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[发明专利]一种晶圆减薄方法-CN201810786447.4在审
发明人：杨一凡 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆减薄方法，应用于一设备晶圆的背面，设备晶圆的正面与一承载晶圆连接；包括：步骤S1，采用一第一研磨工艺对设备晶圆的背面进行研磨，以将设备晶圆的背面减薄第一预设厚度；步骤S2，采用一第二研磨工艺对设备晶圆的背面进行研磨，以将设备晶圆的背面减薄第二预设厚度；其中，步骤S1中，第一研磨工艺为采用第一研磨液对设备晶圆的背面进行研磨；步骤S2中，第二研磨工艺为采用用于清除残留物的第二研磨液进行研磨；能够去除研磨产生的杂质和残留，同时避免氧化层和/或氮化层对研磨效果的影响，保证了研磨的有效性。
研磨晶圆背面对设备背面减薄研磨液减薄预设种晶半导体技术领域氮化层氧化层去除残留承载应用保证

[发明专利]用于研磨待研磨材料的研磨系统和用于研磨待研磨材料的方法-CN201580053637.X在审
发明人： O·哈葛梅尔;M·维尔切克 -专利权人：蒂森克虏伯工业解决方案股份公司;蒂森克虏伯股份公司
申请日： 2015-08-18 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： B02C23/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于研磨待研磨材料的研磨系统(10)，其包括至少一个研磨设备(12、16)和筛选设备(14)，所述筛选设备(14)连接至至少一个研磨设备(12、16)用于筛选研磨材料并且具有静态筛选机和动态筛选机，其中静态筛选机被设置成至少部分地围绕动态筛选机，其中筛选设备(14)具有至少一个粗材料出口(24)，所述粗材料出口(24)用于排出具有粗粒部分的粗材料，至少一个砂砾出口(26)，所述砂砾出口(26)用于排出具有中粒部分的砂砾，和至少一个成品材料出口(28)，所述成品材料出口(28)用于排出具有细粒部分的成品材料，其中研磨系统具有控制/调节设备从而对前往至少一个研磨设备(12、16)的至少一部分待研磨材料流量进行控制/调节。本发明还涉及用于研磨待研磨材料的方法，包括至少如下步骤在至少一个研磨设备(12、16)中研磨待研磨材料，在筛选设备(14)中将研磨材料筛选成粗材料、砂砾和细材料，其中筛选设备(14)具有静态筛选机和动态筛选机，其中静态筛选机被设置成至少部分地围绕动态筛选机，并且其中通过控制/调节设备控制/调节前往至少一个研磨设备(12、16)的待研磨材料流量。
用于研磨材料系统方法

[发明专利]化学机械研磨设备-CN201310084422.7无效
发明人：邓镭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-03-15 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本发明提供的化学机械研磨设备，包括：研磨头、研磨垫修整器和研磨垫，所述研磨垫修整器与研磨头集成在一起，在化学机械研磨工艺过程的同时，研磨垫修整器对研磨垫进行修整。本发明降低了化学机械研磨设备的成本。
化学机械研磨设备

[实用新型]一种便于调节研磨效果的新型二氧化钛研磨机-CN201921621366.5有效
发明人：胡强;沈伟杰;龙志彪;王金龙;童天国;张国林;张其元 -专利权人：浙江方圆新材料股份有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： B02C4/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及研磨机研磨技术领域，且公开了一种便于调节研磨效果的新型二氧化钛研磨机。该便于调节研磨效果的新型二氧化钛研磨机，包括设备本体、第一研磨辊、第二研磨辊、第二研磨辊、第二电机、导向板，设备本体内部的上方设置有第一研磨辊，第一研磨辊的下方设置有第二研磨辊，设备本体的外壁固定安装有第二电机，第二电机的下方设置有第一电机，第一研磨辊与第二研磨辊之间设置有导向板。该便于调节研磨效果的新型二氧化钛研磨机，解决了现有的自动研磨设备无法调节其研磨辊的位置，只能研磨固定大小的物料颗粒，如果想要把物料研磨成更细小的颗粒，需要更换研磨机的问题。
一种便于调节研磨效果新型氧化研磨机

[实用新型]化学机械研磨设备-CN201120092538.1有效
发明人：唐强;金嵩 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2011-11-30 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种化学机械研磨设备，包括：研磨台支架；至少两个研磨台，由下至上分层设置于所述研磨台支架中，每一所述研磨台上表面设置有研磨垫，下表面设置有支撑转动设备；晶圆带动装置，一端设置于所述研磨台支架上本实用新型提供的化学机械研磨设备设置两个以上研磨台，多个研磨台由下至上分层设置于研磨台支架上，且每个研磨台上均对应设置有研磨垫、用于带动晶圆移动、转动的晶圆带动装置，以及用于带动研磨台转动的支撑转动设备，从而将现有技术中两个以上晶圆同时在同一平面的研磨台上进行研磨，两个以上晶圆在不同高度的研磨台上进行研磨，从而减小了化学机械研磨设备的占地面积，降低了成本。
化学机械研磨设备

