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[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的传输装置-CN202023265729.1有效
发明人：仇慧生;芮瞻飞;蒋文旭;陆古相;谢程 -专利权人：环晟光伏（江苏）有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种适用于大尺寸硅片的传输装置，包括：传送装置、定位装置，皮带；其中，传送装置的两端设有定位装置，定位装置将皮带横向固定在传送装置上，皮带承载大尺寸硅片，传送装置匀速传输，带动承载大尺寸硅片的皮带运动本实用新型的有益效果是：能够满足大尺寸硅片的传输需求，加大了对于大尺寸硅片的承载力，并在传送过程中，可防止硅片在传送装置上滑动脱落，是传送过程更加方便；该装置还具有结构简单，维修方便，加工成本低、生产效率高等优点
一种适用于尺寸硅片传输装置

[发明专利]大尺寸硅片的切割方法和大尺寸硅片的切割设备-CN202210878611.0在审
发明人：夏益民;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：三一集团有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，提供一种大尺寸硅片的切割方法和大尺寸硅片的切割设备。该方法包括：控制待切割的硅棒移动至切割线网的切割零点位置；控制硅棒向切割线网移动，并控制切割线沿导辊组件的周向作周期性的往复运动切割硅棒，得到多个大尺寸硅片；其中，切割线在第一个切割周期的进线过程切入硅棒的深度为目标深度该方法控制切割线在第一个切割周期进线过程切入硅棒的深度达到目标深度，防止切割线抖动对大尺寸硅片的厚度和TTV的均匀性造成影响。
尺寸硅片切割方法设备

[发明专利]一种大尺寸CCD芯片的贴片方法-CN202211474439.9在审
发明人：谷顺虎;程顺昌;潘祖锴;阙筱雅;古自福;岳金林 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L27/148 文献下载
摘要：本发明涉及一种大尺寸CCD芯片的贴片方法，包括测量大尺寸CCD芯片和陶瓷管壳的厚度；用预设的厚度减去大尺寸CCD芯片和陶瓷管壳的厚度得到目标厚度；对硅片进行高精度硅片减薄处理分割多个正方形硅片；按照蛇形在陶瓷管壳的连接面上涂覆粘接胶，粘接胶将陶瓷管壳的连接面分割为多个长方形安装区域；多个正方形硅片安装在所有长方形安装区域内；将大尺寸CCD芯片放置在陶瓷管壳的连接面上；沿大尺寸CCD芯片光敏面的中心向四周按压大尺寸CCD芯片，对于超出预设厚度的区域和凸出区域再次按压，使大尺寸CCD芯片的光敏面平整为止，完成大尺寸CCD芯片的贴片，可有效保证大尺寸CCD芯片的贴片平整度，提高产品的成品率。
一种尺寸 ccd 芯片方法

[实用新型]一种满足装载大尺寸超薄硅片的片架-CN201821904687.1有效
发明人：王冬雪;高树良;谷守伟;赵越;崔伟;郭志荣;刘涛;郭俊文 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种满足装载大尺寸超薄硅片的片架，包括片架本体、分片机构和矫正装置，分片机构设于片架本体的底部，矫正装置设于片架本体的一端。本实用新型的有益效果是结构简单紧凑，在片架整体结构尺寸不变的情况下，增设分片机构，满足大尺寸硅片的插片清洗要求，避免粘片的现象发生，且能与现有设备相匹配，提高了大尺寸硅片生产产能，减少了大尺寸硅片生产成本投入，能够进行批量生产，与现有的M2和M4同一片架兼容，提高了大尺寸的生产效率。
片架大尺寸硅片分片机构本实用新型超薄硅片矫正装置装载生产效率现有设备插片产能粘片紧凑匹配生产成本兼容清洗增设生产

[实用新型]大尺寸硅片清洗装置-CN201320136420.3有效
发明人：谌虹毅;陈杰;柏友荣;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 -专利权人：上海超硅半导体有限公司
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸硅片清洗装置，包括支撑轴（1）、传动臂（11）以及花篮（21）；支撑轴（1）和花篮（21）之间通过传动臂（11）相互连接；支撑轴（1）内设置有可调频动力轴（2），可调频动力轴（2）
尺寸硅片清洗装置

