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[发明专利]显示面板、显示装置以及显示面板的制造方法-CN202010328116.3在审
发明人：刘文祺;孙中元;王青;薛金祥;闫华杰;安澈 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：一种显示面板，其特征在于，包括依次层叠设置的显示基板和封装层，封装层包括：第一无机层，第一无机层位于显示基板上，采用化学气相沉积工艺制造；第二无机层，第二无机层位于第一无机层上，采用化学气相沉积工艺制造；第二有机层，第二有机层位于第二无机层上，采用化学气相沉积工艺制造。根据本申请实施例提供的技术方案，通过显示面板的封装层的各组成膜均采用化学气相沉积工艺形成，能够解决现有的封装过程采用多种封装设备带来的效率低下的问题。
显示面板显示装置以及制造方法

[发明专利]一种核反应堆用材料外表面包覆层及其制备方法-CN201910555554.0在审
发明人：杨红艳;张瑞谦;邱绍宇;陈寰;卓洪;杜沛南;王昱 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种核反应堆用材料外表面包覆层，所述包覆层沉积在核反应堆用基体材料外表面上，包覆层由内向外依次包括Zr‑Cr或Ti‑Cr过渡层、Cr沉积层和CrN硬化层。上述包覆层的制备方法，采用物理气相沉积法、热喷涂法、冷喷涂法、激光熔覆法、电镀法或化学气相沉积法，优选采用物理气相沉积法中的电弧离子镀。
包覆层核反应堆物理气相沉积法包壳材料基体材料外表面包覆层制备高温力学性能化学气相沉积电弧离子镀核燃料包壳激光熔覆法抗高温氧化热喷涂法由内向外沉积层电镀法过渡层冷喷涂耐腐蚀耐磨损硬化层锆合金沉积膜基涂覆优选合金变形协同表现

[发明专利]汽相沉积装置和使用其制造有机发光显示装置的方法-CN201010512357.X有效
发明人：罗兴烈;郑珉在;李吉远 -专利权人：三星移动显示器株式会社
申请日： 2010-10-09 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种汽相沉积装置和使用该汽相沉积装置制造有机发光显示装置的方法。该汽相沉积装置包括：被配置为容纳汽相沉积源的罐，所述罐包括彼此相对的气体入口和气体出口；被配置为对所述罐进行加热的加热器；与所述罐流体连通的室，所述室被配置为容纳汽相沉积对象；以及载气供给单元，被配置为将载气供给到所述罐中
沉积装置使用制造有机发光显示装置方法

[发明专利]化学气相沉积辅助固相法合成LiFePO₄/C材料的方法-CN200810032412.8在审
发明人：赵兵;焦正;吴明红;蒋永;仲明阳;施文彦;吴文静;周诗情;庄华 -专利权人：上海大学
申请日： 2008-01-08 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： H01M4/58 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学气相沉积辅助合成固相法合成LiFePO₄/C材料的方法，也即是制备碳包覆铁锂电池正极材料的方法。属锂离子电池材料制备工艺技术领域。本发明的特点是采用化学气相法沉积辅助固相反应法来合成碳包覆磷酸铁锂，即LiFePO₄/C材料。本发明方法是采用含锂、含铁、含磷的原料前驱体，经混合、球磨机研磨、预热处理、煅烧与气相沉积各步骤，最后制得碳包覆磷酸铁锂即LiFePO₄/C材料。
化学沉积辅助固相法合成 lifepo sub 材料方法

[发明专利]一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法-CN201711085464.7在审
发明人：王建立;张义;马旺;王成新;肖成峰 -专利权人：山东浪潮华光光电子股份有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法，其特征在于，在金属有机物化学气相沉积设备外进行装片、再将整个托盘和衬底一起放入预装室，吹扫去除水氧、然后将托盘和衬底一起放入所述金属有机物化学气相沉积设备的反应室本发明所述方法不但克服了现有技术的多个难题，还使金属有机物化学气相沉积设备生产效率大大提高。通过超净工作台保证衬底表面的洁净度。
金属有机物化学气相沉积设备衬底吸笔超净工作台托盘生产效率装片镊子外装片放入小泵衬底表面旋转盖板装片操作反应室洁净度工作台吹扫去除水氧外置预装污染轴承印记保证生长改进

