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- [发明专利]一种具有常关沟道的高压多异质结器件-CN201510446154.8有效
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汪志刚;陈协助;孙江
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西南交通大学
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2015-07-27
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2017-12-01
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H01L29/778
- 本发明涉及电力电子技术的新型增强机理的异质结器件,特别涉及一种具有常关沟道的高压多异质结器件,本发明的多异质结型常关沟道器件,主要通过第三半导体层、第四半导体层、第五半导体层、第六半导体层形成多异质结,在栅极下方具有非平面结构,非平面的异质结沟道的极化方向与第三半导体层、第四半导体层、第五半导体层和第六半导体层的材料生长方向有一定角度,实现异质结界面的二维电子气(2DEG)不连续,即源漏之间形成了非常闭型电气连接,最终实现多异质结常关沟道器件。本发明的有益效果为多异质结常关沟道器件,能在高温高场环境下稳定工作,版图和工艺易于实现,且易于控制常关沟道的阈值电压。
- 一种具有沟道高压多异质结器件
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