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- [发明专利]暖机控制方法和半导体加工设备-CN202010321947.8有效
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陈雪涛
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2020-04-22
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2022-06-17
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C23C14/54
- 本发明提供一种暖机控制方法和半导体加工设备，该方法包括：在启动预置的配置界面时，读取预先存储在配置文件中的工艺腔室的暖机属性的初始值，并在配置界面中显示；暖机属性包括暖机标识、暖机时间阈值和暖机任务名称；若暖机标识表征为需要暖机，则实时获取工艺腔室的当前空闲时间，并判断当前空闲时间是否大于暖机时间阈值；若大于，则发出暖机提示；在接收到使用者输入的确认信息时，切换至预置的暖机界面，暖机界面上显示是否执行暖机任务的选项；在接收到使用者输入的执行暖机任务的指令时，根据暖机任务名称对应的暖机配方执行暖机任务。本发明提供的暖机控制方法，可以避免使用者对需要暖机的工艺腔室直接执行任务，减少误操作。
- 控制方法半导体加工设备
- [发明专利]一种暖机片分配方法及装置-CN202310224404.8在审
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张超;戎迪
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上海赛美特软件科技有限公司
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2023-03-08
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2023-06-09
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H01L21/67
- 本申请提供了一种暖机片分配方法及装置，其中，该方法包括：确定目标机台对应的待加工产品列表，所述待加工产品列表包括每个待加工产品对应的加工步骤；针对每个待加工产品，确定该待加工产品对应的加工步骤中是否存在至少一个未执行暖机操作；若该待加工产品对应的加工步骤中存在至少一个未执行暖机操作，则确定所述至少一个未执行暖机操作中每个未执行暖机操作对应的机台腔室、目标暖机片及目标暖机片数量；在每个未执行暖机操作的机台腔室对应的目标暖机片盒中取出所述目标暖机片数量的所述目标暖机片；将所述目标暖机片数量的所述目标暖机片分配至该个未执行暖机操作对应的机台腔室。
- 一种暖机片分配方法装置
- [发明专利]一种暖机控制方法-CN201310081809.7有效
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陈智文
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上海华力微电子有限公司
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2013-03-14
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2013-07-10
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H01L21/67
- 本发明涉及一种暖机控制方法，包括以下步骤：在一晶圆加工设备对晶圆进行工艺操作前，先根据工艺操作的需求设定晶圆加工设备的至少一个暖机类型，同时分别设定与每个暖机类型相对应的暖机条件和暖机控片种类；实时获取晶圆加工设备的检测数据信息；将检测数据与每个暖机条件进行比对，以判断晶圆加工设备需要进暖机操作的暖机类型，并根据与该暖机类型对应的暖机控片种类派工相应的暖机控片至该晶圆加工设备，对晶圆加工设备进行暖机操作后，继续使用该晶圆加工设备对晶圆进行工艺操作；若检测数据均不满足每个暖机条件，则晶圆加工设备直接对晶圆进行工艺操作。通过本发明方法，使得在整个暖机的过程中，无需人为干预，有效提高了设备利用率。
- 一种控制方法
- [发明专利]一种多联机空调地暖系统及控制方法-CN201910008030.X有效
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张吉雪;冯凯;刘向坤
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青岛海信日立空调系统有限公司
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2019-01-04
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2021-04-06
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F24F11/56
- 本发明涉及一种多联机空调地暖系统及控制方法，该系统包括室外机、室内机和与室内机相连的线控器，室内机通过冷媒管路与室外机连接，且线控器与室外机连接，室外机还具有与冷媒管路并行的供水管路；多联机空调地暖系统还包括地暖用水模块和与地暖用水模块对应的地暖控制单元，地暖用水模块包括地暖盘管和设置在地暖盘管和供水管路之间的电磁阀，地暖控制单元与室外机通信连接，输出端与电磁阀的控制端连接，且监听线控器发送至室内机的通信信息，根据所监听到的通信信息，室外机开启冷媒管路或供水管路，地暖控制单元控制电磁阀的状态。利用室内机线控器选择地暖模式或空调模式，实现操作简便，避免误操作引起冲突，提升用户体验。
- 一种联机空调系统控制方法
- [发明专利]控制阀-CN201810394653.0有效
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大关哲史
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株式会社山田制作所
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2018-04-27
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2021-08-03
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F01P7/16
- 本发明涉及一种控制阀，该控制阀具备：壳体，具有形成有暖机流出口的暖机端口；暖机接头，被接合在暖机端口中的暖机流出口的开口端面上；转子，以能够旋转的方式被收纳在壳体内；滑动圈，具有在转子的外周面上滑动的滑动面；密封圈，夹装在暖机端口的内周面及滑动圈的外周面之间；以及保持架，被配置在暖机端口的内周面及滑动圈的外周面之间，相对于密封圈从端口轴向的外侧保持密封圈。保持架被配置成相对于暖机接头及暖机端口的至少某个能够分离。
- 控制
- [实用新型]地暖空调一体机组-CN202020261301.0有效
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杨勇;韩英春
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武汉舒适易佰科技有限公司
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2020-03-05
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2020-10-30
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F24F1/58
- 本实用新型公开了地暖空调一体机组，包括地暖空调一体机室外机本体，地暖空调一体机室外机本体的下方设有安装座，安装座和地暖空调一体机室外机本体之间设有若干套筒，套筒的顶端与地暖空调一体机室外机本体的底端固定连接，套筒内设有限位杆，限位杆的底端与安装座的顶端固定连接，安装座的顶端设有若干固定螺栓，地暖空调一体机室外机本体的底端中间位置固定连接有固定块，固定块的底端开设有第一凹槽，第一凹槽内设有连接块。本实用新型的地暖空调一体机组，当地暖空调一体机室外机本体固定安装在室外时，可以简单便捷的对地暖空调一体机室外机本体进行拆除，进而便于对地暖空调一体机室外机本体进行检修和维护。
- 空调一体机组
- [实用新型]冰箱-CN202120938646.X有效
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杨优生;王国庆;孙彬;石映晖
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海信（山东）冰箱有限公司
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2021-04-30
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2021-12-10
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F25D11/02
- 本实用新型提供了一种冰箱，其包括压缩机仓室、其内设有通过送风口与暖藏室相连通的暖藏风道的暖藏室、一端与暖藏风道通过进风口相连通且另一端与压缩机仓室相连通的暖藏送风管、一端与暖藏室通过回风口相连通且另一端与压缩机仓室相连通的暖藏回风管、与压缩机相连的冷凝器；暖藏风道内设有暖藏风机，冷凝器设于暖藏风道或暖藏送风管内；暖藏风机运行，压缩机仓室内的气流依次经过暖藏送风管、进风口、冷凝器、送风口后进入暖藏室；经过暖藏室的气流通过回风口进入暖藏回风管，然后进入压缩机仓室；本实用新型充分利用冰箱制冷系统的冷凝器所生产的热量，增加了冰箱的温度覆盖区域范围，满足用户的多样化储藏需要，并方便用户用于快速解冻。
- 冰箱
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