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[发明专利]真空镀膜设备及其镀膜方法-CN202111661729.X有效
发明人：朱昆;颜学庆;曹健辉;刘玮;陈惠君 -专利权人：广东省新兴激光等离子体技术研究院;等离子体装备科技（广州）有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空镀膜设备及其镀膜方法，所述真空镀膜设备，包括：真空腔室，该真空腔室内的镀膜区与后处理区之间设置有阻隔装置，阻隔装置用于阻隔后处理区的气体分子扩散至镀膜区，并反射至真空泵的抽气口位置；至少一个镀膜材料腔室结构，连接于真空腔室内的镀膜区，用于放置镀膜材料；至少一个离子源，连接于真空腔室内的后处理区，用于对镀膜形成的膜层进行后处理；至少一个真空泵，连接于真空腔室，用于对真空腔室进行抽真空以及将反射至抽气口位置的气体分子抽离所述真空腔室；该技术方案，实现边镀膜边进行后处理的镀膜功能，提高了镀膜效率；同时避免了后处理区的气体分子对镀膜区造成污染，提升了镀膜质量。
真空镀膜设备及其镀膜方法

[实用新型]挤出机抽真空系统-CN202022981969.5有效
发明人：何海潮;管俊 -专利权人：常州金纬智能化工装备有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： B29C48/76 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种挤出机抽真空系统，它包括真空罐和真空泵，真空罐内设置有用于将其分隔为第一区域和第二区域的真空罐隔板，第一区域和第二区域的上端部相连通，第一区域设置有真空罐进口，第二区域设置有真空罐出口；所述真空罐进口与挤出机相连通，所述真空泵的进气口与所述真空罐出口相连通以通过真空罐对挤出机进行抽真空操作。本实用新型通过真空罐隔板将从挤出机中抽出的废物挡在真空罐内的一侧，从而降低清理真空罐中的废物的频率，延长挤出机工作时长。
挤出机真空系统

[发明专利]一种冰箱-CN201910944009.0在审
发明人：杨春;王美艳;张鹏;周晓东 -专利权人：海信（山东）冰箱有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： F25D11/02 文献下载
摘要：本发明公开一种冰箱，冰箱的门体上设有真空封装装置，所述真空封装装置包括由内至外设置的抽真空区以及封装区，储物袋的开口端分别插接于所述抽真空区以及封装区，所述抽真空区对所述储物袋进行抽真空处理，所述封装区用于对所述储物袋进行塑封处理；还包括抽真空组件，所述抽真空组件安装于安装座上；所述抽真空组件包括：真空泵，所述真空泵与所述抽真空区通过管路连通；所述真空泵与安装座之间设有减振件。本发明的冰箱可以对装有食材的储物袋进行真空封装处理；可以对储藏于冰箱各类间室的食材进行抽真空保鲜处理，扩大了保鲜范围；同时，在真空泵与安装座之间设置第一减振件，可以降低该真空封装装置工作时的噪音和振动。
一种冰箱

[实用新型]一种冰箱-CN201921658986.6有效
发明人：杨春;王美艳;张鹏;周晓东 -专利权人：海信（山东）冰箱有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： F25D11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种冰箱，冰箱的门体上设有真空封装装置，所述真空封装装置包括由内至外设置的抽真空区以及封装区，储物袋的开口端分别插接于所述抽真空区以及封装区，所述抽真空区对所述储物袋进行抽真空处理，所述封装区用于对所述储物袋进行塑封处理；还包括抽真空组件，所述抽真空组件安装于安装座上；所述抽真空组件包括：真空泵，所述真空泵与所述抽真空区通过管路连通；所述真空泵与安装座之间设有减振件。本实用新型的冰箱可以对装有食材的储物袋进行真空封装处理；可以对储藏于冰箱各类间室的食材进行抽真空保鲜处理，扩大了保鲜范围；同时，在真空泵与安装座之间设置第一减振件，可以降低该真空封装装置工作时的噪音和振动
一种冰箱

[实用新型]一种高温气冷堆抽真空系统-CN202122602132.X有效
发明人：许杰;杨文明;张振鲁;孙惠敏;肖三平;张进 -专利权人：华能核能技术研究院有限公司;华能山东石岛湾核电有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G21C19/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及高温气冷堆技术领域，具体涉及一种高温气冷堆抽真空系统，包括：并联设置的第一反应堆一回路区和第二反应堆一回路区；氦气辅助区，与所述一回路区并联布置，所述氦气辅助区内并联设置有净化区、净化再生区和辅助排气区，所述氦气辅助区与所述一回路区均与入口母管路连通；抽真空区，一端与所述入口母管路连通，另一端与负压排风区连通，所述抽真空区内并联安装有至少两台真空泵。工作过程中通过管路的通断控制，抽真空区能够满足一回路区和氦气辅助区的抽真空需求，无需对抽真空区内的真空泵进行拆卸，避免了一回路区内拆卸和安装真空泵时发生的辐射泄漏，有效降低了系统运行过程中操作人员沾染放射性辐射的风险
一种高温气冷真空系统

