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[发明专利]一种半导体曝光设备的空气压力的控制方法及系统-CN202210491360.0在审
发明人：董晴晴;崔岳;张帅;卢志辉;刘一鸣 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-07 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体曝光设备的空气压力的控制方法及系统，其中，所述半导体曝光设备包括曝光区域和传输区域，该方法包括：获取曝光区域和传输区域的气压值；判断曝光区域的气压值是否小于或等于传输区域的气压值；若曝光区域的气压值小于或等于传输区域的气压值，则计算所述曝光区域与所述传输区域的第一气压差值；根据所述第一气压差值，控制所述曝光区域的进风风量和/或出风风量，以使曝光区域的气压值大于传输区域的气压值。本申请控制半导体曝光设备的曝光区域和传输区域的气压值，使曝光区域的气压值大于传输区域的气压值，达到保证曝光区域的清洁程度的效果。
一种半导体曝光设备空气压力控制方法系统

[发明专利]用于流体传输的多功能软体泵-CN201910484638.X有效
发明人：金国庆;邹家康 -专利权人：苏州柔性智能科技有限公司
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： F04B43/06 文献下载
摘要：一种用于流体传输的多功能软体泵，其包括气压控制模块、中间薄膜及流体传输模块，所述气压控制模块能在气压驱动下控制流体传输模块腔室的容积变化，所述气压控制模块包括气压控制腔以泄压腔，所述中间薄膜位于气压控制模块与流体传输模块之间，并用于分隔气压控制模块以及流体传输模块从而形成密闭的腔室结构，所述流体传输模块包括流体控制腔以及流体传输孔，所述流体传输腔能够单向传输流体并且可以依据腔室容积的变化来泵送流体。本发明多功能软体泵环境适应性良好、结构简单、重量轻、无噪声，能够单向传输流体起到单向阀的作用，并且可以通过气压驱动实现流体的泵送功能。
用于流体传输多功能软体

[实用新型]一种气压传感开关组件-CN201820712597.6有效
发明人：冯军 -专利权人：太仓荣冠电子科技有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气压传感开关组件，包括气压传感开关，气压传感开关的顶部贯穿设置有气压传输管，气压传输管的顶部设置有气压出入口，气压传输管的内部设置有气压缓冲管，气压传输管的侧面固定有固定法兰，固定法兰的顶部贯穿设置有螺丝钉固定槽，螺丝钉固定槽的内部设置有螺丝钉，固定法兰的底部固定有固定连接杆，气压传感开关的正面设置有显示屏，气压传感开关的底部设置有法兰固定杆，气压传感开关的内部设置有气压传感器，该装置通过固定法兰以及气压缓冲管等达到更好的固定该装置防止该装置摇晃使该装置工作不稳定而损坏以及在气压较大的环境中缓冲气压对气压传感器的冲击从而保护气压传感器防止气压传感器损坏的目的
气压传感开关气压传感器固定法兰气压传输内部设置螺丝钉气压缓冲固定槽气压本实用新型固定连接杆侧面固定顶部设置缓冲气压正面设置出入口固定杆贯穿摇晃显示屏

[发明专利]一种气压冷敷机-CN201510755904.X有效
发明人：曾传兰 -专利权人：安康盟科技(梅州)有限公司
申请日： 2015-11-06 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： A61F7/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种气压冷敷机，包括主机、传输管和气压冷敷袋，主机和气压冷敷袋之间通过传输管连接；所述气压冷敷袋包括通水层和通气层，通水层和通气层为相互完全独立密封的双层结构；气压冷敷袋外侧设有保温层；所述主机中包括水箱、流量控制阀、水泵、气泵、气压传感器、气压电磁阀、控制模块和单向阀；其中控制模块、水泵、单向阀、传输管、流量控制阀、水箱和气压冷敷袋组成冷敷系统；控制模块、气泵、气压传感器、气压电磁阀、传输管道和气压冷敷袋组成气压治疗系统具有冷疗和气压治疗两种模式，提高治疗效果。冷敷袋的表面增加保温层，使冷敷的时间保持更长。
一种气压冷敷

[实用新型]一种气压冷敷机-CN201520884002.1有效
发明人：曾传兰 -专利权人：安康盟科技(梅州)有限公司
申请日： 2015-11-06 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： A61F7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气压冷敷机，包括主机、传输管和气压冷敷袋，主机和气压冷敷袋之间通过传输管连接；所述气压冷敷袋包括通水层和通气层，通水层和通气层为相互完全独立密封的双层结构；气压冷敷袋外侧设有保温层；所述主机中包括水箱、流量控制阀、水泵、气泵、气压传感器、气压电磁阀、控制模块和单向阀；其中控制模块、水泵、单向阀、传输管、流量控制阀、水箱和气压冷敷袋组成冷敷系统；控制模块、气泵、气压传感器、气压电磁阀、传输管道和气压冷敷袋组成气压治疗系统。具有冷疗和气压治疗两种模式，提高治疗效果。冷敷袋的表面增加保温层，使冷敷的时间保持更长。
一种气压冷敷

