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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]各向均匀性固态照明-CN201220024841.2有效
发明人：吴伯仁 -专利权人：南亚光电股份有限公司
申请日： 2012-01-19 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：一种各向均匀性固态照明，包含一固态光源以及一包覆前述固态光源的透明灯罩。上述的透明灯罩内具有复数个微结构，用以将固态光源的光束散射，使得光束透过该透明灯罩之后的发光方式接近传统的白炽灯泡。
均匀固态照明

[发明专利]具有改善照明均匀性的照明模组-CN201280016929.2有效
发明人：葛劳母·宝拉斯 -专利权人： GB发展公司
申请日： 2012-03-27 - 公布日： 2014-01-08 - 主分类号： G02B6/00 文献下载
摘要：本发明关于照明模组（1），其包括：—至少一条（7）发光来源（2），—光导（3），其包括透射面（4）和面对透射面（4）的返回面（5），该透射面（4）安排成把发光来源（2）所发出的光传送到要照亮的物体。依据本发明，对于每个光源而言，模组进一步包括关联于此来源的透射性反射器（12），其具有朝向透射面（4）的反射面（13），如此则关联于此来源的透射性反射器位在此来源的透射面（4）和发射表面（14）之间，而安排成从此来源输出此来源所发出的光
具有改善照明均匀模组

[发明专利]提升照明均匀性的装置-CN202111675894.0在审
发明人：李慧;吴晓斌;沙鹏飞;马翔宇;谢婉露;罗艳;王魁波;韩晓泉;马赫;谭芳蕊 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G02B27/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种提升照明均匀性的装置，该装置包括：提升照明均匀性的装置，其特征在于，装置包括：依此设置在光源输出的光束的传输路径上的光束处理单元和斑纹衰减单元；其中，光束处理单元用于将光束的光学参数调整为预设值并发射至斑纹衰减单元
提升照明均匀装置

[发明专利]具有改进的照明均匀性的照明装置-CN201480006564.4有效
发明人： T·H·希姆斯特拉 -专利权人：皇家飞利浦有限公司
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2015-10-07 - 主分类号： F21V9/00 文献下载
摘要：公开了照明装置(1)。照明装置(1)包括以沿着纵轴(L)的图案布置并且适于发射在第一波长范围内的光的至少两个光源(2)。照明装置(1)还包括与至少两个光源(2)相距一定距离布置的波长转换层(5)。
具有改进照明均匀装置

[发明专利]照明均匀性补偿装置和方法-CN202111005473.7在审
发明人：杨建新;葛黎黎 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明属于光刻设备技术领域，公开了一种照明均匀性补偿装置和方法，其中照明均匀性补偿装置包括：沿照明视场的光轴方向依次设置的多个补偿版，且各所述补偿版沿所述照明视场的长度方向延伸并沿所述延伸方向设有多个相互间隔且高度不相同的补偿台阶，各所述补偿版上的所述补偿台阶沿所述照明视场的长度方向进出所述照明视场以遮挡部分照明光。补偿台阶进入照明视场中作为补偿区域能够遮蔽部分照明光，不同高度的补偿台阶能够实现补偿不同的照度，多个补偿版沿照明视场的长度方向延伸并移动，使得不同高度的补偿台阶移动至目标区域后，实现均匀性补偿，该装置提升了装调效率
照明均匀补偿装置方法

[发明专利]一种照明均匀性补偿装置-CN201210187778.9有效
发明人：何毅;张海波;甘大春;林妩媚;邢廷文;廖志杰;卢亮 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种照明均匀性补偿装置，包括沿垂直于系统光轴方向设置的第一、第二补偿组件，每个补偿组件均由多个补偿单元组成，且第一、第二补偿组件的补偿单元数相等，相应的补偿单元构成补偿单元对。各个补偿单元均能沿照明视场扫描方向运动进出照明视场，遮拦部分照明光，达到调整扫描视场积分能量均匀性的目的。该均匀性补偿装置的补偿单元为长条形薄板，插入照明视场的一端为多边形或圆弧形；补偿单元分两层排布，互相遮盖另一层两补偿单元间形成的间隙。本发明有效地增加照明视场的划分等份数量，减小每等份的宽度，从而提高补偿装置的补偿精度，同时并不增加补偿单元的个数，不会增加机械设计和控制系统设计的难度，易于实现。
一种照明均匀补偿装置

[发明专利]一种照明均匀性校正装置-CN200810033117.4有效
发明人：程波涛;李仲禹 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-01-25 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种照明均匀性校正装置，其设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，沿非扫描方向间隔排列设置，沿扫描方向重叠设置；该校正组件对包含沿扫描方向插入矩形照明场的第一校正组件，和沿扫描反方向插入矩形照明场的第二校正组件；该第一、第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈互相平行的平板状，可分别在扫描方向做至少一维运动；该第一、第二校正组件上设置有随位置变化的透过率分布，且该第一本发明可避免相邻校正组件之间的间隙所导致的漏光和阴影；同时，其可控制扫描方向积分能量的分布，并可控制全照明场的均匀性。
一种照明均匀校正装置

