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[发明专利]一种平衡探测器阵列-CN202210298166.0在审
发明人：高红彪;孙夺;顾溢 -专利权人：华为技术有限公司;中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01S17/10 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种平衡探测器阵列。该平衡探测器阵列包括第一探测器阵列和第二探测器阵列，采用镜像方式设置于同一衬底。第一探测器阵列和第二探测器阵列均包括M个探测器像元且一一对应，第一探测器阵列和第二探测器阵列的M个探测器像元构成M个平衡像元对，每个平衡像元对用于输出一个差分信号，M为大于1的整数。每个平衡像元对包括第一探测器像元和第二探测器像元，第一探测器像元和第二探测器像元的光敏区域的几何中心分别位于第一直线和第二直线，第二直线与第一直线平行，第一探测器像元和第二探测器像元的光敏区域的几何中心的连线与第一直线垂直该平衡探测器阵列能够提升光电探测器的光敏区域的占空比，以及激光雷达的出点率。
一种平衡探测器阵列

[发明专利]偏振非制冷红外焦平面探测器-CN201810994366.3有效
发明人：方辉;赵永强;潘泉 -专利权人：北方广微科技有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L31/09 文献下载
摘要：本申请提供一种偏振非制冷红外探测器，包括：阵列排列的多个探测器像元，所述探测器像元包括：包含读出电路的硅基片和所述硅基片之上的微桥结构，其中相邻两行两列的四个所述探测器像元为一个像元组，每个所述像元组中的多个所述探测器像元的偏振结构的设计相同本申请的技术方案，在非制冷红外焦平面上的探测器像元的微桥结构上集成偏振结构，整个焦平面由多行多列探测器像元构成，每两行两列探测器像元为一个像元组，每个像元组中的多个探测器像元的偏振结构的设计相同，每个像元组中的多个探测器像元的偏振结构通过旋转得到
偏振制冷红外平面探测器

[实用新型]一种低噪声驱动电路-CN202320184417.2有效
发明人：袁燕芳;李鹏 -专利权人：武汉博宇光电系统有限责任公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低噪声驱动电路，包括：红外探测器像元输入电路和探测器驱动电路；其中探测器驱动电路与红外探测器像元输入电路电性连接；探测器驱动电路为红外探测器像元输入电路提供模拟电源和偏置电压；红外探测器像元输入电路将探测器所有像元产生的光生电流积分本实用新型有益效果是：提出了低噪声的探测器驱动电路，有效的改善了电路性能，提高了成像系统的图像质量。
一种噪声驱动电路

[发明专利]集成像元级聚光透镜的红外探测器及其制备方法-CN201410486239.4在审
发明人：姜利军 -专利权人：杭州大立微电子有限公司
申请日： 2014-09-23 - 公布日： 2015-01-28 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种集成像元级聚光透镜的红外探测器及其制备方法，集成像元级聚光透镜的红外探测器包括衬底及多个设置在衬底上的红外探测器像元，还包括多个密封盖及多个聚光透镜，每一密封盖包围一红外探测器像元，形成一容纳红外探测器像元的密封腔，每一密封盖的顶部外表面设置一聚光透镜，以将红外辐射汇聚到每一红外探测器像元上。本发明的优点在于，聚光透镜与红外探测器像元实现光刻级的对准，有效提高聚光透镜与红外探测器像元之间的对准精度，提高聚光透镜的汇聚效率。同时，聚光透镜的制作工艺与像元级的真空封装工艺结合，可以有效地提高红外探测器的集成度，减小探测器体积，降低制造成本。
集成像元级聚光透镜红外探测器及其制备方法

[发明专利]探测器的封装盖板及其制备方法、探测器-CN202210647704.2有效
发明人：崔亚春;刘建华;丁金玲 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种探测器的封装盖板及其制备方法、探测器，涉及微电子领域，用于改善目标物体红外辐射对参考像元结构的影响。探测器包括多个有效像元结构和多个参考像元结构。封装盖板包括盖板主体和红外吸收结构。红外吸收结构用于吸收射向由所述探测器的外部多个参考像元结构的红外辐射。本发明实施例提供的封装盖板，可以改善目标物体红外辐射对探测器中的参考像元结构的影响，从而使探测器能够更好地利用参考像元结构来消除半导体衬底的温度对有效像元结构产生的影响，提高探测精度。
探测器封装盖板及其制备方法