[实用新型]一种可自动清除堵塞的墨盒-CN201820034380.4有效
发明人：罗敬仁 -专利权人：天津市聚鑫汇诚科技有限公司
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： B41J2/175 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可自动清除堵塞的墨盒，包括装置主体和气压盒，装置主体内部设有气压盒，气压盒嵌入设置在装置主体中，装置主体内部设有墨仓，墨仓嵌入设置在装置主体中，装置主体内部设有传输仓，传输仓嵌入设置在装置主体中该种可自动清除堵塞的墨盒，设置的气压感应器感应装置主体内部的气压高低，进而改变芯片引脚的电平，气压盒内部的进气孔、出气孔和芯片呈电性连接，进气孔用于空气的进入，使传输仓内部气压增高，出气孔用于空气的输出，使传输仓内部气压降低，气压盒内部的气泵用于改变装置主体内部的气压。
装置主体气压盒嵌入设置墨仓墨盒自动清除传输内部气压主体内部出气孔进气孔堵塞墨管气压本实用新型气压感应器电性连接改变装置感应装置芯片引脚气泵增高芯片输出

[发明专利]去胶机台及其使用方法-CN202310615285.9在审
发明人：韩聪聪;王创;庄佳奕 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种去胶机台，包括真空传输腔和多个腔室，每个腔室与真空传输腔连接；腔室和真空传输腔中分别设置有第一、二控压机构，控压机构分别用于调节腔室、真空传输腔中的气压值；腔室和真空传输腔中分别设置有第一、二气压传感器，第一、二气压器分别用于获取腔室、真空传输腔中的气压值；控制器，控制器用于接收第一、二气压传感器的电信号，其用于在腔室完成测试作业后启动第一控压机构使得腔室与真空传输腔中的气压差减小至设置值本发明在腔室测试作业完成后，通过减少腔室与真空传输腔中的气压差，腔室作业环境与真空传输区域的压力平衡，降低压差将腔室累积的颗粒物吹散到低压区域的表面，降低晶圆表面形成缺陷的概率。
机台及其使用方法

[发明专利]一种高气压离子传输装置及方法-CN202111554803.8在审
发明人：胡波;于佳佳;穆辉;李飞;周飞宇;唐朝阳;孙露露;王玉涵;景加荣;薛兵;罗勇;周旭;袁凯 -专利权人：上海裕达实业有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种高气压离子传输装置及方法，包括：所述离子传输毛细管通过所述毛细管安装接头穿过所述真空腔体的插入所述真空腔体内，将大气压侧产生的离子引入并传输至第一级高气压侧；在所述真空腔体内的离子传输毛细管上依次包覆所述隔热垫以及所述毛细管加热套；所述第一级传输透镜与第一高气压侧输出端密封连接；所述第二级传输透镜与第二级低气压侧输出端密封连接；所述类四级杆离子传输器与所述第二级传输透镜密封连接。
一种气压离子传输装置方法

[实用新型]一种纸杯测水机-CN201822202480.6有效
发明人：冯镜霖 -专利权人：吴江古乐包装有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：一种纸杯测水机，包括气压传输装置和纸杯固定装置，所述气压传输装置和纸杯固定装置之间设有能够固定支撑的模具支撑杆，所述气压传输装置上设有机械上板，所述气压传输装置上连接有气缸，所述机械上板上设有能够测试气压的气压表，所述气压表连接有气压传送气管。
纸杯气压传输装置水机本实用新型固定装置气压表上板测试气压测试设备固定支撑气压传送生产损失残次品支撑杆气缸模具气管出厂测试

[实用新型]一种全站仪的温度气压感应模块-CN201320798864.3有效
发明人：蒋叙强 -专利权人：苏州迅威光电科技有限公司
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G01C15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种全站仪的温度气压感应模块，包括温度传感器用于测量当前温度；气压传感器用于测量当前大气压力；数据传输总线用于传输测量数据；以及驱动控制单元用于驱动所述温度传感器和气压传感器正常工作，和控制测量数据正确传输至全站仪；所述温度传感器和气压传感器分别通过数据传输总线与驱动控制单元连接。本实用新型能够自动感应温度、气压，减少了劳动力，节约成本，提高经济效益。
一种全站仪温度气压感应模块

