“沈恒文”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果40个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构-CN202321207409.1有效
发明人： 沈恒文;程宣林;金修领;郝小峰;刘彤辉;高月华 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2023-05-18 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，包括顶盖本体，所述顶盖本体内设有安装机构，所述安装机构包括活动安装于顶盖本体内的连接杆，所述连接杆外周壁固定连接有第一连接块和第二连接块，所述第一连接块和第二连接块内均开设有限位孔，所述第一连接块和第二连接块上表面螺纹连接有插接至顶盖本体内的限位杆，所述顶盖本体下表面卡接有保护板。该一种碳化硅外延炉反应室顶盖结构，通过设置连接杆、第一连接块、第二连接、限位孔、限位杆和保护板，从而可以通过限位杆让顶盖本体与保护板进行连接，多个保护板与顶盖本体连接，从而方便对损坏的保护板进行更换，通过设置卡接杆和限位槽，从而可以让多个保护板之间连接。
一种碳化硅外延反应顶盖结构

[实用新型]一种碳化硅外延炉生长单元-CN202321393162.7有效
发明人： 沈恒文;程宣林;金修领;郝小峰;刘彤辉;高月华 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅外延炉生长单元，包括安装罩和碳化硅外延炉本体，所述安装罩的内顶壁转动安装有套筒，所述套筒的内壁螺纹安装有移动块，所述移动块的底部固定安装有延伸到套筒下方的支撑杆，所述支撑杆的底部固定安装有活动板，所述活动板的底部四角均固定安装有移动轮，所述安装罩的左侧固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有延伸到安装罩内部的转杆，所述转杆的右端固定安装有锥形齿轮，所述套筒的表面固定安装有与锥形齿轮相啮合的锥形齿环。该碳化硅外延炉生长单元，方便碳化硅外延炉本体进行移动，防滑垫的设置使得装置在放置的时候更加稳定，由此大大提高了该装置的实用性。
一种碳化硅外延生长单元

[实用新型]一种碳化硅外延设备的石墨快拆结构-CN202321393130.7有效
发明人： 沈恒文;程宣林;金修领;郝小峰;刘彤辉;高月华 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅外延设备的石墨快拆结构，包括底座和快拆结构，所述底座顶部左右两侧均固定连接有垫座，所述垫座顶部接近底座中部的一侧固定连接有石墨件，所述快拆结构均装设于底座左右两侧；所述快拆结构包括基座，所述基座顶部左右两侧均固定连接有双向螺纹杆，所述双向螺纹杆顶部固定连接有把手，所述转轴与双向螺纹杆顶部固定连接，所述转轴外部中部固定连接有橡胶垫。该碳化硅外延设备的石墨快拆结构，具备在石墨件的左右两侧均装设有快拆结构，而快拆结构能够将石墨件、盖帽以及底座不拆卸时能够进行紧密连接，而在需要拆卸石墨件时也能够对其进行快速的拆卸，从而增强石墨快拆实用性等优点。
一种碳化硅外延设备石墨结构

[实用新型]一种绞车远程控制系统-CN202320411047.1有效
发明人：杨孝成;韩洪德;孟凡恩;沈恒文 -专利权人：江苏徐州港务集团邳州港有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B66D1/46 文献下载
摘要：本实用新型提出一种绞车远程控制系统，包括GPRS遥控开关和高增益托盘天线，所述GPRS遥控开关设于绞车上，所述高增益托盘天线设于GPRS遥控开关的上方，所述GPRS遥控开关包括电机M，所述电机M通过熔断器电连接于开关K1、K2、K3、K4，所述开关K1常闭触点COM1、NC串联在按钮SB1前端；开关K2常开触点COM2、NO2并联SB2常开触点，开关K3常开触点COM3、NO3并联SB3常开触点，开关K4常开触点COM4、NO4并联SB4常开触点。本实用新型采用绞车控制电路相结合，利用GPRS遥控开关的触点代替操作台上的按钮，实现绞车远程控制。可以实现1人在现场操作，同时挂钩、摘钩，另外1人巡道，解决联系不畅，保证设备正常运行。降低故障率，节约维修时间和成本，保证设备正常运行。
一种绞车远程控制系统

[实用新型]一种进气喷嘴结构-CN202223439977.2有效
发明人： 沈恒文;程宣林;刘彤辉;郝小峰 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： F23D11/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种进气喷嘴结构，涉及喷嘴技术领域，包括外壳机构，所述外壳机构的内部固定安装有油过滤机构，所述外壳机构的底部固定连通有气体过滤机构。本实用新型中，在使用中，通过将连接管与内部的油气过滤罩进行连通，随后将油气通过连接管输送进设备内部，并且通过内部油气过滤罩的作用下，对有种含有的一些杂质物进行有效过滤处理，从而保持油自身的洁净度，不仅对其燃烧时更加的充分，并且减少杂质物的滋生，从而有效避免对喷嘴内部造成污染堵塞。
一种喷嘴结构