[实用新型]半导体真空吸盘-CN202222943013.5有效
发明人：黄文彬;褚福堂;陈柏桦;杨晋豪;黄伟荣;李宗桦 -专利权人：日月光半导体制造股份有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体真空吸盘，通过在真空吸盘的本体上表面定义出支撑区和设置于支撑区内部、且上表面低于支撑区上表面的容置区，容置区下的本体上表面未设置包括真空吸孔，支撑区下的本体上表面设置至少两个真空吸孔即，通过将真空吸孔转移设置在真空吸盘本体外围的支撑区上表面，并以支撑区上表面顶住晶圆的主动面，而在真空吸盘本体内部的容置区上表面则不设置真空吸孔，以此防止启动真空后，对晶圆主动面设置的晶片之间的直接应力冲击
半导体真空吸盘

[发明专利]一种定径套及定径装置-CN202310510473.5在审
发明人：马传顺;赵国璋;邓华清 -专利权人：保视丽（上海）新材料科技有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B29C35/16 文献下载
摘要：本发明提供一种定径套及定径装置，定径套具有供管坯穿过的内孔，在定径套的外壁设有多个冷却区和多个真空定径区，其中，多个冷却区和多个真空定径区在定径套的轴向上交替分布，定径套的两端、任意相邻的冷却区和真空定径区之间均设有隔离法兰采用多段式冷却和真空结构的设计，实现冷却—真空定型—冷却—真空定型交替进行，热的待成型管坯在冷却区进行冷却，迅速进入真空定径区，管坯在真空作用下紧紧吸附于定径套内壁，而后进入下一冷却区进一步进行冷却后，随着进入下一真空定型区，管材进行冷却后定型，如此进行冷却‑定型交替，提高管坯的定型效果。
一种定径套装置

[实用新型]瓶装气流旋盖包装机-CN201620975030.9有效
发明人：王金荣;王浩;崔帅 -专利权人：诸城市海诺机械有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B65B31/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种瓶装气流旋盖包装机，包括机体，机体包括瓶罐放置区和真空控制区两部分，瓶罐放置区位于真空控制区上方，瓶罐放置区由两个真空槽组成，真空槽的开口向上，两个真空槽之间设有隔离带，隔离带上方设有真空密封盖，真空密封盖内设有腔体，真空密封盖和瓶罐放置区之间通过摇臂连接，真空密封盖通过摇臂的旋转与真空槽形成密封空腔，真空密封盖的内侧设有抽真空口，抽真空口与真空控制区相连通，真空控制区的外部设有程序操作台。该瓶装气流旋盖包装机在单位时间内的包装数量是传统设备的数十倍，零破碎，无需更换模具，不同型号的瓶罐包装均可在一台设备上完成，而且达到真空旋盖的最佳效果。
瓶装气流旋盖包装机

[发明专利]立式真空炉热区的内部结构-CN202310690436.7在审
发明人：李琳;曾爱群 -专利权人：益发施迈茨工业炉（上海）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F27B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种立式真空炉热区的内部结构，包括真空炉壳体(1)、热区壳体(2)、加热系统(3)、热区盖板(4)、加热炉床(5)、提升盖板组件和热区底板(7)；热区壳体设在真空炉壳体内，热区盖板盖在热区壳体上，加热系统设在热区壳体内；加热系与热区壳体间有进气间隙(301)，加热系统内、真空炉壳体与热区壳体间和进气间隙通过进气孔(302)、进风口(401)和排风口(402)形成冷却循环气路；加热炉床设在真空炉壳体内，热区底板设在热区壳体底部且位于加热炉床下方；提升盖板组件可升降式设在真空炉壳体内并罩盖进风口和排风口。本发明能够解决现有技术的立式真空炉热区的热效率较低的问题。
立式真空炉内部结构

[实用新型]立式真空炉热区的内部结构-CN202321485773.4有效
发明人：李琳;曾爱群 -专利权人：益发施迈茨工业炉（上海）有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F27B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式真空炉热区的内部结构，包括真空炉壳体(1)、热区壳体(2)、加热系统(3)、热区盖板(4)、加热炉床(5)、提升盖板组件和热区底板(7)；热区壳体设在真空炉壳体内，热区盖板盖在热区壳体上，加热系统设在热区壳体内；加热系与热区壳体间有进气间隙(301)，加热系统内、真空炉壳体与热区壳体间和进气间隙通过进气孔(302)、进风口(401)和排风口(402)形成冷却循环气路；加热炉床设在真空炉壳体内，热区底板设在热区壳体底部且位于加热炉床下方；提升盖板组件可升降式设在真空炉壳体内并罩盖进风口和排风口。本实用新型能够解决现有技术的立式真空炉热区的热效率较低的问题。
立式真空炉内部结构