[发明专利]一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池生产的氧化方法-CN202010003779.8有效
发明人：王鹏;何秋霞;马擎天 -专利权人：环晟光伏（江苏）有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池生产的氧化方法，包括以下步骤，对待氧化的硅片进行切割，将硅片一分为二，形成半片硅片；采用直插式，将半片硅片进行插片；对半片硅片进行氧化。本发明的有益效果是用于大尺寸硅片进行氧化，将硅片切割成半片硅片，并采用直插式插片，进行硅片氧化，降低改造成本，满足硅片氧化需求。
一种用于半片大尺寸硅片电池生产氧化方法

[发明专利]一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法和装置-CN201910734395.0在审
发明人：刘晓瑞;王茜茜;周浩;职森森;吴仕梁;路忠林;张凤鸣 -专利权人：江苏日托光伏科技股份有限公司
申请日： 2019-08-09 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法和装置，属于光伏设备技术领域。包括将大尺寸硅片依次经过预清洗臭氧‑碱抛‑前处理臭氧‑制绒‑后处理臭氧‑混酸‑烘干的步骤，得到绒面均匀的大尺寸硅片。本发明创造性的提出一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法，增加含HF的臭氧预清洗槽，可提高清洗效果，改善因脏污导致的绒面不均一和绒面不良的情况，降低不良比例，降低生产成本；各臭氧槽体采用槽盖喷淋的形式代替臭氧槽之后的水洗槽底部和两个槽侧壁均设置鼓泡气管，解决了加深的槽体中底部鼓泡无法到达溶液上部和表面的问题，保证了大尺寸硅片制绒过程中的均匀性，提高了绒面质量。
大尺寸硅片臭氧制绒均匀性绒面槽体鼓泡方法和装置后处理光伏设备降低设备清洗效果预清洗槽槽侧壁前处理水洗槽预清洗槽盖和绒烘干混酸均一喷淋脏污气管加深保证

[发明专利]一种硅片电池镀膜用石墨舟片、石墨舟及镀膜方法-CN202010003638.6在审
发明人：王鹏;何秋霞;马擎天 -专利权人：环晟光伏（江苏）有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池镀膜用石墨舟片，包括石墨舟片本体和分隔件，石墨舟片本体上设有多个硅片放置区，多个硅片放置区沿着石墨舟片本体的长度方向依次设置，分隔件设于硅片放置区处，硅片放置区周侧设有卡点本发明的有益效果是适合半片硅片进行镀膜时使用，在不改变石墨舟整体的结构的情况下，改变硅片放置区的结构，降低改造成本，便于大尺寸硅片进行镀膜。
一种硅片电池镀膜石墨方法

[发明专利]一种大尺寸硅片碱腐清洗装置及清洗工艺-CN201911134400.0在审
发明人：刘姣龙;武卫;孙晨光;刘建伟;由佰玲;刘园;谢艳;杨春雪;刘秒;常雪岩;裴坤羽;祝斌;王彦君;吕莹;徐荣清 -专利权人：天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种大尺寸硅片碱腐清洗装置，包括依次设置的预清洗单元、碱洗单元、酸洗单元和干燥单元，在所述碱洗单元至少包括一个碱液槽，所述干燥单元至少包括烘干槽。本发明还提出一种大尺寸硅片碱腐清洗工艺。本发明可去除硅片表面由减薄造成的损伤层，同时最大限度地降低硅片表面的金属离子，保证硅片表面洁净，提高硅片表面洁净度，保证产品质量，提高硅片清洗的成品率。
一种尺寸硅片清洗装置工艺

[实用新型]一种硅片电池镀膜用石墨舟片及石墨舟-CN202020005933.0有效
发明人：王鹏;何秋霞;马擎天 -专利权人：环晟光伏（江苏）有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池镀膜用石墨舟片，包括石墨舟片本体和分隔件，石墨舟片本体上设有多个硅片放置区，多个硅片放置区沿着石墨舟片本体的长度方向依次设置，分隔件设于硅片放置区处，硅片放置区周侧设有卡点本实用新型的有益效果是适合半片硅片进行镀膜时使用，在不改变石墨舟整体的结构的情况下，改变硅片放置区的结构，降低改造成本，便于大尺寸硅片进行镀膜。
一种硅片电池镀膜石墨