[实用新型]一种立式液相外延炉-CN202223515927.8有效
发明人： 沈恒文;程宣林;王伟康;陈吕;吉双平 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： C30B19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种立式液相外延炉，涉及外延炉技术领域，包括外延炉机构，所述外延炉机构的顶部固定安装有密封机构，所述外延炉机构的外壁一侧固定安装有旋转机构。本实用新型中，第一电动伸缩杆在轴承的作用下，能够使其在固定板的内表壁之间进行转动，通过底部转动电机作为其转动的驱动力，随后第一电动伸缩杆通过自身的伸缩性，致使联动盘底部的多个吸盘，与工艺腔板内部的半导体晶相接触，随后与半导体晶相接触与之产生吸附，随后通过电动伸缩杆以及转动电机的驱动下，将晶体转送到外部的包装设备中，并且在此过程中，通过自动化的运行，能够有效避免人工与半导体晶相接触，对晶体外表壁污染的问题。
一种立式外延

[实用新型]一种单片式外延炉-CN202223384284.8有效
发明人： 沈恒文;程宣林;金修领;高月华 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单片式外延炉，涉及外延炉技术领域，包括外壳，所述外壳的上表面设置有升降组件，所述外壳的下表面设置有夹持组件；所述夹持组件包括矩形块，所述矩形块的下表面开设有安装槽，所述安装槽的内表面之间转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的右端面滑动贯穿安装槽的内表面并延伸至外侧，所述双向丝杆的右端面固定连接有第一把手。本实用新型中，转动第一把手，带动双向丝杆转动，从而同时使两个移动块移动，然后通过两个夹持块和挡板可以将不同大小的卤钨灯组加热器安装在矩形块的中心位置，通过卤钨灯组加热器对石英CVD反应腔的外部进行加热，从而减少氯化氢腐蚀时间，提升了工作效率。
一种单片外延

[实用新型]一种气体流量控制装置-CN202222249764.7有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;高月华;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及设备防护技术领域，且公开了一种气体流量控制装置，包括气体输送装置，气体输送装置底部固定块连接有下凸环，气体输送装置顶部固定连接有上凸环，上凸环顶部固定连接有电压控制器，电压控制器顶部固定连接有进气管，下凸环底部固定连接有出气管。该气体流量控制装置，通过设置的防护机构，在气体输送装置工作时防护外壳对其进保护，使防护外壳内的气体输送装置减少与外部空气的接触，降低了外部空气中的水汽与灰尘对气体输送装置的侵害，增加了气体输送装置的使用寿命，同时防护外壳的存在也避免了气体输送装置会因工作人员的操作失误而与其他物体发生碰撞，提高了气体输送装置的使用寿命。
一种气体流量控制装置

[实用新型]一种用于生产硅外延片的化学气相沉积装置-CN202221252053.9有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;高月华;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅外延片生产技术领域，且公开了一种用于生产硅外延片的化学气相沉积装置，包括外壳，所述外壳左侧固定安装有惰性气体筒，所述外壳的内壁顶部固定安装有气相沉积机构，所述外壳底部固定安装有安装机构，所述外壳左侧设置有活动门，所述活动门右侧固定安装有把手，所述活动门底部固定安装有稳定块，所述外壳对应稳定块位置设置有缓冲垫。该用于生产硅外延片的化学气相沉积装置包括气相沉积机构，相比传统的气相沉积机构能够快速的制作数量不多的硅外延片，更加适应少量的硅外延片制作需求，避免了少量制作硅外延片却需要大量惰性气体填充的缺点，占用空间少，更适合更换位置，安装机构，能够快捷方便的更换本装置安装位置。
一种用于生产外延化学沉积装置

[实用新型]一种提高硅外延生长速率的设备-CN202222250112.5有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;高月华;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及气象外延炉技术领域，且公开了一种提高硅外延生长速率的设备，包括气象外延炉，气象外延炉左右两侧固定连接有移动机构，气象外延炉左右两侧位于移动机构外圈位置固定连接有防护机构，移动机构包括固定块，固定块固定连接于气象外延炉左右两侧，固定块远离气象外延炉一侧固定连接有机箱，机箱内固定连接有电机，电机底部固定连接有螺纹转轴，螺纹转轴外圈螺纹连接有伸缩螺筒。该提高硅外延生长速率的设备，通过设置的移动机构，使工作人员可以独自对气象外延炉进行移动工作，无需使用装卸设备进行辅助，增加了气象外延炉在移动时的便捷性，降低了气象外延炉移动时工作人员的工作强度。
一种提高外延生长速率设备

