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[实用新型]掩膜板-CN201820714454.9有效
发明人：王梦凡;王国兵;苏倩;李金库;康梦华;叶訢 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板，所述掩膜板包括：掩膜板主体；设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板，所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部，在所述子掩膜板的厚度方向上，所述遮挡部开设有至少一个凹槽，所述凹槽的深度小于所述掩膜板主体的厚度由于在遮挡部开设有凹槽，且单个凹槽的深度小于掩膜板主体的厚度(凹槽沿厚度方向并非贯穿掩膜板主体)，既保证了遮挡部不会存在像素蒸镀到基板上，又减少了遮挡部的厚度，从而使遮挡部的重量减小，使遮挡部的重量与蒸镀区的重量差距小，降低了遮挡部的应力集中，从而使掩膜板主体在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板主体在张网过程中的褶皱现象。
掩膜板遮挡蒸镀张网受力均匀应力集中重量减小褶皱现象基板像素掩膜贯穿保证

[实用新型]一种掩膜板装置-CN201821080019.1有效
发明人：蓝仕虎 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种掩膜板装置，涉及太阳能电池制造技术领域，为提高导电膜的使用性能而设计。所述掩膜板装置包括第一掩膜板和第二掩膜板；所述第一掩膜板和第二掩膜板均包括框架，所述框架内设置有多个间隔布设的遮挡件，所述遮挡件将所述框架内划分成交错间隔的开口区和遮挡区，所述第一掩膜板的开口区结构和第二掩膜板的遮挡区结构相同，所述第一掩膜板的遮挡区结构和第二掩膜板的开口区结构相同。本实用新型提供的掩膜板装置用于提高导电膜的性能。
掩膜板开口区遮挡区本实用新型导电膜遮挡件太阳能电池间隔布设交错间隔使用性能制造

[发明专利]一种掩膜板、显示基板、显示装置-CN202211093931.1在审
发明人：桑金龙;齐超;罗宁;王博;潘文虎;刘宇熙 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;绵阳京东方光电科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种掩膜板、显示基板、显示装置。掩膜板包括掩膜板主体，掩膜板主体上设有多个掩膜开口，至少一个掩膜开口中设有遮挡结构和连接结构；遮挡结构，与显示基板上的挖孔区对应设置，用于在蒸镀工序中遮挡显示基板上挖孔区的周边位置；连接结构，与掩膜板主体和对应的遮挡结构连接，用于将对应的遮挡结构固定于掩膜板主体。本公开实施例提供的掩膜板、显示基板、显示装置，在很大程度上可以避免显示面板出现GDSH不良。
一种掩膜板显示显示装置

[实用新型]一种掩膜组件及应用其的蒸镀装置-CN202120886673.7有效
发明人：徐蒙蒙;王江南;史晓波;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜组件及蒸镀装置，掩膜组件包括掩膜遮挡板和掩膜板，所述掩膜遮挡板位于所述掩膜板远离所述基片的一侧；所述掩膜遮挡板与所述掩膜板之间分离间隔设置；所述掩膜板上镂空设置有第一蒸镀图案，所述掩膜遮挡板上镂空设置有第二蒸镀图案其能够减弱蒸镀过程中所述掩膜板受到的热辐射，避免掩膜板受热膨胀产生形变。
一种组件应用装置

[发明专利]一种掩膜板的制作方法-CN201510095739.X有效
发明人：马得贵;吴俊雄;冉应刚;王红英;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2015-03-04 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板的制作方法，包括以下步骤（1）测量环境温度T1；（2）将遮挡掩膜板的两端张紧，然后固定在掩膜板框架上，计算出所述遮挡掩膜板的形变量；（3）在所述掩膜板框架的左部区域和右部区域分别固定一块掩膜板，掩膜板的边沿与遮挡掩膜板重叠的部分长度相同；计算出掩膜板的形变量；（4）将所述固定有遮挡掩膜板及掩膜板的掩膜板框架放入加热房中加热至温度T2进行热膨胀；（5）在温度T2的环境下，对掩膜板与遮挡掩膜板之间的重叠区域进行焊接固定；（6）将掩膜板框架从加热房中取出，冷却至温度T1。本发明可以有效的减少因张紧力引起的收缩变形问题，提高了掩膜板的品质，适用于制造高PPI显示屏产品的掩膜板要求。
一种掩膜板制作方法