[实用新型]一种红外光学盲元结构-CN201820202155.7有效
发明人：王大甲;许勇;周龙飞 -专利权人：无锡元创华芯微机电有限公司
申请日： 2018-02-06 - 公布日： 2018-08-21 - 主分类号： G01J5/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种红外光学盲元结构，属于红外探测技术领域。包括衬底，探测器像元，真空悬置在所述衬底的上方；所述探测器像元的数量为若干个，所述探测器像元通过立柱与所述衬底连接；红外光学阻挡结构，真空悬置在所述探测器像元的上方，并通过支撑柱与所述衬底连接，以避免所述探测器像元吸收到外界的红外热辐射；所述红外光学阻挡结构包括钝化层和红外辐射反射金属层；其中，所述红外光学阻挡结构与所述衬底构成中空部的盒状结构，所述探测器像元悬浮在中空部内；所述红外光学阻挡结构与探测器像元之间存在真空间隙；所述红外光学阻挡结构设置有若干个释放通道以满足探测器电路除电阻阻值之外的进一步要求。
探测器像元红外光学阻挡结构衬底中空部悬置红外辐射反射红外探测技术本实用新型红外热辐射探测器电路盒状结构真空间隙钝化层金属层支撑柱电阻立柱悬浮释放吸收

[发明专利]红外探测器暗背景值计算方法、装置、设备、系统及介质-CN201811148770.5有效
发明人：李诚良;郑玉权;蔺超 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G01J3/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种红外探测器暗背景值计算系统、方法、装置、设备及计算机可读存储介质。其中，系统包括像长度小于红外探测器的空间维长度的狭缝、分为第一不感光区域、第二不感光区域与位于二者之间的感光区域的红外探测器及红外探测器暗背景值计算器。探测器将采集的红外光谱仪工作状态的暗像元数据发送至红外探测器暗背景值计算器，使其根据暗像元数据调用相同工作模式下的感光像元DN值和暗像元DN值的线性关系，计算感光像元的暗背景值。线性关系为根据感光区域中感光像元DN值和多组暗像元对的暗像元DN值计算得到，暗像元均匀对称分布于不感光区域中。本申请提供的技术方案提高了红外探测器暗背景值计算的准确度。
红外探测器背景计算方法装置设备系统介质

[发明专利]一种MKIDs超导探测器阵列像元工作状态及位置的判别方法-CN202110242906.4有效
发明人：吕伟涛;李婧;史生才 -专利权人：中国科学院紫金山天文台
申请日： 2021-03-05 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01R23/07 文献下载
摘要：本发明涉及一种MKIDs超导探测器阵列像元工作状态及位置的判别方法，包括骤：搭建亚K低温测试系统，测试待测MKIDs探测器阵列芯片的原始谐振频率响应；保持亚K低温测试系统和待测MKIDs探测器阵列芯片安装状态不变，使用影响像元谐振特性的介质附着在待标定探测器像元的表面；保持亚K低温测试系统不变，重新测试待测MKIDs探测器阵列芯片的谐振频率响应；比对两次实测的探测器阵列谐振频率响应，有频率偏移的谐振即为标定的探测器像元本发明可解决MKIDs超导探测器阵列部分像元的频率偏移和错位的问题，进而提高MKIDs超导微波动态电感探测器的成像准确性。
一种 mkids 超导探测器阵列工作状态位置判别方法

[发明专利]一种红外偏振探测器的盲元检测方法-CN202211162363.6在审
发明人：邢艳蕾;于元祯;张小倩;王晓龙;祁娇娇 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种红外偏振探测器的盲元检测方法，包括：采集偏振信息信号，其中偏振信息信号，是在不同温度条件下，由红外偏振探测器的不同像元响应于电动起偏器旋转至少两周的过程中所产生的；确定偏振信息信号对应的像元中的过热像元以及死像元；利用配置的消光比算法，确定偏振信息信号对应的像元中的偏振盲元；将过热像元，死像元，以及偏振盲元进行叠加统计，确定红外偏振探测器中的盲元。本发明提供的红外偏振探测器盲元的检测方法通过增加对偏振盲元的检测，可以更加准确的完成对偏振探测器盲元的评价。
一种红外偏振探测器检测方法

[发明专利]基于开关矩阵的焦平面阵列探测器及其制作方法-CN202211602460.2在审
发明人：曾磊;熊祎灵;文梦江;彭旭 -专利权人：武汉光谷量子技术有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于开关矩阵的焦平面阵列探测器及其制作方法，涉及FPA技术领域。该方法的步骤包括：制作行列独立探测器芯片，探测器芯片中所有行的像元共用P电极、且所有列的像元共用N电极；或者探测器芯片中所有行的像元共用N电极、且所有列的像元共用P电极。本发明的焦平面阵列探测器中存在多个行列独立、且各行共P电极、各列共N电极(或各行共N电极、各列共P电极)的探测器芯片。本发明的探测器在使用时能够通过不同行、列的控制，对各个像元依次逐个进行选通，选通时可跳过短路或低压像元，使存在少量短路或低压像元的阵列芯片仍然可用。
基于开关矩阵平面阵列探测器及其制作方法