[发明专利]一种制程工艺参数的反馈控制方法-CN201810596414.3在审
发明人：王征;陈毅俊;阙兵;刘海燕 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2018-06-11 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：本发明提供了一种制程工艺参数的反馈控制方法，应用于化学机械研磨工艺，包括：获取一待研磨晶圆的第一产品信息并发送至自动化程序控制设备；先进工艺控制设备根据第一产品信息以及一标准研磨速率处理获得待研磨晶圆的研磨时间并反馈至自动化程序控制设备；自动化程序控制设备根据研磨时间生成调节指令化学机械研磨设备，根据调节指令调节待研磨晶圆的研磨时间；在当前的待研磨晶圆研磨完成后，获得研磨完成后的晶圆的金属膜厚度的量测值；先进工艺控制设备根据量测值处理获得研磨速率，将处理获得的研磨速率配置为标准研磨速率。其技术方案的有益效果在于，可有效解决导致金属膜偏差问题，以达到先进工艺对金属膜研磨制程工艺的要求。
研磨晶圆程序控制设备金属膜制程先进工艺控制产品信息反馈控制自动化量测化学机械研磨工艺化学机械研磨设备偏差问题时间生成速率处理速率配置先进工艺有效解决指令调节发送指令反馈应用

[发明专利]一种研磨设备及研磨方法-CN201610066850.0在审
发明人：陈浩 -专利权人：宇龙计算机通信科技(深圳)有限公司
申请日： 2016-01-29 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明提出了一种研磨设备及研磨方法。该研磨设备，包括研磨盘和夹具，当研磨板状被研磨件时，所述夹具通过电磁件顺次将研磨件和所述板状被研磨件压紧于所述研磨盘上。研磨方法包括以下步骤将研磨件、板状被研磨件和夹具顺次叠置于研磨盘上；接通电磁件，将所述夹具吸附于所述研磨盘上，以使所述夹具压紧所述研磨件和所述板状被研磨件于所述研磨盘上。采用该研磨设备及研磨方法，简化了平面研磨工艺的装夹过程，提高了研磨效率，并且降低了操作人员的劳动强度。
一种研磨设备方法

[发明专利]一种汽车内饰涂料浆料研磨设备-CN201810928858.2在审
发明人：朱兆晖 -专利权人：朱兆晖
申请日： 2018-08-15 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： B02C15/12 文献下载
摘要：一种汽车内饰涂料浆料研磨设备，包括支撑座板，所述支撑座板上方固定焊接有防护箱体。有益效果：本发明汽车内饰涂料浆料研磨设备的箱体上方设置有进料斗，涂料浆料通过进料斗进入该研磨设备防护箱体，简单方便；该研磨设备设置有升降装置，转动齿轮与活动齿条相互啮合，驱动电机带动转动齿轮转动，进而带动活动齿条上下移动，使得研磨装置达到研磨位置；研磨装置通过旋转电机的工作，转动导杆旋转，转动导杆带动研磨滚柱转动，对浆料进行研磨，研磨之后，降低研磨装置的位置，可以对浆料进行进一步的研磨；研磨之后通过出料槽进入浆料收集箱该设备结构简单，工序简洁，实用性强，研磨更充分，效率更高。
研磨研磨设备涂料浆料汽车内饰研磨装置防护箱体活动齿条支撑座板转动齿轮转动导杆进料斗浆料转动啮合固定焊接浆料收集驱动电机上下移动设备结构升降装置统一处理旋转电机研磨位置出料槽滚柱

[实用新型]一种椭圆形陶瓷研磨体-CN201921137726.4有效
发明人：刘瑞波 -专利权人：萍乡市博超耐材有限公司
申请日： 2019-07-19 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： B02C17/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种椭圆形陶瓷研磨体，它包括研磨本体（1），所述研磨本体用陶瓷材料制成，所述研磨本体呈椭圆柱形，其所述研磨本体椭圆短轴（4）与研磨本体椭圆长轴（3）之比为0.6～0.9，所述研磨本体高度（2）与研磨本体椭圆长轴之比为0.9～1.3。本实用新型与传统金属研磨体相比具有特点是：比重小，球磨设备相对负载小，不仅能降低设备电耗，而且减少设备磨损和设备故障，提高设备运行率和球磨生产效率，可大大降低静电吸附，有利于提高研磨效率和研磨效果，降低研磨体中含铁量和含铬量，确保粉体质量，降低研磨温度和噪音，减少研磨损耗，改善工作环境。
一种椭圆形陶瓷研磨

