020158248.1有效
发明人：张武;庞爱锁;林佳继;刘群;林依婷 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：所述炉门能够用于密封镀膜设备的炉口，所述升降结构包括载板升降组件和载板升降模组，所述载板升降组件安装在炉门上，并能够随炉门升降，所述载板升降模组连接载板升降组件并通过载板升降组件驱动炉门的升降，所述炉门能够装载用于承载硅片的硅片载具，载板升降组件连接硅片载具，并能够驱动硅片载具的升降。本实用新型采用二级升降驱动，其中一级升降驱动主要进行大范围的整体升降，另外一级升降机构主要用于在镀膜过程中对硅片载具的进行微调，改变镀膜位置，实现双面镀膜。
一种用于镀膜设备升降结构

[发明专利]一种硅片交接装置-CN202310155115.7在审
发明人：产启平;高建祥;陈淮阳 -专利权人：上海御微半导体技术有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开一种硅片交接装置，包括旋转组件和夹持锁定组件；旋转组件包括支撑硅片的旋转支撑架和旋转驱动机构，旋转支撑架具有交接位和非交接位，当旋转支撑架处于交接位，硅片能脱离旋转支撑架，旋转驱动机构驱动旋转支撑架转动以使旋转支撑架处于交接位或非交接位；夹持锁定组件包括可升降的夹持机构，夹持机构设有锁定件，夹持机构具有夹持位和锁定位，当夹持机构处于夹持位，夹持机构能抵压硅片；当夹持机构处于锁定位本发明的硅片交接装置，稳定性和安全性较高，保证对硅片可靠装载，避免硅片交接过程中的损坏。
一种硅片交接装置

[实用新型]单晶硅片制绒托架-CN201621188069.2有效
发明人：吴应华;李增彪;何悦;任勇;王在发;王银 -专利权人：尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2016-11-04 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶硅片制绒托架，所述的托架用以装载底部两侧具有硅片卡槽的承载盒，所述的托架包括底面和垂直于底面的四个侧面，所述的两相对的侧面分别设有钢板，所述的两钢板之间设有固定的相平行的两圆杆，所述的圆杆距底面的高度高于承载盒底部卡槽的最高点距承载盒最低点的高度采用了该实用新型中的单晶硅片制绒托架，通过将PVDF材质的圆杆放置在承载盒底部位置，并保持横杆高度高于承载盒底部卡槽，在硅片插入承载盒后，底部先接触PVDF圆杆，硅片不再接触承载盒卡槽底部，制绒过程中，由于硅片底部不再陷入承载盒卡槽内，药液交换快速，反应副产物可以快速脱离接触点，从而避免硅片底部发白色斑。
单晶硅片制绒托架

[实用新型]一种用于太阳能电池片生产的链式设备传输轨道-CN201320799194.7有效
发明人：张小盼;赵强;赵学玲;范志东 -专利权人：保定天威英利新能源有限公司
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型通过设计滚轮位置可以任意调整的传输轨道，使各轨道滚轮处于不同的直线上，避免硅片从设备装载区到卸载一端滚轮一直处于硅片上相对固定的位置，使硅片各处都能受到均匀腐蚀，避免了太阳电池表面滚轮印痕的产生
一种用于太阳能电池生产链式设备传输轨道

[发明专利]应用于切割设备中的硅棒切割控制方法及切割设备-CN202210766065.1在审
发明人：陈明一;霍士凡;刘普襄;徐德军 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种应用于切割设备中对硅棒进行切割的控制方法及切割设备，其中方法包括：控制装载机构将对中工装装载至切割设备的承载平台上；控制对中机构移动对中工装，并进行对中测试；当获取到测试完成指令时，控制装载机构将待切割的硅棒装载至承载平台上；控制对中机构对硅棒进行对中；控制切割设备中的切割线与硅棒产生相对移动，以沿硅棒的长度方向对硅棒进行切割，得到两个小硅棒，小硅棒的横截面积小于硅棒的横截面积。本申请实施例提供的切割控制方法及切割设备，能够确保硅棒位于与切割线对应的位置处，将硅棒切割成横截面积较小的小硅棒，便于直接对小硅棒进行切片得到小硅片，省去了传统激光划片的步骤，提高硅片质量及成品率。
应用于切割设备中的控制方法

