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- [发明专利]一种气浴装置和光刻机-CN201910310384.X在审
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刘伟
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上海微电子装备(集团)股份有限公司
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2019-04-17
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2020-10-27
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G03F7/20
- 所述气浴装置用于向所述运动件吹送气体,所述气浴装置包括供气单元、至少一个气体调节单元和控制单元,所述供气单元用于提供气体,所述气体调节单元用于吹送所述气体,且所述气体调节单元吹送所述气体的方向可调节,所述控制单元用于控制所述气体调节单元实时调节所述气体调节单元吹送所述气体的方向,以使所述气体调节单元吹送所述气体的方向随着运动件位置的变化而实时变化,从而使运动件能被气体调节单元吹送的气体实时覆盖,可在减少气体调节单元的面积的情况下使运动件能被气体调节单元吹送的气体实时覆盖,简化气浴装置的体积,且便于调节气体调节单元吹送气体方向,提高维护和调整效率。
- 一种装置光刻
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