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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]热处理装置-CN201110250003.7有效
发明人：斋藤孝规;中岛诚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-08-26 - 公布日： 2012-03-21 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明提供一种能使真空绝热层形成体的外侧壳的弯曲强度提高的热处理装置。热处理装置(1)包括筒状的反应管(3)，用于对晶圆W进行装载从而保持的舟皿(5)，设于反应管(3)的外周上的加热器(2)，以及设于加热器(2)的外周上的真空绝热层形成体(10)。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN201610348854.8有效
发明人：布施和彦;伊藤祯朗 -专利权人：株式会社思可林集团
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，能够通过简单的结构使光照射时的基板面内的温度分布均匀。在基座(74)的上表面竖立设置有用于对半导体晶片(W)进行支撑的支撑销(75)。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN03105149.9有效
发明人：长嵨靖 -专利权人：光洋热系统株式会社
申请日： 2003-03-04 - 公布日： 2004-09-08 - 主分类号： F27B5/04 文献下载
摘要：提供一种例如在进行滤光片的烧制的技术领域中所使用的热处理装置，不具有伴随着热处理装置的大型化或加热设备的高成本化等不利点，消除了炉口部附近部分的温度降低的问题。该装置备有将热风的量调整成在炉口部附近增多的风量调整机构(19)。风量调整机构(19)备有设在热处理室(R)一端侧的吹出板(21)和设在热处理室另一端侧的吸入板(22)。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN201710120177.9有效
发明人：内田一也;越谷隆 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2017-03-02 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C03B37/014 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置。能够长期地使用炉心管，该炉心管使用于多孔质玻璃母材的热处理装置。热处理装置具备：硅玻璃制的炉心管；加热器，其与炉心管相邻地设置，用于对加热区域进行加热；以及移动机构，其支承多孔质玻璃母材，并且在利用加热器对加热区域进行了加热的状态下，在炉心管的内部使多孔质玻璃母材相对于加热器相对地移动而穿过加热区域
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200810100126.0有效
发明人：手钱永充 -专利权人：爱斯佩克株式会社
申请日： 2008-05-26 - 公布日： 2008-12-03 - 主分类号： C03B29/00 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下清洗热处理部，包括：热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，热处理室用于收容被热处理物，被热处理物可从热处理室取出；以及气体处理部，具有气体通道，该气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部，并从气体导出部导出进行热处理后的气体，在气体通道中设置有：催化剂，分解在对被热处理物进行热处理时从该被热处理物产生的升华物；加热器，至少加热催化剂相对于热处理部的气体导入部及气体导出部，具有连接用凸缘及螺栓、螺母，用于可以拆卸地连接气体通道。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN201680028964.4有效
发明人：胜俣和彦 -专利权人：株式会社IHI;IHI机械系统股份有限公司
申请日： 2016-03-07 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： C21D1/773 文献下载
摘要：一种热处理装置，被处理物(X)经由中间输送室(1)而容纳于加热室(K)，具备:气体冷却室(RG)，与中间输送室(1)邻接地设置，使用包含氧化剂的冷却气体对被处理物(X)进行冷却。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN201680025014.6有效
发明人：胜俣和彦 -专利权人：株式会社IHI;IHI机械系统股份有限公司
申请日： 2016-03-07 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： F27D17/00 文献下载
摘要：本发明特征在于便宜地处理氮化处理后的废气所包含的氨气，无需通过燃烧或使用吸附剂进行吸附等。本公开内容的真空渗碳处理装置(A)具有：加热炉(1)，对被处理物(W)进行加热；氨气供给装置(2)，将用于对被处理物(W)进行氮化处理的氨气供给至加热炉(1)；热分解炉(3)，对在氮化处理后从加热炉(1
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200710130172.0有效
发明人：神田敏朗;迫中和广;村上英范 -专利权人：爱斯佩克株式会社
申请日： 2007-07-20 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： F27D1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，这种热处理装置通过把多个中空状的壁部结构部件组合在一起，形成具有外壁和内壁的热处理槽，所述内壁在该外壁的内侧形成长方体形状的热处理空间，其中，所述各壁部结构部件具有相当于所述热处理空间角部的部位，并且在与所述热处理空间角部错开的位置上与其它壁部结构部件连接在一起进行组装。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200610108373.6有效
