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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]真空镀膜腔及真空镀膜系统-CN202320005444.9有效
发明人：谢斌平;王天邻;陈飞;杨贺鸣 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空镀膜腔及真空镀膜系统，真空镀膜腔包括：真空腔体；至少一组镀膜源接口，每组镀膜源接口包括：第一镀膜源接口，设置在真空腔体的侧壁上并且与真空腔体连通；以及第二镀膜源接口，设置在真空腔体的侧壁上并且与真空腔体连通，其中第一镀膜源接口和第二镀膜源接口被配置为位于镀膜表面的同侧。
真空镀膜系统

[实用新型]真空载样车及真空系统-CN202223061935.X有效
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻;张凯 -专利权人：费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空载样车及真空系统，真空载样车包括：车体，包括载样架，所述载样架用于承载至少一个样品；滑动装置，设置在所述车体的第一侧，用于使所述车体滑动；驱动装置，设置在所述车体的第二侧，用于接收驱动以带动所述车体滑动，所述车体的第一侧和所述车体的第二侧相对设置，所述载样架设置在所述车体的第一侧和所述车体的第二侧之间。本申请能够实现提高传样效率、同时传递不同尺寸的样品、操作简易、提高生产或实验效率的技术效果。
空载真空系统

[实用新型]真空样品转移组件及真空系统-CN202223337093.6有效
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻 -专利权人：费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B01L9/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空样品转移组件及真空系统，真空样品转移组件包括真空筒；杆体，至少部分地设置在真空筒内；插头，设置在杆体的远端，包括至少一个针头；传动磁组件，设置在杆体的近端，包括至少一个传动磁体，用于接收磁驱动以带动杆体运动；以及驱动磁组件，设置在真空筒外，包括至少一个驱动磁体，至少一个驱动磁体与至少一个传动磁体磁耦合，用于驱动传动磁组件运动。
真空样品转移组件系统

[实用新型]通用型取样机构及真空处理系统-CN202320012748.8有效
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻;陈志刚;张鹏 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空取样机构及真空处理系统，真空取样机构包括：细长真空腔；取样组件，设置在细长真空腔外，取样组件包括第一取样爪和与第一取样爪相配合的第二取样爪，第一取样爪和第二取样爪能够张开或闭合以进行取样；以及取样驱动轴，取样驱动轴的近端设置在细长真空腔内，并且取样驱动轴的远端与取样组件连接，用于驱动第一取样爪和第二取样爪张开或闭合。
通用型取样机构真空处理系统

[实用新型]通用型真空样品托组件-CN202223335927.X有效
发明人： 王天邻;谢斌平;陈飞 -专利权人：费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B01L9/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空样品托组件，包括：样品托盘和安装组件。样品托盘包括：开口，用于容纳至少一个样品；以及至少一个连接结构，分布设置在开口外围。安装组件包括：主体安装件，包括至少一个主体安装连接件。至少一个主体安装连接件用于与至少一个连接结构中的一个或多个第一连接结构连接，以将至少一个样品安装在所述开口中。
通用型真空样品组件

[发明专利]真空处理装置、系统及真空处理方法-CN202111452184.1在审
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻;王冰雷 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-01 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空处理装置，其特征在于，包括：样品停放装置，包括：第一对准机构；掩膜停放装置，包括：与第一对准机构相配合的第二对准机构，用于使样品停放装置与掩膜停放装置对准；以及驱动装置，包括：驱动轴，与样品停放装置连接，用于驱动样品停放装置旋转。
真空处理装置系统方法

[发明专利]真空处理系统-CN202211318184.7在审
发明人：谢斌平;王天邻;陈飞;陈志刚;范鹏 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空处理系统，包括：真空中转腔；至少一个真空处理腔，与所述真空中转腔连通；传样臂机构，设置在所述真空中转腔内；真空驱动机构，与所述传样臂机构连接，用于驱动所述传样臂机构，所述真空驱动机构包括：真空腔道，与所述真空中转腔连通；至少一个主轴，设置在所述真空腔道内并且能够绕轴向旋转；以及至少一个磁传动装置，与所述至少一个主轴连接并且能够旋转以带动所述至少一个主轴旋转。
真空处理系统