[发明专利]太阳能电池用光吸收层及其制备方法-CN200580046447.1无效
发明人：崔寅焕 -专利权人：银太阳科技发展公司
申请日： 2005-02-03 - 公布日： 2008-01-02 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：该方法包括以下步骤：通过金属有机化学气相沉积，由含有In和Se的单独前体在基底上形成InSe薄膜；通过金属有机化学气相沉积，使用Cu前体在InSe薄膜上形成Cu₂Se薄膜；通过金属有机化学气相沉积，使用含有Ga和Se的单独前体在Cu₂Se薄膜上形成CuGaSe₂薄膜；以及通过金属有机化学气相沉积，使用含有In和Se的单独前体以及Cu前体在CuGaSe<
太阳能电池用光吸收及其制备方法

[发明专利]一种铝电解电容器用阳极铝箔的节能制备方法-CN201911024947.5有效
发明人：杜显锋;李响;李卓;熊礼龙 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：包括：利用气相沉积法，辅以等离子体增强，将铝金属有机化合物作为前驱体，在腐蚀铝箔表面生长氧化铝电介质，然后对其进行高温热处理，再经阳极氧化、退火、补形成，制得铝电解电容器用阳极铝箔。本发明利用等离子体辅助的气相沉积技术能够直接在腐蚀箔表面快速均匀地沉积一层Al2O3，相比于传统的水处理方法，不需要再经过强电场作用的转化
一种铝电解电容器阳极铝箔节能制备方法

[发明专利]化学气相沉积制备硅掺杂微纳复合金刚石薄膜的方法-CN201410005272.0无效
发明人：王新昶;孙方宏;沈彬;张志明;郭松寿;张文骅 -专利权人：上海交通大学;上海交友钻石涂层有限公司;苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司
申请日： 2014-01-06 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种化学气相沉积制备硅掺杂微纳复合金刚石薄膜的方法；首先采用含硅有机化合物作为硅掺杂源，采用热丝化学气相沉积法在衬底表面制备硅掺杂金刚石薄膜，然后原位沉积不掺杂微米金刚石薄膜，以制备硅掺杂复合金刚石薄膜
化学沉积制备掺杂复合金刚石薄膜方法

[发明专利]一种气相色谱-质谱检测土壤和沉积物中三乙胺的方法-CN202111483150.9在审
发明人：潘少伟;高永宾;付笑霞;武霞;石晓宁;张蕾;林晓丹;宋玲玲;田建立 -专利权人：河北升泰环境检测有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： G01N30/02 文献下载
摘要：本发明涉及分析检测技术领域，提出了一种气相色谱‑质谱检测土壤和沉积物中三乙胺的方法，包括以下步骤：(1)绘制标准曲线：采用二氯甲烷配置三乙胺的标准溶剂组，采用气相色谱法进行检测，绘制标准曲线；(2)制备待测样品溶液：S1、用异丙醇溶液在酸性条件下对待测样品进行提取得到提取液；S2、碱性条件下用二氯甲烷、氯化钠对S1所得提取液进行萃取得到萃取液，取有机相为待测样品溶液；(3)测定三乙胺含量：将所述待测样品溶液采用气相色谱质谱法进行测定通过上述技术方案，解决了现有技术检测土壤或沉积物中三乙胺的准确度低、灵敏度低的问题。
一种色谱检测土壤沉积物乙胺方法

[发明专利]一种高温高压流体固相沉积模拟装置-CN202010097856.0在审
发明人：尹洪超;张铜耀;税蕾蕾;付云;陈韵;段林林;霍鑫鑫;周鸿;杨硕;赵成功;金迪 -专利权人：中海油能源发展股份有限公司工程技术分公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01N5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高温高压流体固相沉积模拟装置，包括配样注入系统，用于配置流体样品并输出；固相沉积系统，固相沉积系统与配样注入系统连通，用于对配样注入系统输出的流体样品进行固相沉积；回压系统，回压系统分别与配样注入系统与固相沉积系统连通，用于控制固相沉积系统的压力；配样注入系统进行流体样品配样，将流体样品输入至固相沉积系统中，对流体样品进行固相沉积，并通过回压系统控制固相沉积系统压力，对固相沉积物采用称重法进行量值检测。本发明的有益效果是解决在深层气藏、凝析气藏以及注气混相驱的油藏开采中固相沉积问题，提供科学的研究手段和预测评价技术，避免造成储层伤害堵塞和井筒，便于油藏开采。
一种高温高压流体沉积模拟装置

