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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]外参考干涉硅片对准系统-CN201210058040.2有效
发明人：李运锋 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2012-03-07 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种外参考干涉硅片对准系统，包括：提供对准照明光束的照明光源模块；对所述照明光束进行偏振分束的偏振分束器；参考标记成像模块和对准标记成像模块；偏振器和探测对准信号的探测器单元；参考标记成像模块和对准标记成像模块分别具有一1/4波片，照明光束经由偏振分束器分成分别具有不同偏振成分的第一光束和第二光束，第一光束通过对准标记成像模块后投射到对准标记上，形成第一衍射波面后再次由对准标记成像模块成像；第二光束通过参考标记成像模块后投射到参考标记上，形成第二衍射波面后再次由参考标记成像模块成像；两个衍射波面分别被成像后由偏振分束器合束，使得两个衍射波面所成的像重叠，两个重叠的像通过偏振器后互相干涉形成对准信号，探测器单元对所述对准信号进行探测。
参考干涉硅片对准系统

[发明专利]一种分时对准装置和对准方法-CN200710047902.0有效
发明人：徐兵;王鹏程;吕晓薇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-11-07 - 公布日： 2008-04-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种分时对准装置及使用该装置的对准方法，在光学结构设计上同时优化掩模标记成像光学系统和曝光对象标记成像光学系统，使掩模标记和曝光对象标记通过光学结构上的不同光学通道进行成像，在时间上通过先后控制掩模标记成像光学系统和曝光对象标记成像光学系统光路中的机械快门开启和关闭，从而避免在原先技术中掩模标记和曝光对象标记同时成像在光电探测器靶面的情况。
一种分时对准装置方法

[发明专利]一种对准系统及光刻机-CN202010225236.0有效
发明人：高安 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-03-26 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，对准系统包括：对准光束产生单元，用于产生对准光束；偏振分光单元，位于对准光束产生单元的出射光路上，用于将对准光束分为偏振方向相互垂直且传播方向不同的第一光束和第二光束；对准标记成像单元，位于第一光束的传播路径上，对准标记成像单元包括对准标记；对准标记成像单元用于将投射至对准标记上的第一光束转化为第一衍射光束，并将第一衍射光束投射至偏振分光单元；参考标记成像单元，位于第二光束的传播路径上，参考标记成像单元包括空间光调制器，空间光调制器形成有周期性结构；干涉信息探测单元。本发明实施例提供一种对准系统及光刻机，以实现兼容不同的对准标记，降低对准系统的成本。
一种对准系统光刻

[发明专利]一种多维编码方法、系统、解码方法及防伪加密标识-CN202110898837.2在审
发明人：宋海梅 -专利权人：宋海梅
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G06K19/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种多维编码方法、系统、解码方法及防伪加密标识，方法包括如下步骤：设置并拍摄防伪载体，识别出防伪成像与标记成像并生成第一图像；识别标记防伪成像的轮廓与标记成像的轮廓之间的相对姿态，将相对姿态放入预设的姿态模板中进行匹配；若从姿态模板中匹配到相对姿态，则将相对姿态对应的标记成像的标记编码加入预设的编码库；按照预设的加密算法对编码库中的标记编码进行加密，生成加密符；设置关联至验证信息的第二防伪标记，关联加密符与验证信息后生成防伪码，验证信息指向防伪码；将第二防伪标记覆盖至第一防伪标记上，第二防伪标记的位置与参与加密的标记成像不重叠；提高了镭射标签的识别成功率。
一种多维编码方法系统解码防伪加密标识

[发明专利]一种消色差位置对准光学系统-CN200910201693.X无效
发明人：徐兵;蔡巍;张春莲;陈跃飞;王端秀 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2009-10-16 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种消色差位置对准光学系统，具有掩模对准光学系统、掩模版、光学投影系统和曝光对象，其中掩模对准光学系统包含掩模标记照明系统和掩模标记成像系统；所述掩模标记照明系统和光学投影系统组成曝光对象标记照明系统，所述掩模标记成像系统和光学投影系统组成曝光对象标记成像系统。该消色差位置对准光学系统包括从照明光纤出射端开始沿光轴依次设置的照明物镜组、分束直角棱镜、孔径光阑、前组成像物镜组、掩模版、光学投影系统和曝光对象，位于孔径光阑和前组成像物镜组的光轴上并在分束直角棱镜另一侧的后组成像物镜、场镜成像物镜组和CCD摄像机接收面。
一种色差位置对准光学系统

[发明专利]一种农药荧光标记成像材料及其制备方法和应用-CN202110461547.1在审
发明人：赵晨;秦天依;徐汉虹 -专利权人：华南农业大学
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： C09K11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种农药荧光标记成像材料及其制备方法和应用。本发明方法选择成本较低且具有载药功能的血清蛋白，利用超分子作用以蛋白包裹有机荧光探针得到均一溶液，该溶液可直接用于生物组织培养进行荧光成像，冻干后可得到农药荧光标记成像材料。本发明涉及的农药荧光标记成像材料制备方法简单、适用范围广，可根据不同农药底物灵活更换蛋白，在研究农药在动植物组织内分布、原位标记及示踪监测导向农药等研究领域具有广阔的应用前景。
一种农药荧光标记成像材料及其制备方法应用