[实用新型]真空腔室结构及真空镀膜设备-CN202123418185.2有效
发明人：朱昆;颜学庆;曹健辉;刘玮;陈惠君 -专利权人：广东省新兴激光等离子体技术研究院;等离子体装备科技（广州）有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空腔室结构及真空镀膜设备，所示真空腔室结构包括：包括一个设有镀膜区和后处理区的真空腔室，所述真空腔室的室壁上设有抽气口，所述真空腔室的镀膜区与后处理区之间设置有阻隔装置；所述阻隔装置对从所述后处理区扩散至所述镀膜区的气体分子进行物理阻隔和反射至所述抽气口抽离真空腔室；上述技术方案，在单一腔体的真空腔室结构形成两个独立工作区域，实现边镀膜边进行后处理的镀膜功能，提高了镀膜效率；同时避免了后处理区的气体分子对镀膜区造成污染，提升了镀膜质量。
空腔结构真空镀膜设备

[发明专利]一种真空吸滤机的真空分配盘-CN201310285236.X无效
发明人：盛土根 -专利权人：盛土根
申请日： 2013-07-09 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： B01D35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空吸滤机的真空分配盘，包括高真空区、低真空区、无真空区，所述无真空区开设有漏荷槽；所述无真空区底部设有压缩空气连接孔；所述漏荷槽侧面钻穿与压缩空气连接孔相通；本发明方案通过在无真空区设置漏荷槽和压缩空气连接孔，使漏荷槽和压缩空气连接孔相通，当转鼓转到无真空区需卸泥时，压缩空气通过压缩空气连接孔吹进，在一定的压力下，滤泥自然掉落，刮泥板无需施加压力滤泥已刮干净，大大延长滤网的寿命；在无真空区的技术改造容易，无需增加其他零件
一种真空吸滤机分配

[实用新型]一种真空吸滤机的真空分配盘-CN201320404522.9有效
发明人：盛土根 -专利权人：盛土根
申请日： 2013-07-09 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B01D35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空吸滤机的真空分配盘，包括高真空区、低真空区、无真空区，所述无真空区开设有漏荷槽；所述无真空区底部设有压缩空气连接孔；所述漏荷槽侧面钻穿与压缩空气连接孔相通；本实用新型方案通过在无真空区设置漏荷槽和压缩空气连接孔，使漏荷槽和压缩空气连接孔相通，当转鼓转到无真空区需卸泥时，压缩空气通过压缩空气连接孔吹进，在一定的压力下，滤泥自然掉落，刮泥板无需施加压力滤泥已刮干净，大大延长滤网的寿命；在无真空区的技术改造容易，无需增加其他零件
一种真空吸滤机分配

[实用新型]键合晶圆、器件晶圆及键合结构-CN201420416544.1有效
发明人：郑超;刘炼;王伟 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2014-07-25 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种键合晶圆、器件晶圆及键合结构，在键合晶圆上形成真空区和非真空区，真空区内设有钛薄膜，非真空区内没有钛薄膜，器件晶圆的电感和特定用途集成电路之间由键合材料隔离开，将器件晶圆和键合晶圆进行键合获得键合结构，使电感位于非真空区，特定用途集成电路位于真空区，由于电感和特定用途的集成电路之间由键合材料隔离开，因此真空区和非真空区互不影响，从而能够在不影响电感品质因数的前提下，保证真空腔的真空度。
键合晶圆器件结构

[发明专利]一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置-CN202010115439.4在审
发明人：王天邻;谢斌平;陈飞 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置，包括：炉源区和样品区；炉源区包括炉源区腔体、蒸发源和炉源区真空泵；蒸发源设置在炉源区腔体内部并固定在炉源区腔体的内壁上；炉源区真空泵连接炉源区腔体；样品区包括样品区腔体、衬底台、样品区真空泵和差分限流通道；衬底台从样品区腔体的上方或者侧面插入样品区腔体内；样品区真空泵设置在样品区腔体内部并固定在样品区腔体的内壁上；差分限流通道设置在炉源区与样品区的连接处；炉源区腔体与样品区腔体之间通过差分限流通道相连。本发明的有益效果：可减少蒸发源附近的真空度随气体的增多而降低而导致镀膜质量下降。
一种利用差分抽气系统实现超高真空装置