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- [发明专利]圆槽加工铣刀-CN201410729418.6在审
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钱凯
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常州市仁达合金工具有限公司
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2014-12-04
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2015-03-25
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B23C5/10
- 本发明涉及刀具技术领域，具体涉及一种圆槽加工铣刀,包括刀柄及刀头，刀柄与刀头连接，其特征在于，所述刀头包括刀架、滑道及滑块，刀架与刀柄连接，刀架上设有滑道，滑道两侧均套装有滑块，所述刀架和滑道上开设有相通的腰形孔，滑道及滑块通过穿过腰形孔的螺杆连接，所述滑块下面均连接有切削刀，所述刀柄和刀头上开设有放置定位杆的槽孔，槽孔内设有定位杆，所述定位杆与槽孔内上表面之间设有弹簧，弹簧一端与定位杆上表面连接，另一端与槽孔内上表面连接，所述定位杆的顶端为圆弧形，本发明提供一种便于中心定位，在平面上加工圆槽方便的圆槽加工铣刀。
- 加工铣刀
- [发明专利]晶圆浸泡槽-CN201910344800.8有效
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王静强;徐福兴;黄锡钦
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昆山基侑电子科技有限公司
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2019-04-26
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2023-07-25
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H01L21/67
- 为了解决现有技术中晶圆浸泡时间长的技术问题，本发明提供了晶圆浸泡槽，槽体内设置有用于吊装晶舟或者提篮的拉杆组件；拉杆组件包括夹持件、连接件、外管件和内拉杆件，外管件套装在内拉杆件的外部，夹持件与外管件固连，连接件与内拉杆件铰接，夹持件和连接件均与晶舟或者提篮铰接；槽体外部设置有第一伺服滚珠丝杆副组件和第二伺服滚珠丝杆副组件，第一伺服滚珠丝杆副组件带动晶圆离开或者没入化学品中，第一伺服滚珠丝杆副组件通过提高或者降低内拉杆件的高度从而调整晶圆的倾斜的角度，第一伺服滚珠丝杆副组件不停反复运动实现了晶圆在浸泡槽内的反复晃动，被搅动的化学品不停冲击晶圆表面，加速了晶圆表面杂质的剥离速度。
- 浸泡
- [实用新型]晶圆清洗槽-CN202022781192.8有效
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刘佳鑫;童灿钊;赵冬冬;李迁;巫礼杰;仰瑞;高云峰
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大族激光科技产业集团股份有限公司
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2020-11-25
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2021-10-29
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B08B3/02
- 本实用新型实施例公开了一种晶圆清洗槽，包括清洗池、转轴、晶圆载台和清洗喷头，晶圆载台和清洗喷头均设置在清洗池内，清洗池是由侧壁和底座围成的桶状结构，转轴设置在所述底座上，转轴的一端与所述晶圆载台连接从而带动晶圆载台转动，清洗喷头位于所述晶圆载台的上方，清洗喷头用于向晶圆载台喷淋清洗液，侧壁的内表面对应所述晶圆载台的位置设有缓冲层。清洗时被甩出的清洗液和晶圆碎屑以高速撞击到清洗池侧壁时，先撞击到缓冲层上，基于缓冲层的缓冲作用，有效防止清洗液和晶圆碎屑反弹，提高了晶圆的清洗质量，也避免了晶圆和零件被刮伤。
- 清洗
- [发明专利]自动开凿圆槽装置-CN201711397207.7在审
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夏新财
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广州市正坚包装材料科技有限公司南沙分公司
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2017-12-21
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2018-04-27
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B23D79/00
- 本发明提供一种自动开凿圆槽装置，其包括底座、设置于该底座上的工作台、设置于该工作台上用于安装定位板材的旋转安装件、用于驱动工作台在底座上移动的第一驱动器件、用于驱动旋转安装件旋转的第二驱动器件、设置于工作台上方的开凿器件、用于驱动开凿器件工作的第四驱动器件；工作时，第一驱动器件驱动工作台移动到设定位置，第二驱动器件通过驱动旋转安装件旋转从而驱动板材进行旋转，第四驱动器件驱动开凿器件对板材开凿圆槽。本发明实施例提供的自动开凿圆槽装置，根据预设板材的尺寸要求，其工作台由第一驱动器件带动自动定位至设定位置，经由开凿器件进行圆槽开凿工作，其操作简单，开凿圆槽效果好。
- 自动开凿装置
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