[发明专利]一种同轴对准消色差光学系统-CN200710172801.6有效
发明人：徐兵;吕晓薇 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种同轴对准消色差光学系统，包含：掩模标记照明系统，其包含从照明光纤出射端沿光轴放置的照明物镜组、滤波片、分束直角棱镜、孔径光阑和前组成像物镜组；掩模标记成像系统，其包含从掩模板下表面沿光轴放置的前组成像物镜组、孔径光阑、分束直角棱镜、后组成像物镜组和CCD摄像机接收面；曝光对象标记照明系统，由掩模标记照明系统和光学投影系统组成；曝光对象标记成像系统，由掩模标记成像系统和光学投影系统组成。
一种同轴对准色差光学系统

[发明专利]一种自动对准装置-CN200610023154.8无效
发明人：徐兵;闫岩;王鹏程 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2006-01-06 - 公布日： 2006-06-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种自动对准装置，具有一个照明光源，该照明光源通过照明光纤将照明光源的出射光导入到标记照明单元，该标记照明单元将光线均匀地投射到所要照明的用于对准的标记上；一个标记成像单元将标记成像并投射到标记摄影装置靶面上，该标记摄影装置接收标记的像，经图像处理单元处理后将计算得到的位置误差传送给运动控制装置。
一种自动对准装置

[发明专利]一种对准标记和对其成像的光学系统以及成像方法-CN200710045579.3有效
发明人：徐荣伟;韦学志;李运锋;周畅;李铁军 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2007-09-04 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种对准标记，其中，所述的对准标记为多周期光栅结构，包含多组不同周期的光栅。本发明还提供一种用于对所述的对准标记成像的光学系统，对准标记通过该光学系统相干成像，其至少包括两个相干成像系统，第一相干成像系统包括前组透镜、第一空间滤波器和第一后组透镜；第二相干成像系统包括前组透镜、本发明还提供一种采用所述的光学系统对对准标记成像的方法，其中，该方法包括以下步骤：提供和传输激光照明光束，并照射至对准标记；采集对准标记的衍射光和反射光，其中的衍射光分别经过光学系统的第一相干成像系统和第二相干成像系统相干成像本发明能够有效提高对准标记位置探测精度。
一种对准标记成像光学系统以及方法

[发明专利]一种采用微型标记增强防伪特性的物品-CN200710198483.0无效
发明人：阿尔博特·阿革帝亚;尼尔·泰特鲍姆 -专利权人： JDS尤尼弗思公司
申请日： 2007-12-17 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： B42D15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有增强的防伪特征的物品，增强的防伪特征通过相互关联的第一标记和第二标记来提供，该第一标记直接成像在基底上或成像在由基底支撑的附加层上，该第二标记成像在薄片上，该薄片在基底中或由基底支撑。至少该第二标记仅仅在放大的情况下才可辨别。
一种采用微型标记增强防伪特性物品

[发明专利]车载信息处理装置、程序和控制方法-CN201911096282.9在审
发明人：浜上佳奈;前川卓也;中山阳介;轴丸晃年;杉村多惠;菱川隆夫;足立真一 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：一种车载信息处理装置包括：控制器；成像单元，其包括被配置为对车辆外部成像的车外摄像机；以及输出单元，其被配置为向车辆的车厢中的乘员输出由成像单元获取的信息。成像单元对识别标记成像，该识别标记与在服务提供者侧随时更新的内容相关联，并且该识别标记针对每个内容项而改变。控制器获取与成像的识别标记相关联的内容，并通过输出单元向车厢中的乘员输出获取的内容。
车载信息处理装置程序控制方法

[发明专利]一种光刻机成像质量现场测量方法-CN200810034348.7有效
发明人：李术新;王帆 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2008-03-06 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻机成像质量现场测量方法，通过获得标记在不同照明设置条件下的成像位置相对偏差即套刻误差，利用数学模型拟合计算投影物镜波像差。标记成像相对误差的获取可以不依赖于对准系统，减少了对准系统测量标记位置引入的误差，提高了测试精度。
一种光刻成像质量现场测量方法

[实用新型]生物检测用微球状标记物-CN200520081728.8无效
发明人：朱有名 -专利权人：朱有名
申请日： 2005-03-31 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： G01N33/48 文献下载
摘要：本实用新型提供一种生物检测用微球状标记物，它有微球体，在微球体表面上附有标记成分和被标记成分的混合层。通过微球体作为载体，并在微球体表面吸附或连接标记成分和被标记成分，它能够克服传统技术制备标记物的缺点，它不仅使制备过程简便省时，且标记产物检测信号较传统标记产物信号成倍提高，还可使多种标记成分和被标记成分连结在同一微球体上进行多重标记
生物检测球状标记

[发明专利]标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置-CN202210504569.6在审
发明人：山本将志;铃木彻;根谷尚稔;黑泽良昭;米田慎吾;日置真则 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：公开了标记检测装置、标记学习装置和基板加工装置。标记检测装置，包括：成像单元，被配置成通过对物体上的对准标记成像来生成对准标记图像；检测单元，被配置成检测对准标记图像中的对准标记；以及调节单元，被配置成基于如下的学习模型来调节与成像相关的参数，所述学习模型是通过使用其中不能检测到对准标记的对准标记图像和作为用于对其中能够检测到对准标记的对准标记图像成像的参数的第一参数进行学习而生成的成像单元在参数被调节为第二参数的状态下执行成像。
标记检测装置学习加工

[发明专利]可见光生物相容反应组合物及其应用-CN201811002362.9有效
发明人：张艳;李金波;孔好;黄磊 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-08-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C09K11/07 文献下载
摘要：可见光生物相容反应组合物及其应用，属于生物分子标记技术领域，该组合物由菲醌和烯醚组成，对该组合物照射可见光能够实现在缓冲液及活细胞中的生物大分子的标记成像，同时也能实现生物大分子的时间和空间分辨成像。
可见光生物相容反应组合及其应用

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