[发明专利]一种多级研磨的抑菌膏生产膏体研磨设备及研磨工艺-CN202310593388.X在审
发明人：杨原斌;赖爱辉 -专利权人：漳州绿源素生物科技有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多级研磨的抑菌膏生产膏体研磨设备及研磨工艺，涉及抑菌膏生产膏体研磨设备技术领域，该研磨设备及研磨工艺旨在解决现有技术下不具备多级研磨功能和含水物料容易粘连，影响研磨效果，并且不能对研磨后的物料进行筛分的技术问题，该研磨设备包括储料桶、依次安装在储料桶右侧的第一供料组件、干燥箱、第二供料组件、研磨箱、第三供料组件和筛分底座板、固定连接在筛分底座板上端左侧的第一柔性连接组件、固定连接在筛分底座板上端右侧的第二柔性连接组件；其中，第一柔性连接组件和第二柔性连接组件之间固定连接有筛分箱，该研磨设备及研磨工艺对抑菌膏进行多级研磨，研磨效果更好，避免原料粘连，保证研磨后物料的粒度均匀。
一种多级研磨抑菌膏生产设备工艺

[实用新型]半导体材料研磨设备-CN201720512886.7有效
发明人：王娟 -专利权人：贵州贵芯半导体有限公司
申请日： 2017-05-10 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了半导体材料研磨设备，包括研磨设备，所述研磨设备下方固定有支撑底座，所述研磨设备表面焊接有研磨台，所述研磨设备通过连接柱与操作面板连接，所述研磨台表面固定有研磨器，所述研磨器通过支撑座与粗磨转轮连接，且支撑座一侧设置有夹具，所述研磨台一侧固定有导轨，且导轨表面安装有移动控制块，本实用新型中，本申请通过利用两个不同的研磨轮达到不同的研磨效果，同时，精磨转轮设计成了可拆卸结构，通过螺纹和连接杆来固定精磨转轮，可以根据需要更换不同尺寸的研磨轮，同时，还在研磨台上加入了夹取半导体材料的夹具，通过夹具夹取并放入研磨，相比较于手工放置研磨精度更高，安全性更好。
半导体材料研磨设备

[发明专利]一种中药材研磨处理设备-CN202010083377.3在审
发明人：王井辉 -专利权人：王井辉
申请日： 2020-02-09 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B02C18/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种研磨处理设备，更具体的说是一种中药材研磨处理设备，包括搅碎机构、研磨机构、收集机构，设备能够对药材进行搅碎处理，设备能够顺畅出料，设备能够进行研磨，设备能够回收粉料，设备能够方便的拉出取药粉，所述的搅碎机构与研磨机构相连，研磨机构与收集机构相连，搅碎机构与收集机构相连。
一种中药材研磨处理设备

[实用新型]一种原料研磨装置-CN202023271940.4有效
发明人：史优良;史建群;韩顺英;黄秉慧;赵秋平;文婷;姜敏 -专利权人：冶建新材料股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B02C4/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种原料研磨装置。本实用新型的原料研磨装置包括设备主体、研磨装置和辅助粉碎装置，设备主体设置在地面上，设备主体为研磨机提供保护和固定，研磨装置设置在设备主体的内部，研磨装置的作用是将原料进行研磨，辅助粉碎装置设置在研磨装置的顶部，辅助粉碎装置将原料进行粉碎方便进行研磨。本实用新型通过设置辅助粉碎装置，原料在进入研磨仓时通过辅助粉碎装置进行粉碎，从而可以提高研磨装置的研磨效率减少研磨所需时间。通过在辅助粉碎装置上设置粉碎齿，通过粉碎齿将较大较硬的原料进行粉碎后送入研磨仓进行研磨，从而有效的保护了研磨叶片也提升的研磨成品的质量。
一种原料研磨装置

[发明专利]化学机械研磨设备及其滑片侦测方法-CN201910183909.8在审
发明人：胡继祥 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： B24B37/20 文献下载
摘要：一种化学机械研磨设备及其滑片侦测方法，所述化学机械研磨设备包括：研磨盘，用于固定研磨垫；研磨头，位于所述研磨盘上方，用于固定晶圆；传感器，固定于所述研磨头外壁上，且所述传感器的检测窗口朝向所述研磨盘；喷气单元，固定设置于所述研磨盘一侧，用于向所述传感器喷气。所述化学机械研磨设备的滑片侦测效果提高。
化学机械研磨设备及其侦测方法

[发明专利]一种中药材剪碎研磨处理设备-CN202010085521.7有效
发明人：张爱芳;史万和 -专利权人：张爱芳
申请日： 2020-02-09 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种剪碎研磨设备，更具体的说是一种中药材剪碎研磨处理设备，包括剪碎机构、机身机构、研磨机构、收集机构、震动传递机构，设备能够进行搅碎，设备能够防止堵料，设备能够进行研磨，设备能够进行研磨时触发给料，设备能够自动集粉，所述的剪碎机构与机身机构相连，机身机构与研磨机构相连，研磨机构与剪碎机构相连，收集机构与机身机构相连，收集机构与研磨机构相接触，震动传递机构与剪碎机构滑动连接，机身机构与震动传递机构相连
一种中药材研磨处理设备