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- [发明专利]一种反铁磁隧道结及其制备方法-CN202310332044.3在审
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刘知琪;冯泽鑫
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北京航空航天大学
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2023-03-31
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2023-05-02
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H10N50/10
- 本申请公开了一种反铁磁隧道结及其制备方法,首先在单晶硅晶圆上沉积绝缘氧化物层,然后在绝缘氧化物层上沉积共线反铁磁钉扎层,随后在共线反铁磁钉扎层上依次沉积非共线反铁磁参考层、隧穿层和非共线反铁磁自由层,结合光刻工艺,最终在硅晶圆上实现具有绝缘氧化层‑共线反铁磁钉扎层‑非共线反铁磁参考层‑隧穿层‑非共线反铁磁自由层的全反铁磁隧道结,由于绝缘氧化物层为单晶膜层,因此能够提高共线反铁磁钉扎层的质量,增大非共线反铁磁参考层和共线反铁磁钉扎层之间的交换偏置作用,提高器件可靠性,同时,该反铁磁隧道结可在硅晶圆上大规模制备,易于集成,具有写入速度快、存储密度高的优势。
- 一种反铁磁隧道及其制备方法
- [发明专利]磁隧道结存储单元及存储器-CN201911117972.8有效
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林晓阳;尉国栋;范晓飞;赵巍胜
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北京航空航天大学
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2019-11-15
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2021-08-27
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H01L43/08
- 本发明提供一种磁隧道结存储单元及存储器。该磁隧道结存储单元包括:顶端电极、铁磁自由层、隧穿层、铁磁参考层、相变层、铁磁被钉扎层、反铁磁钉扎层和底端电极;相变层位于铁磁参考层和铁磁被钉扎层之间,具有响应于外部温度变化或外部光照变化的相变特征;其中,铁磁被钉扎层具有固定的磁化方向;铁磁参考层位于相变层和隧穿层之间,具有响应于相变特征的变化的磁化方向;反铁磁钉扎层位于铁磁被钉扎层和底端电极之间,具有固定的磁化方向;铁磁自由层位于隧穿层和顶端电极之间,具有固定的磁化方向,可以在无磁环境下完成信息写入,降低了功耗和加工成本。
- 隧道结存单元存储器
- [实用新型]具有叠层铁磁层的钉扎薄膜-CN02293463.4无效
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2002-12-24
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2003-12-10
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H01F10/00
- 本实用新型涉及具有叠层铁磁层的钉扎薄膜,该钉扎薄膜包括一由硅或玻璃做成的基片和在基片上设置的一由Ta或(NiXFe100-X)YCr100-Y,其中77<X<83,50<Y<70做成的缓冲层、一第二铁磁层及设在其上的一防止第二铁磁层表面氧化的保护层,还包括:一诱导反铁磁层形成(111)织构的引导层,设于缓冲层上,该引导层具有(111)织构;一由Mn原子百分含量为55%至70%的锰合金做成的反铁磁层,设于引导层上,该反铁磁层具有(111)织构;一由Ni、NiXFe100-X、或CoYFe100-Y,其中77<X<83,87<Y<93做成的第一铁磁层,设于反铁磁层上;及一由该第一铁磁层氧化而成的纳米氧化层,设于第一铁磁层和第二铁磁层之间;本实用新型的钉扎薄膜的反铁磁层厚度明显减薄,钉扎场更大,而且还实现了Ni-Mn对Co-Fe的钉扎。
- 具有叠层铁磁层薄膜
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