[实用新型]样品承载结构及真空系统-CN202223395880.6有效
发明人：陈飞;谢斌平;王天邻 -专利权人：费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开提供了一种样品承载结构及真空系统。该样品承载结构包括：托盘，设置有多个工位，所述工位用于容纳框架，所述框架用于收纳多片样品；固定件，用于将框架固定在所述工位上，所述固定件包括：基座；弹片，固定设置于所述基座上，用于在固定件固定所述框架时，与所述框架相抵靠。真空系统包括：真空腔；以及本公开提供的样品承载结构，设置在所述真空腔内。本公开提高了产能。
样品承载结构真空系统

[实用新型]重载型可翻转真空取样装置及真空处理系统-CN202320012795.2有效
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻;陈志刚 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： C23C22/73 文献下载
摘要：本公开提供了一种重载型可翻转真空取样装置及真空处理系统，真空取样装置包括：真空筒；取样机构，设置在真空筒外；第一驱动轴，第一驱动轴的近端设置在真空筒内，并且第一驱动轴的远端与取样机构连接；以及第一驱动装置，与第一驱动轴耦合，用于驱动第一驱动轴旋转，以驱动取样机构翻转。
重载翻转真空取样装置处理系统

[实用新型]易装卸样品托及真空系统-CN202223424469.7有效
发明人：谢斌平;陈飞;王天邻 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开提供了一种易装卸样品托及真空系统。样品托，包括：托盘，包括至少一个托盘槽，用于容纳样品框；所述托盘槽靠近所述托盘槽开口位置的内壁上设置有相对的第一安装槽和第二安装槽；弹性件，用于放置于所述第一安装槽和第二安装槽中，基于弹性形变向位于托盘槽中的样品框施加弹力，实现样品框的固定。真空系统，包括真空腔，以及本公开提供的易装卸样品托，设置在所述真空腔内。
装卸样品真空系统

[实用新型]真空连接装置及真空系统-CN202221478553.4有效
发明人：赵嘉峰;陈飞;王天邻;周文灿 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： F16B1/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空连接装置及真空系统，真空连接装置包括：连接管，至少包括设置在第一端的第一真空连接件；内环形件，固定套设在连接管上；外环形件，用于设置在内环形件靠近第一真空连接件的一侧；密封圈，用于设置在内环形件与外环形件相对的一侧；以及连接组件，用于对外环形件进行固定，以实现真空连接。真空系统包括：真空连接装置，第一真空设备，与真空连接装置的第一真空连接件真空连接，以及第二真空设备，与真空连接装置的外环形件连接。
真空连接装置系统

[实用新型]真空驱动车-CN202221478554.9有效
发明人：赵嘉峰;陈飞;王天邻;周文灿 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B65G51/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空驱动车，包括：底座；至少一个车架，设置在底座上；至少一个磁体容纳盒，磁体容纳盒设置在至少一个车架的顶部；至少一个磁体，设置在至少一个磁体容纳盒内；至少一个磁体升降装置，磁体升降装置设置在磁体容纳盒上，用于调节磁体在磁体容纳盒内的高度。
真空驱动

[实用新型]CVD样品台及CVD系统-CN202220599137.3有效
发明人：陈飞;谢斌平;王亮;王天邻 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本公开提供了一种CVD样品台及CVD系统，CVD样品台包括：基座，包括安装结构；停放台，与基座固定连接，或一体成型，停放台包括：停放台主体；至少一个停放结构，设置在停放台主体上，用于停放样品。
cvd 样品系统

[实用新型]真空载样车及真空系统-CN202123202082.2有效
发明人：陈飞;王天邻;施燮锋 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B65G51/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空载样车及真空系统，真空载样车包括：车体，滑动装置，与车体连接，用于使车体滑动；以及一个或多个载样装置，设置在车体上，用于竖立地承载样品。
空载真空系统

[实用新型]真空传递车及真空传样系统-CN202123207341.0有效
发明人：陈飞;王天邻;虞龙斌 -专利权人：费勉仪器科技（上海）有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B65G51/04 文献下载
摘要：本公开提供了一种真空传递车及真空传样系统，真空传递车包括：车体；滑动机构，与车体连接，用于使车体滑动；以及传递导轨，设置在车体上，用于提供样品传递轨道。
真空传递系统

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