发明人：浦西芳和;梶田博;森本巖穗 -专利权人：光洋热系统股份有限公司
申请日： 2006-08-02 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： C03B29/00 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，使配置作为防尘壁的多片耐热玻璃的各个接合部分中不形成间隙，确实防止从外壁构件和加热器所产生的尘埃侵入至搬送路径内，因此能提高搬送路径内的清净度。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200610121827.3有效
发明人：浦西芳和;高田文男 -专利权人：光洋热系统株式会社
申请日： 2006-08-24 - 公布日： 2007-10-17 - 主分类号： C03B35/16 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种非载置式的热处理装置，该热处理装置可防止被处理物开裂，防止发生从搬送滚柱之间掉落的被处理物的搬送故障。热处理装置(10)按照规定的温度条件，对被处理物(20)进行热处理，该被处理物在多个搬送滚柱(2)上搬送。搬送滚柱(2)以可旋转的方式被支承于沿炉内的搬送路线的规定间距(P)的多个位置中的相应位置。另外，搬送滚柱(2)被设置于一个位置，该位置满足从所述炉内的底面(32)到搬送所述被处理物(2)的搬送面(41)的距离在所述间距(P)的2.4倍以上的要求。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200710001942.1有效
发明人：大岛和彦;青木茂树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-01-17 - 公布日： 2007-07-25 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种在处理室内对基板进行热处理的热处理装置，包括载置基板并对其进行热处理的加热板，以及从上方覆盖该加热板、构成处理室的一部分的盖体。盖体包括顶板、以及垂直设置在该顶板的周端部上的周侧部。在顶板上设置有将气体供给至处理室内的供给口，在顶板的侧部上设置有为处理室内的气体进行排气的多个排气口。根据本发明，能够方便地对由热处理而产生的升华物质等的杂质导致的堵塞进行维修。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200610110641.8有效
发明人：浦西芳和;梶田博;森本岩穗 -专利权人：光洋热系统股份有限公司
申请日： 2006-08-04 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： C03B32/00 文献下载
摘要：排气箱6将在第1均热区域因加热而由被处理物所产生的气体排出至外部。第1导入管7将清净空气导入至第1升温区域51。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200710122788.3有效
发明人：长野由龟雄;手钱永充 -专利权人：爱斯佩克株式会社
申请日： 2007-07-09 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： F27D7/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能抑制升华物质堆积在导出管道内的热处理装置。热处理装置(1A)在把被处理工件(W)收容在其热处理部分(21)内的状态下，通过在使所述热处理部分(21)内的空气进行循环的同时对其加热，来对被处理工件(W)进行热处理，并且通过一面将外部空气加热后送入所述热处理部分(21)内，一面使所述热处理部分(21)内的空气流入导出管道(5)内，对所述热处理部分(21)的内部进行换气。在所述导出管道(5)中设置有催化剂(6)，在对所述被处理工件(W)进行热处理的过程中分解由该被处理工件所产生的升华物质。
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200710152463.X有效
发明人：高桥喜一;佐瀬雄一郎;佐藤泉;高桥清彦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-10-12 - 公布日： 2008-04-16 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种热处理装置，其特征在于，包括：处理容器，其下部具有炉口，并且具有用于收容被处理体且能够在减压状态下对该被处理体进行规定热处理的石英制容器主体；金属制盖体，其用于载置搭载有多个被处理体的保持件并相对于处理容器对该保持件进行搬入、搬出，同时进行炉口的关闭、开放；和环状的气密部件，其被设置在该盖体上的周缘部，用于密封与处理容器的炉口之间，其中，在所述盖体上设置有接触限制部件，该接触限制部件用于限制因处理容器内为减压状态时所述气密部件在盖体与炉口之间压坏而引起的盖体与炉口的接触
热处理装置

[发明专利]热处理装置-CN200810081581.0有效
发明人：植松克仁;森田真登;西木直巳;桐原信幸;石尾博明 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2008-02-27 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： F27B9/00 文献下载
摘要：在本发明的热处理装置中，将在上面形成热处理对象物的玻璃基板(11)进行热处理用的多个热处理室(10a、10b)沿一定方向连接。各热处理室(10a、10b)在内部具有将玻璃基板(11)放置在正上面进行传送的第1或第2辊道(12a、12b)。第1辊道(12a)是在热处理的温度范围内维克斯硬度随着温度上升而增大的辊道，第2辊道(12b)反之是维克斯硬度减小的辊道。在各热处理室(10a、10b)中排列第1辊道(12a)或第2辊道(12b)的任一种辊道，使得与热处理的设定温度下的玻璃基板(11)的维克斯硬度的硬度差较小。
热处理装置

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