[实用新型]智能气动物流传输系统-CN202123425930.6有效
发明人：鲍志强 -专利权人：江苏威尔赛科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B65G51/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了智能气动物流传输系统，涉及气动物流传输系统技术领域，为解决现有的智能气动物流传输系统的使用效果不好，使智能气动物流传输系统使用不便的问题。所述气动物流传输系统包括中央控制系统、室外采气系统、空压动力系统、供电系统、转换系统和气动传输系统，所述气动传输系统包括传输装置，所述传输装置的前端安装有箱门，所述箱门的一侧设置有操控屏，所述传输装置的上方安装有连接管道，所述传输装置的一侧安装有支撑架，所述支撑架的上方放置有传输瓶，所述空压动力系统包括空气压缩装置，所述空气压缩装置的下端设置有安装座，所述空气压缩装置的下方安装有空气压缩电机，所述空气压缩电机的一端安装有连接管
智能气动物流传输系统

[实用新型]船用温湿度传感系统及传感器-CN201420130440.4有效
发明人：胡军锋;石彦平;尤泽萌;贺江;姜人好;宋文杰 -专利权人：山东省科学院海洋仪器仪表研究所
申请日： 2014-03-22 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种船用温湿度传感系统及传感器，传感系统包括集成于电路板上的控制芯片、温湿度测量芯片以及气压传感器，温湿度测量芯片采集温度和湿度信号，并输出数字信号传输给控制芯片，气压传感器采集气压，并将气压信号传输给控制芯片本实用新型的电路板上集成有控制芯片、温湿度测量芯片以及气压传感器，电路非常简单，温湿度测量芯片可直接测量温度、湿度信号，气压传感器直接测量气压信号，并将温度、湿度信号、气压信号传输给控制芯片，控制芯片接数据后通过通信芯片传输出去
温湿度传感系统传感器

[发明专利]用于检测高速电梯轿厢内气压的检测装置和检测系统-CN202110279986.0有效
发明人：苏万斌;江叶峰;陈伟刚;朱卫峰;胡胜江;朱建新;易灿灿;陈启锐 -专利权人：嘉兴市特种设备检验检测院
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B66B5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于检测高速电梯轿厢内气压的检测装置和检测系统。所述检测装置包括：检测模块，用于获取高速电梯轿厢内的气压值以及轿厢的实时速度值；数据处理模块，用于根据实时速度值计算轿厢的高度值并根据气压值和高度值生成气压曲线；数据传输模块，用于将气压曲线传输至客户端，或者将气压值和实时速度值或高度值传输至客户端。本发明提供的检测装置结构紧凑且功能齐全，可拆卸可便携，基于检测模块获取的高速电梯轿厢内的气压值以及轿厢的实时速度值生成气压曲线，并将各数据传输至客户端，使得客户端获取实时气压，进而根据气压数据及时的采取合理措施进行气压平衡
用于检测高速电梯轿厢内气压装置系统

[发明专利]用于流体传输的软体双向泵-CN201910485106.8在审
发明人：金国庆;邹家康 -专利权人：苏州柔性智能科技有限公司
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： F04B43/06 文献下载
摘要：一种用于流体传输的软体双向泵，其特征在于，其包括框架、气压控制腔、流体输送腔以及传输孔，所述框架由软体硅橡胶材料构成，所述气压控制腔能在气压驱动下控制流体输送腔的容积变化，所述流体输送腔能依据容积的变化来输送流体，所述传输孔为流体的进出口，所述传输孔能传输流体。本发明软体双向泵由全软材料构成，环境适应性良好、结构简单、重量轻、无噪声，适用于软体机器人气压或液压的双向控制。
软体传输孔双向泵流体输送腔气压控制腔流体传输硅橡胶材料环境适应性传输流体控制流体气压驱动容积变化输送流体双向控制软材料输送腔无噪声重量轻流体气压机器人进出口

[发明专利]一种即时制氢发电系统及方法-CN201310520538.0有效
发明人：向华;向得夫 -专利权人：上海合既得动氢机器有限公司
申请日： 2013-10-29 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： H01M8/06 文献下载
摘要：本发明揭示了一种即时制氢发电系统及方法，所述系统包括制氢子系统、气压调节子系统、发电子系统；制氢子系统利用甲醇水制备氢气，将制得的氢气通过传输管路实时传输至发电子系统；所述传输管路设有气压调节子系统，用于调整传输管路中的气压；所述发电子系统利用制氢子系统制得的氢气发电；气压调节子系统包括微处理器、气体压力传感器、阀门控制器、出气阀；气体压力传感器设置于传输管路中，用以感应传输管路中的气压数据，并将感应的气压数据发送至微处理器；微处理器根据所述气体压力传感器感应的气压数据控制出气阀的开关。
一种即时发电系统方法

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