[发明专利]一种照明均匀性校正装置-CN200810033118.9有效
发明人：程波涛;李仲禹 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-01-25 - 公布日： 2008-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种照明均匀性校正装置，其设置在掩膜版附近或掩模版的光学共轭面附近，包含若干设置在照明光束横截面的校正组件对，沿非扫描方向间隔排列设置，沿扫描方向重叠设置；还包含设置在每个校正组件对的出射光线方向的光线偏移校正组件；该校正组件对包含沿扫描方向和扫描反方向分别插入矩形照明场的第一、第二校正组件；该第一、第二校正组件在扫描方向与光束传输方向截面上呈三角状，可分别沿三角形斜边方向做至少一维运动，沿光束传输方向做相对移动本发明可避免相邻校正组件之间的间隙所导致的漏光和阴影；同时，其可控制扫描方向积分能量的分布，并可控制全照明场的均匀性。
一种照明均匀校正装置

[实用新型]高均匀性线形同轴照明系统-CN201420455326.9有效
发明人：邱文超;王俊 -专利权人：杭州载力科技有限公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：高均匀性线形同轴照明系统，属于机器视觉照明技术领域。其包括光源固定壳体，所述的光源固定壳体中固定设置凹形柱面反射镜，所述的凹形柱面反射镜右下方固定设置照明光纤，所述的凹形柱面反射镜正下方固定设置分光镜，所述的分光镜正下方设有第一通光槽，所述的分光镜的左侧设有第二通光槽上述的高均匀性线形同轴照明系统，结构简单，设计合理，大大减小了设备的体积，不但继承了传统的同轴照明的优点，高均匀性，而且还优化了传统同轴照明系统对于线扫描CCD成像的缺点，对于物件表面的划痕和凹陷问题，
均匀线形同轴照明系统

[发明专利]照明系统、光刻机以及照明均匀性补偿方法-CN202011632305.6在审
发明人：田毅强;储兆祥 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种照明系统、光刻机以及照明均匀性补偿方法。所述光照单元用于提供具第一光照。所述匀光单元用于均匀所述第一光照并将所述第一光照转换为第二光照。所述第三光照的照度均匀度大于所述第二照度均匀度。因此，本发明通过设置具有多种光透过率的补偿单元来补偿所述匀光单元的匀光效果，从而使得第二光照经具有不同光透过率的所述补偿单元的调整，以获得照度均匀度较大的，均匀性更好的所述第三光照，有利于提高光刻机设备的曝光效果
照明系统光刻以及均匀补偿方法

[发明专利]照明均匀性像素化补偿方法及装置-CN202211715746.1在审
发明人：罗先刚;赵立新;何渝;吴斯翰;李奕;张绍宇;邵洪禹;成小龙 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本公开提供一种照明均匀性像素化补偿方法及装置，方法包括：获取目标均匀性照明场光强分布图像；基于反演模型对目标均匀性照明场光强分布图像进行反演，得到第一数字微镜调控图像；将第一数字微镜调控图像输入数字微镜阵列对照明系统进行光场调控，以对照明系统进行像素化补偿。该方法及装置实现了照明场光强分布的实时补偿，保证长时间稳定地维持照明系统输出的照明场光强分布均匀性。
照明均匀像素补偿方法装置

[发明专利]具有改进的输出均匀性的照明器-CN201780042003.3有效
发明人：鲍静;周亮;李钦 -专利权人：昕诺飞控股有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： F21S8/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种照明器，其包括光学元件，该光学元件被配置为在照明器的整个可视面上均匀地扩展光。光学元件包括中心区域和外围区域，每个区域被配置成接收由光源布置发射的光，并且引导该光通过照明器的光出射区域的相应区域离开。中心区域的另一反射锥形部分用于反射入射到其相对侧中的任一侧的光，并且既在光学元件的中心区域内、又在于光学元件和外壳之间延伸的照明器的内部隔室内提供混合功能。
具有改进输出均匀明器

[发明专利]改进了背光照明均匀性的系统-CN200710159697.7无效
发明人： R·S·杜尔瓦苏拉;M·M·迈尔斯;P·W·洛兰 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2007-11-16 - 公布日： 2008-06-18 - 主分类号： G02F1/13357 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进了背光照明均匀性的系统(10)，所述系统包括背光外壳(19)、耦合到该背光外壳(19)的多个光阀(11)、以及布置在该背光外壳(19)中并且光耦合到所述光阀(11)的多个光源(25)该照明系统(10)还可包括光散射基板(12)和多个光调制点(32)，所述光散射基板(12)被光耦合在所述多个光源(25)和光阀(11)之间，所述多个光调制点(32)在所述基板(12)上被构图，以便调制来自所述多个光源(25)的光的透射强度，从而通过减少由所述分开的光源引起的条带来实现增加的亮度均匀性。
改进背光照明均匀系统

[实用新型]一种高均匀性照明光源-CN201320142217.7有效
发明人：张方辉;黄晋;张微 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： F21S2/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高均匀性照明光源，在衬底上设置了五个LED芯片，此LED阵列之间通过串并联方式连接，最终由引线连接电源的正极与负极，本实用新型在灯罩中填充玻璃碎片进行光线散射，并利用LED芯片发射的高亮度、单向性光源形成了一种高均匀性、高亮度的照明光源。
一种均匀照明光源

[发明专利]均匀照明模块-CN200710006213.5无效
发明人：许嘉芸;徐志宏 -专利权人：亿光电子工业股份有限公司
申请日： 2007-02-01 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种均匀照明模块，可应用于道路照明，包含一基座及多个LED。基座具有一中央部及两外侧部，两外侧部自中央部朝同一侧向远离中央部的方向延伸，且两外侧部与中央部不在同一水平面上。本发明通过配合上述不同发光角度的LED排列在基座上的不同位置，可达到扩大照射范围及均匀照明的效果。
均匀照明模块

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