[发明专利]全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法-CN202010585167.4在审
发明人：顾韻 -专利权人：无锡市南亚科技有限公司
申请日： 2020-06-23 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的提供的全自动硅片清洗送料夹具及其清洗方法，长边条和短边条首尾依次铰接组成一个平行四边形的边框，平行四边形的边框的锐角大小可调，调整范围为60°到90°；每个长边条的内侧面纵向等间距的设置有固定柱子，相邻固定柱子的间距大于硅片的厚度，小于硅片厚度的1.5倍；还包括底板，所述的底板设置在边框的一侧，底板的其中一个长边固定在其中一个长边条上。将装载有硅片的全自动硅片清洗送料夹具放置在全自动硅片清洗设备中清洗，每个清洗步骤中，都至少转动一次短边条，调整平行四边形的边框的夹角。本发明通过平行四边形的边框的变形，用海绵对硅片夹持部分清洗，可以确保整个硅片表面都充分的清洗。
全自动硅片清洗夹具及其方法

[发明专利]隧穿氧化层的制备方法、太阳能电池及其制备方法-CN202310244684.9在审
发明人：杨睿;豆照园 -专利权人：天合光能股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：隧穿氧化层的制备方法包括：将反应炉管内的温度设置为580℃～610℃，并向反应炉管内通入氧气；其中，反应炉管内装载有多个硅片，且氧气的通入方向垂直于各硅片的厚度方向；直至反应炉管内的压强达到0.9～0.95个大气压时停止通入氧气，并将反应炉管内的温度以580℃～610℃保持4min～15min，以在硅片上生长隧穿氧化层包括。本发明能够提高反应炉管内各硅片间隧穿氧化层的均匀性。
氧化制备方法太阳能电池及其

[发明专利]一种硅片优化调度的方法和装置-CN200910243876.8有效
发明人：梁小祎 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2009-12-24 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供了一种硅片优化调度的方法和装置，所述方法包括：基于系统状态节点，模拟各种可能的子路径，得到多个可行的硅片移动路径；所述各种可能的子路径包括硅片从源装载模块移动至缓冲模块中的子路径；比较所模拟得到的多个可行的移动路径，获取其中用时最短的移动路径作为最优移动路径；按照最优移动路径执行硅片的移动任务。
一种硅片优化调度方法装置

[实用新型]一种满足装载大尺寸超薄硅片的片架-CN201821904687.1有效
发明人：王冬雪;高树良;谷守伟;赵越;崔伟;郭志荣;刘涛;郭俊文 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种满足装载大尺寸超薄硅片的片架，包括片架本体、分片机构和矫正装置，分片机构设于片架本体的底部，矫正装置设于片架本体的一端。本实用新型的有益效果是结构简单紧凑，在片架整体结构尺寸不变的情况下，增设分片机构，满足大尺寸硅片的插片清洗要求，避免粘片的现象发生，且能与现有设备相匹配，提高了大尺寸硅片生产产能，减少了大尺寸硅片生产成本投入
片架大尺寸硅片分片机构本实用新型超薄硅片矫正装置装载生产效率现有设备插片产能粘片紧凑匹配生产成本兼容清洗增设生产

[实用新型]适用于硅片插片机扩展的插片花篮-CN202220778714.5有效
发明人：赵永恒;李松;吕渊博;陈发勤;刘群峰 -专利权人：宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用于插片机扩展的硅片插片花篮，包括花篮本体，花篮本体为上表面开口的盒状结构；花篮本体内壁侧表面开设有多条滑槽，滑槽内滑动连接有插片板，插片板表面开设有多个竖向的插槽；插片板包括两组插槽相对的插片板；硅片插在两组插片板之间。该装置解决了现有技术的插片机在面对不同尺寸的硅片时需要频繁进行行程修正的问题，具有可适应多种尺寸的硅片装载，可避免插片机频繁进行行程修正，提高了作业效率和设备通用性的特点。
适用于硅片插片机扩展花篮

[实用新型]一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置-CN202021552729.7有效
发明人：肖健;任凯;肖战武;黄健 -专利权人：南京国盛电子有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种桶式外延炉基座旋转同心度监控装置，包括：桶式基座，用于装载硅片；同心度监控装置，用于实时监控桶式基座旋转同心度是否为允许范围，如旋转同心度偏差超出了允许范围即报警。本实用新型可解决桶式基座旋转同心度的量化监控和及时控制，防范了因基座旋转同心度变化导致硅片厚度均匀性异常报废。
一种外延基座旋转同心监控装置