专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]热处理装置-CN201380048787.2有效
  • 赤间广志;松本豊;黑田正己;西村博信 - 欧利生电气株式会社
  • 2013-09-06 - 2018-10-16 - B23K1/008
  • 提供一种热处理装置,使热放射加热器的安装机构以及密封机构的轴直角方向的投影面积减少而使腔室的容积减少。热处理装置具备:腔室,收容热处理对象的工件,具有将内部与外部分隔的隔壁;以及热放射加热器,贯通隔壁而设置;热放射加热器具备:环状密封,配置于延长部的外周面,内周面与延长部的外周面接触而将腔室的内部与外部气密地密封
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN200980126576.X有效
  • 胜俣和彦 - 株式会社IHI
  • 2009-07-10 - 2011-06-08 - F27D9/00
  • 本发明的热处理装置具备对加热后的被处理物(M)进行冷却的冷却室(160)。在冷却室中设有冷却单元(CU),冷却单元(CU)分别具备:运送装置(10),以单列同时运送多个被处理物;雾冷却装置(30),包围运送装置的运送路径地配置且供给雾状的冷却液;以及气冷却装置(20),包围运送装置的运送路径地配置且供给冷却气体
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN200980113995.X有效
  • 米永富广;河野有美子 - 东京毅力科创株式会社
  • 2009-06-09 - 2011-04-13 - C23C16/46
  • 本发明涉及一种热处理装置,能够在同时对分别载置在多个基座上的基板进行加热时,控制各基板的面内温度的均匀性。该热处理装置包括:对多枚晶片实施规定处理的反应管(104);分别具有载置晶片的载置面的、由导电性材料构成的多个基座(112);将各基座在与其载置面垂直的方向隔开间隔地排列并支撑在反应管内的、旋转自由的石英舟(110);在处理室的侧壁上设置的、在与各基座的载置面平行的方向上形成交流磁场而对各基座进行感应加热的由一对电磁铁(120、130)构成的磁场形成部;和对利用该磁场形成部形成的交流磁场加以控制的控制部(
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN200980114031.7有效
  • 米永富广;河野有美子 - 东京毅力科创株式会社
  • 2009-06-25 - 2011-04-13 - H01L21/205
  • 本发明涉及一种热处理装置,能够在同时加热多个基座上分别载置的基板时,控制各基板的面内温度的均匀性,该热处理装置设置有:多个基座(120),其为载置所述基板的导电性部件,具有电性分隔为中心部(126)和周边部(124)的感应发热体(122);石英舟(112),将各基座排列成一列地加以支撑;感应线圈(130),按照包围各基座的周围的方式配置在处理室(102)内,构成为温度调节自由;和控制部(300),通过对从高频电流电路
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN201280001147.1有效
  • 米永富广;河野有美子;内田直喜;尾崎一博 - 东京毅力科创株式会社;三井造船株式会社
  • 2012-02-01 - 2013-01-02 - H01L21/22
  • 通过控制从加热座的周缘部进入的磁通量的透射,准确控制加热座的面内温度。为具有载置基板的载置面的导电部件,包括:加热座(200),其分为周缘部(210)和包围于该周缘部的内侧部(220),内侧部包括厚板状发热体,周缘部将比内侧部薄的薄板状发热体在互相电绝缘的状态下层叠而构成;和电磁铁(120),其从加热座的侧面在平行于该载置面的方向上形成交流磁场,通过由施加于卷绕于该电磁铁的感应线圈(124)的两个频率的高频电流来控制在各薄板状发热体产生的感应电流而控制磁通量透过内侧部,由此改变各加热座的周缘部的发热量和内侧部的发热量的比例来进行温度控制。
  • 热处理装置
  • [发明专利]热处理装置-CN02806638.3有效
  • 斋藤幸正 - 东京毅力科创株式会社
  • 2002-03-20 - 2004-05-12 - H01L21/31
  • 利用将对处理炉(2)进行排气的排气系统(15)内的排气压力作为与大气压的差压而进行检测的差压计(23)、和作为绝对压力检测大气压的气压计(31),将排气压力作为绝对压力而检测。根据检测的绝对排气压力,调节压力可变阀(25)的开度,由此来调整处理炉(2)内的压力。
  • 热处理装置

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