[发明专利]一种掩膜板、对其曝光的方法以及电路面板的制造方法-CN201610796433.1有效
发明人：徐向阳 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G03F1/54 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板、对其曝光的方法以及互电容触控电路面板的制造方法，掩膜板，所述掩膜板包括第一遮挡区域、第二遮挡区域及第三遮挡区域；其中，第一遮挡区域、第二遮挡区域及第三遮挡区域对应互电容触控电路面板的图层图案区；所述第一遮挡区域采用紫外光波段a的吸光材料作为掩膜板挡光材料；所述第三遮挡区域采用紫外光波段b的吸光材料作为掩膜板挡光材料。本发明可以实现同一张掩膜板做出不同的光刻图案，可减少掩膜板的数量，进而节省成本。
一种掩膜板曝光方法以及电路面板制造

[发明专利]掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板-CN201711006716.2在审
发明人：苏君海;龚建国;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板，掩膜装置包括掩膜组件和掩膜框架，所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件；所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接；所述掩膜板上均匀开设有若干通孔所述遮挡件开设有若干通口；所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。掩膜板无需根据不同显示区设置不同的预留区，只需整体进行蚀刻，减少了蚀刻工序，降低了工艺复杂度，掩膜板整体均匀开设通孔，使得掩膜板的各部分的力学性能趋于一致，有效减少形变，能够同时蒸镀不同形状的显示区，提高玻璃基板的利用率
装置及其组件掩膜板

[发明专利]一种掩膜板组件-CN202110216696.1有效
发明人：刘佳宁;白珊珊;毕娜;刘华猛;关新兴 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种掩膜板组件，该掩膜板组件包括：支撑框架和覆盖于支撑框架上的掩膜层，掩膜层包括多个间隔分布的掩膜条；支撑框架包括：外框、以及设于外框上的多个间隔分布的遮挡条；遮挡条的延伸方向与掩膜条的延伸方向相同，遮挡条的排列方向与掩膜条的排列方向相同，每个掩膜条搭接于相邻的两个遮挡条上；遮挡条包括遮挡层和位于遮挡层远离掩膜层一侧的第一支撑层；第一支撑层在掩膜层上的正投影位于遮挡层在掩膜层上的正投影内；第一支撑层的材料的磁性小于遮挡层的材料的磁性该掩膜板组件中，掩膜条在搭接区域和搭接区域附近所受的压力差距较小，使掩膜条吸附更平整，提高蒸镀的均匀性，降低蒸镀过程中的混色风险。
一种掩膜板组件

[发明专利]一种高精度金属掩膜板及其制造方法-CN201811588621.0有效
发明人：罗云鹏 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种高精度金属掩膜板及其制造方法，其中所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；遮挡条设置于支撑条上，遮挡条包括遮挡部和连接部，遮挡部呈“凵”形槽体结构，遮挡部的槽口朝上设置，连接部焊接于安装框架上；掩膜条包括掩膜部和焊接部，掩膜部呈“凵”形槽体结构，掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接，所述焊接部用于安装框架焊接固定。在本方案中，遮挡板与掩膜条设置扣接结构贴合紧密，能够提高产品蒸镀良率，降低生产成本。
一种高精度金属掩膜板及其制造方法

[实用新型]一种高精度金属掩膜板-CN201822183580.9有效
发明人：罗云鹏 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种高精度金属掩膜板，所述掩膜板包括安装框架、掩膜条、遮挡条和支撑条；支撑条垂直于掩膜条和遮挡条设置，支撑条的两端焊接在所述安装框架上；遮挡条设置于支撑条上，遮挡条包括遮挡部和连接部，遮挡部呈“凵”形槽体结构，遮挡部的槽口朝上设置，连接部焊接于安装框架上；掩膜条包括掩膜部和焊接部，掩膜部呈“凵”形槽体结构，掩膜部的槽口朝下设置，掩膜部接跨设于相邻两遮挡条的遮挡部上，且掩膜部的两侧壁分别与相邻遮挡部两对应侧壁扣接在本方案中，遮挡板与掩膜条设置扣接结构贴合紧密，能够提高产品蒸镀良率，降低生产成本。
掩膜部遮挡条遮挡安装框架掩膜条支撑条焊接部体结构槽口金属掩膜板朝上设置朝下设置焊接固定金属掩膜扣接结构两端焊接两侧壁掩膜板遮挡板侧壁扣接跨设良率贴合蒸镀焊接垂直