[实用新型]一种用于气体流量控制的气路管道-CN202221252052.4有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;高月华;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： F17D3/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及管道控制技术领域，且公开了一种用于气体流量控制的气路管道，包括第一管道，所述第一管道顶部中间固定连接有调节机构，所述调节机构右侧固定连接有第一支撑柱，所述第一支撑柱右侧顶部固定连接有第一固定环，所述第一管道顶部右侧固定连接有固定装置，所述第一管道右侧固定连接有第二管道，所述第二管道顶部左侧固定连接有第二支撑柱，所述的第二支撑柱左侧顶部固定连接有第二固定环，所述第二支撑柱左侧底部固定连接有密封垫。该用于气体流量控制的气路管道，用第一管道上设置的固定机构，将第二管道固定在第一管道右侧，使密封垫压紧，利用第一管道内设置的调节机构，手动调节气体流通速度。
一种用于气体流量控制管道

[实用新型]一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座-CN202221216469.5有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;高月华;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片外延技术领域，且公开了一种具有碳化硅涂层的硅片外延基座，底座顶部固定连接有夹持机构。夹持机构包括方形筒，方形筒固定连接于底座顶部，方形筒左侧固定连接有第一电机，第一电机右端固定连接有转杆，转杆表面固定连接有锥齿轮，锥齿轮底端啮合连接有锥齿圈，锥齿圈底部与底座顶部中间转动连接，转杆右端固定连接有丝杆，丝杆表面螺纹连接有螺纹筒，螺纹筒另一端固定连接有夹块，夹块底部固定连接有滑条，滑条底部固定连接有滑槽。该具有碳化硅涂层的硅片外延基座，通过设置的夹持机构，避免了硅片外延过程中可能出现的移动，并以此方便对硅片表面进行外延工艺的处理，此外还方便将处理后的硅片进行拿取操作。
一种具有碳化硅涂层硅片外延基座

[实用新型]一种用于硅外延工艺的气流控制装置-CN202220294038.4有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅外延技术领域，且公开了一种用于硅外延工艺的气流控制装置，包括顶针，所述顶针的外部设置有调节机构，所述调节机构包括针筒、固定筒和弹簧，所述固定筒固定连接在针筒的表面，所述固定筒的表面开设有有喷射孔，所述固定筒的两侧设置有圆形通孔，所述顶针的底部为倾斜设置，所述顶针与固定筒滑动连接，所述弹簧固定连接在顶针和针筒之间，所述弹簧与针筒滑动连接，所述调节机构还包括千分尺微分头和连接杆，所述连接杆的底部与顶针连接，所述千分尺微分头与连接杆的顶部连接。一种用于硅外延工艺的气流控制装置，通过设置调节机构的作用，整个装置达到方便对气流的流量进行调节的作用。
一种用于外延工艺气流控制装置

[实用新型]一种砷外延尾气净化装置-CN202220297148.6有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B01D46/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及砷外延尾气净化技术领域，且公开了一种砷外延尾气净化装置，包括进气管，所述进气管和出气管左右对称设置，所述进气管和出气管均为L型设置，所述进气管和出气管之间水平设置有滤气管，所述进气管和出气管底端均固定贯穿滤气管顶面设置；滤气管右侧面开口设置。该砷外延尾气净化装置，通过在滤气管内部设置套管和过滤环板对尾气中的杂质和灰尘进行阻拦，然后通过清洁盘将滤气管内壁上粘附的灰尘进行清理；通过在进气管内部设置适配块，并通过限位罩挤压限位环使不同尺寸的尾气管右端面均能与台阶槽内壁密封接触；通过在出气管内部设置固定套，利用隔板，将吸附块进行分隔，使吸附块提高利用率，避免造成浪费。
一种外延尾气净化装置

[实用新型]一种硅外延装备水温水流监控装置-CN202220299026.0有效
发明人： 沈恒文;吉双平;刘彤辉;金修领;郝小峰;王伟康;程宣林 -专利权人：江苏艾匹克半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅外延工艺技术领域，且公开了一种硅外延装备水温水流监控装置，包括传感器主体，所述传感器主体为数字流量和温度一体式传感器，所述传感器主体一侧水平设置有管道，所述传感器主体与管道之间设置有连接管。该硅外延装备水温水流监控装置，在各支路上加装数字流量和温度一体式传感器，反映灵敏可靠，可以实时在线监控实际工艺过程中各支路冷却水流量和温度，为设备和工艺的改善提供了可靠数据支持；数字流量和温度一体式传感器体积精小，可以实现有限空间安装，无需改变原设备水管布局，不影响冷却效果；无需更换管道，安装方便；利用连接机构使连接管适配不同尺寸的管道，现场无需切割，打孔等作业，施工便捷。
一种外延装备水温水流监控装置

1
2
3
下一页»
尾页
共 40 条