[实用新型]一种兼容大尺寸硅片的PECVD石墨载板-CN201921270916.3有效
发明人：王茜茜;职森森;刘晓瑞;周浩;吴仕梁;路忠林;张凤鸣 -专利权人：江苏日托光伏科技股份有限公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种兼容大尺寸硅片的PECVD石墨载板，石墨载板的石墨框上设有多个用于承载硅片的框格，框格为内部镂空的正方形边框结构，四个边框内侧结构形状相同，每个边框均设有阶梯状的多个台阶，相邻的两个台阶间的连接面为斜面，水平的台阶面和为斜面的连接面均为用于搭载硅片的承载台。本实用新型通过重新设计石墨框硅片承载台的结构，实现了多种规格硅片的承载，最大可满足200*200mm大尺寸硅片，采取水平台阶与斜面的组合型硅片承载台设计，既消除了因为硅片尺寸过大易翘曲从而在镀膜过程中产生绕镀的问题，又解决了小尺寸硅片在斜面上的掉片问题。
一种兼容尺寸硅片 pecvd 石墨

[发明专利]一种可以传输大尺寸硅片的焊机传输机构-CN201910755549.4在审
发明人：肖扬鑫;桂军;马擎天 -专利权人：东方环晟光伏（江苏）有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种可以传输大尺寸硅片的焊机传输机构，包括传输装置和定位装置，其中，定位装置设于传输装置上，且相邻定位装置之间的距离与硅片的尺寸相适应，便于对硅片进行定位传输。本发明的有益效果是具有定位装置，有效的保证每一片硅片的位置和间距，与多根传输带或宽的传输带的横向支撑相配合，可以避免硅片尺寸过大造成的硅片尺寸变形，减少传输过程中硅片变形掉落和传输偏移，降低碎片率。
硅片定位装置大尺寸硅片传输机构传输装置焊机传输带传输变形相邻定位装置传输过程传输偏移横向支撑碎片率掉落配合保证

[发明专利]一种金刚线切割大尺寸太阳能级硅片清洗剂及其制备方法-CN202110953811.3在审
发明人：刘庆;王艺澄;吴纪清 -专利权人：江苏美科太阳能科技有限公司;包头美科硅能源有限公司
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： C11D1/831 文献下载
摘要：本发明公开了一种金刚线切割大尺寸太阳能级硅片清洗剂及其制备方法，该清洗剂包括以下按质量分数计的组分：天然产物提取醇聚氧乙烯醚类润湿剂4%‑12%、脂肪酸聚氧乙烯醚磺酸类分散剂3%‑7%、无机碱3%‑10%与现有技术相比，本发明金刚线切割大尺寸太阳能级硅片清洗剂生物降解能力优异；极易漂洗，不易残留；增强了硅片表面的硅粉清洗剥离能力，并能使清洗工序简便化；适合大尺寸硅片表面清洗。
一种金刚切割尺寸太阳能级硅片洗剂及其制备方法

[发明专利]一种单晶大尺寸硅片用高游离碱度单组分清洗剂-CN202210572090.6有效
发明人：杨文勇;洪育林;安冠宇 -专利权人：武汉宜田科技发展有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C11D10/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶大尺寸硅片用高游离碱度单组分清洗剂，该清洗剂以重量组分计包括：无机碱15~35份，润湿分散剂5~15，润湿分散剂3~8份，纯水余量。本发明具有如下有益效果：具有高游离碱性的单组分低泡沫类型产品，使用操作方便；对大尺寸单晶硅片表面污物的分散能力强，湿性能佳；易被漂洗、低残留；对沾污硅粉的碱蚀反应能力强，硅片表面的金属离子残留浓度极低；非常适合大尺寸单晶硅片表面的清洗。
一种单晶大尺寸硅片游离碱度组分洗剂

[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的石英舟-CN202022927160.4有效
发明人：朱德成;芮瞻飞;仇慧生 -专利权人：环晟光伏（江苏）有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种适用于大尺寸硅片的石英舟，包括：石英舟主体、支架，支撑块；其中，石英舟主体内部设有凹槽，支架卡设在凹槽内，支架上设有支撑块，支撑块支撑并承载大尺寸硅片。本实用新型的有益效果是：可以将大尺寸硅片更稳定的固定在石英舟上，并同时减少了硅片在石英舟上的变形程度，防止电池片碎片，提高了电池片的转换效率，使承载过程更加方便；该实用新型还具有结构简单，维修方便，加工成本低
一种适用于尺寸硅片石英

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