[发明专利]掩膜板及掩膜板制备方法-CN201910813249.7有效
发明人：孙琳;赵晶晶;刘明星 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例提及了一种掩膜板及掩膜板制备方法，解决了现有掩膜板张网精度较差的问题。该掩膜板包括开口区，开口区包括开口图形；与开口区相邻的遮挡区，遮挡区包括与开口图形适配的缓冲图形。本发明实施例提供的掩膜板，通过在遮挡区设置与开口区的开口单元集合对应的缓冲单元集合的方式，实现了缓冲开口区和遮挡区的交界线处的应力突变的目的，进而保证张网拉力能够流畅地从遮挡区传递至开口区。此外，本发明实施例还能够借助遮挡区的缓冲单元集合降低掩膜板的质量，进而降低掩膜板自身重力对自身造成的不良影响，进而减小掩膜板的下垂量。因此，与现有掩膜板相比，本发明实施例能够有效提高掩膜板的张网精度，进而提高蒸镀产品良率。
掩膜板制备方法

[发明专利]薄膜图形化方法及掩膜板-CN201410364244.8有效
发明人：刘宇;闵天圭;张琨鹏;徐敬义;任艳伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2014-07-28 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种薄膜图形化方法及掩膜板，涉及微电子技术领域，能够直接在基板上沉积形成具有孔洞的薄膜。本发明的方法包括：在基板上方放置第一掩膜板，在所述第一掩膜板的遮挡下进行第一次薄膜沉积；然后去掉第一掩膜板，在基板上方放置第二掩膜板，在所述第二掩膜板的遮挡下进行第二次薄膜沉积；其中，所述第一掩膜板和所述第二掩膜板上均设置有与薄膜上的所述孔洞区域相对应的第一遮挡部；所述第一掩膜板的非遮挡区域与所述第二掩膜板的非遮挡区域互补后形成的图形，与所述孔洞之外的薄膜分布区域相对应。
薄膜图形方法掩膜板

[实用新型]一种蒸镀用掩膜板组件-CN201720686923.6有效
发明人：张峰杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀用掩膜板组件，包括掩膜板本体，所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口，其中，所述掩膜板组件还包括遮挡部，所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态；其中在所述第一状态下，所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。该蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部，使得蒸镀过程中，蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上，进行清理时，只需要将遮挡部取下即可，方便、省力，从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。
一种蒸镀用掩膜板组件

[发明专利]掩膜组件和掩膜系统-CN201810378719.7有效
发明人：王震;黄俊杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜组件和掩膜系统，属于掩膜技术领域。本发明的一种掩膜组件，包括框架、遮挡层，其中所述遮挡层能够固定在所述框架上，且所述遮挡层为多组，每一组遮挡层包括能够固定在框架上的多个遮挡组件，且任意两相邻的所述遮挡组件之间限定出掩膜板的工作区；不同组的遮挡层中的相邻的所述遮挡组件之间限定出的掩膜板的工作区的尺寸不同
组件系统

[发明专利]掩膜板组件及其加工方法-CN202180000032.X在审
发明人：吕文旭;伍青峰;王永茂;张文畅 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：一种掩膜板组件(100)及其加工方法，掩膜板组件(100)包括框架(1)、遮挡条(2)和掩膜板(3)，框架(1)中部形成开口部(12)；遮挡条(2)设在开口部(12)处且遮挡条(2)的两端固定在框架(1)上；掩膜板(3)固定在框架(1)上，掩膜板(3)上设有蒸镀孔(31)和拉伸孔(32)，蒸镀孔(31)与开口部(12)相对，拉伸孔(32)与遮挡条(2)相对以通过遮挡条(2)遮挡拉伸孔(32)。
掩膜板组件及其加工方法

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