[实用新型]一种高温高压流体固相沉积模拟装置-CN202020177857.1有效
发明人：付云;尹洪超;张旭东;徐文娟;杨发荣;陈克;王驰;向凤仙;张义;张露;何俊辉;郝叶红;韩兆盈;李钧 -专利权人：中海油能源发展股份有限公司工程技术分公司
申请日： 2020-02-17 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G01N5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高温高压流体固相沉积模拟装置，包括配样注入系统，用于配置流体样品并输出；固相沉积系统，固相沉积系统与配样注入系统连通，用于对配样注入系统输出的流体样品进行固相沉积；回压系统，回压系统分别与配样注入系统与固相沉积系统连通，用于控制固相沉积系统的压力；配样注入系统进行流体样品配样，将流体样品输入至固相沉积系统中，对流体样品进行固相沉积，并通过回压系统控制固相沉积系统压力，对固相沉积物采用称重法进行量值检测。本实用新型的有益效果是解决在深层气藏、凝析气藏以及注气混相驱的油藏开采中固相沉积问题，提供科学的研究手段和预测评价技术，避免造成储层伤害堵塞和井筒，便于油藏开采。
一种高温高压流体沉积模拟装置

[实用新型]金属有机化学气相沉积设备-CN201220711704.6有效
发明人：梁秉文 -专利权人：光达光电设备科技（嘉兴）有限公司
申请日： 2012-12-20 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种金属有机化学气相沉积设备，所述金属有机化学气相沉积设备包括腔体，设置在所述腔体上部的进气装置、设置在所述腔体底部的衬底承载装置以及加热器，所述衬底承载装置与所述进气装置相对设置，所述加热器加热所述衬底承载装置，所述衬底承载装置包括承载板，所述承载板包括面向所述进气装置的支撑面，待处理衬底设置于所述支撑面，其特征在于：所述承载装置进一步包括多个定位销，所述定位销设置于所述支撑面，所述定位销用于限定待处理衬底在所述支撑面上的位置本实用新型的金属有机化学气相沉积设备使得待处理衬底温度分布均匀。
金属有机化学沉积设备

[发明专利]利用磁场的微波增强型CVD系统和方法-CN86106620.0无效
发明人：山崎舜平 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 1986-10-14 - 公布日： 1995-02-01 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明展示一种改进的化学气相淀积法；在这种方法中，回旋共振与光或等离子体化学气相淀积法相配合，以高的淀积速度沉积具有高性能的薄膜。高淀积速度归因于回旋共振，而高质量性能归因于两种化学气相淀积法(CVDs)的组合。
利用磁场微波增强 cvd 系统方法

[发明专利]一种多色钻石的制备方法-CN202110563259.7在审
发明人：单崇新;林超男;杨珣;杨西贵;臧金浩 -专利权人：郑州大学
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：采用微波等离子体化学气相沉积法生长钻石，控制不同生长阶段腔体气氛及生长后处理手段，得到多色钻石。本发明通过微波等离子体化学气相沉积法生长钻石，通过控制生长过程中不同阶段的气氛，得到不同颜色的钻石。
一种多色钻石制备方法

[发明专利]一种制备石墨烯薄膜的装置、方法及所得石墨烯薄膜-CN201110442123.7有效
发明人：彭鹏;金虎 -专利权人：彭鹏
申请日： 2011-12-26 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种通过化学气相沉积法(CVD法)连续制备石墨烯薄膜的装置，其主要由进样室、炉管和出样室组成，生长室高温生长区将一直保持高温生长温度，不用等待升降温的过程，并解决了样品在高温区的传动问题，可以进行不间断的生长，从而大幅度提高用化学气相沉积(CVD)方法制备石墨烯薄膜的产量。
一种制备石墨薄膜装置方法所得