[发明专利]一种红外探测器及其暗电流剔除方法、装置和设备-CN202210606573.3有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：北京智创芯源科技有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本申请公开了红外探测器及其暗电流剔除方法、装置和设备，涉及红外探测器领域，用于剔除暗电流背景，该方法包括获取红外探测器芯片的扩展像元阵列中局部像元阵列的第一测试响应值集合；其中，扩展像元阵列位于红外探测器芯片的像元阵列的四周边缘，局部像元阵列至少不包括扩展像元阵列中在横向或纵向上两端的像元，红外探测器芯片的背面对应局部像元阵列的区域设有遮挡层；根据第一测试响应值集合确定红外探测器的暗电流响应值，并剔除暗电流响应值。本申请芯片背面对应局部像元阵列的区域设有遮挡层，使得局部像元阵列中的像元成为暗元，通过暗元的测试响应值确定暗电流响应值并进行剔除，方式简单，且无需降低工作温度，成本增加非常小。
一种红外探测器及其电流剔除方法装置设备

[实用新型]一种非制冷红外焦平面探测器-CN202320044122.5有效
发明人：李哲;丁金玲;刘建华 -专利权人：杭州海康微影传感科技有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本申请提供一种非制冷红外焦平面探测器。非制冷红外焦平面探测器包括壳体、透光窗、非制冷红外焦平面探测器单元及红外遮挡件。壳体具有底壁和侧壁。透光窗设置于侧壁背离底壁的一侧，与壳体围成密封的容设空间。非制冷红外焦平面探测器单元设于容设空间内，包括具有集成电路的基底及设于基底之上的有效像元阵列及参考像元阵列；参考像元阵列设于有效像元阵列的至少一侧，并与有效像元阵列间隔设置；红外遮挡件设于参考像元阵列与透光窗之间上述非制冷红外焦平面探测器，通过在透光窗和参考像元之间设置红外遮挡件，以对有效像元阵列的进行有效消除，有利于提高有效像元阵列受外界光照射所获取数据的准确性，提高非制冷红外焦平面探测器的性能。
一种制冷红外平面探测器

[发明专利]一种测试探测器像元内不均匀性的装置及方法-CN201710703816.4有效
发明人：邱鹏;贾磊;邹思成;王建峰;兀颖;张鑫;芦嘉裕;陈腾;曾显群;李陶然 -专利权人：中国科学院国家天文台;中国科学院大学
申请日： 2017-08-16 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明主要属于天文观测领域，具体涉及一种测试探测器像元内不均匀性的装置及方法。所述装置包括点光源系统和运动平台；所述运动平台使得待测的探测器在XYZ三维方向上运动；所述点光源系统提供小于探测器像元尺寸的像斑，运动平台置于点光源系统一侧，所述点光源在所述点光源系统的探测器像元内成像本发明提供了测量探测器像内不均匀性的装置和方法，使用该装置和方法可以测量探测器像元内不均匀性，便于筛除均匀性较差的探测器，同时测量得到的数据可作为探测器拍摄目标图像的校准使用。
一种测试探测器像元内不均匀装置方法

[发明专利]一种抗辐照近红外焦平面探测器及制作方法-CN201911278922.8有效
发明人：樊鹏;高新江;崔大健;周勋;陈扬;申志辉 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十四研究所
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： H01L25/16 文献下载
摘要：本发明属于半导体光电探测器领域，具体涉及一种抗辐照近红外焦平面探测器及制作方法；所述探测器包括探测器阵列芯片和CMOS读出电路；所述探测器阵列芯片通过铟柱连接CMOS读出电路；所述探测器阵列芯片的像元区由中心向四周依次为有效像元、哑元和冗余像元构成；本发明借助金属遮罩层对哑元进行遮挡，使得哑元不输出光生信号；利用哑元提供补偿电流，分流有效像元在辐照之后上升的暗电流；本发明结构简单，考虑工艺制作的可行性，能够有效解决近红外焦平面探测器在空间辐照环境中性能参数退化的问题
一种辐照红外平面探测器制作方法

[发明专利]一种面阵型红外探测器的像元等效电路及测试方法-CN201410076965.9有效
发明人：朱磊;陈立颖;孙东昱;薛璐 -专利权人：中航（重庆）微电子有限公司
申请日： 2014-03-04 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种面阵型红外探测器的像元等效电路及测试方法，所述像元等效电路包括：等效盲像元，用于模拟MEMS盲像元，提供等效对照信号；等效有效像元，用于模拟MEMS有效像元，提供等效探测信号；读出电路，用于对所述等效对照信号及等效探测信号进行放大及读出；所述等效盲像元包括第一MOS管及第一开关，所述等效有效像元包括第二MOS管及第二开关。本发明具有以下有益效果：1）可以显著提高面阵型红外探测器的生产效率和产品良率；2）实现了面阵型红外探测器中MEMS结构制造前的全功能测试；3）降低面阵型红外探测器产品的测试封装成本。
一种面阵型红外探测器等效电路测试方法

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