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[发明专利]半导体结构及其形成方法-CN201611112156.4有效
发明人：张城龙 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2016-12-02 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法，所述形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成多个栅极结构，所述栅极结构上具有掩膜层；在所述栅极结构之间形成介质层；在所述介质层和所述掩膜层上保形覆盖至少一层刻蚀停止层；在所述刻蚀停止层上形成层间介质层；以所述刻蚀停止层为停止层刻蚀位于栅极结构之间的所述层间介质层，形成第一开口，去除所述第一开口底部的所述刻蚀停止层，露出所述掩膜层和所述介质层；去除第一开口底部的介质层形成露出栅极结构之间衬底的第二开口本发明技术方案中，有利于减少在形成第二开口的过程中掩膜层的损耗，有利于改善肩部损失问题，有利于提高所形成半导体结构的性能。
半导体结构及其形成方法

[发明专利]用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘-CN201810250307.5有效
发明人：赵毅;孙影;刘立宁 -专利权人：吉林大学
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明旨在解决传统真空镀膜机不能实现在光纤等柱型基片上均匀生长材料的问题，公开了一种用于在柱型基片上均匀蒸镀材料的镀膜机的上法兰盘，包括一个圆盘状的法兰盘主体，法兰盘主体上有一个放气阀，还包括转动机构、组合夹具机构和掩膜机构，一个电源与转动机构中的电机连接，电机固定在法兰盘主体的上表面上；组合夹具机构用于固定柱型基片的位置，通过电机带动夹具旋转，进而实现柱型基片的匀速旋转，通过旋转旋钮来调节掩模板的位置，选择需要的掩膜，本发明的转动机构可以使柱型基片绕其中心轴旋转，包含多个掩膜的掩膜板可以制备出完整并均匀的器件，并且避免了开仓对器件造成的污染和多次抽真空带来的时间上的浪费。
柱型法兰盘主体转动机构镀膜机上法兰盘蒸镀材料组合夹具掩膜夹具传统真空电机带动电机固定电机连接生长材料旋转旋钮掩膜机构匀速旋转抽真空放气阀固定柱上表面掩模板掩膜板圆盘状中心轴开仓制备电源光纤污染

[发明专利]一种基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法-CN201711100012.1有效
发明人：刘会聪;杨湛;陈涛;孙立宁 -专利权人：苏州大学
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L41/113 文献下载
摘要：本发明涉及微能量采集技术领域，且公开了一种基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法，所述微能量采集器包括上电极、下电极、硅固定基座、压电悬臂梁、质量块；所述压电悬臂梁的一端固定连接在所述硅固定基座的内侧壁上，并向与所述内侧壁相对的另一侧内侧壁延伸；所述压电悬臂梁的另一端固定连接悬空的所述质量块；所述上电极和所述下电极形成于硅固定基座上，且所述压电悬梁臂且所述上电极覆盖在所述压电悬梁臂上。本基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法具备可以使压电厚膜的压电性能大大提升，也可以制备出压电厚膜，而且可制备器件结构更加的多样化和复杂化更高等优点。
一种基于压电 mems 工艺能量采集及其制备方法

[发明专利]OLED显示面板、OLED显示面板的制造方法及显示装置-CN201710712892.1有效
发明人：宋振;王国英;刘凤娟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L27/32 文献下载
摘要：该OLED显示面板，包括对盒设置的盖板和背板，其中：所述盖板上阵列排布有多个彩膜单元，且各彩膜单元之间的间隙均填充有辅助阴极，所述辅助阴极包括依次形成于盖板上的黑矩阵、缓冲层和金属层；所述辅助阴极和彩膜单元上形成有平坦层，且所述平坦层对应所述辅助阴极处具有多个开孔；所述平坦层上对应所述辅助阴极处形成有多个隔垫物，且所述隔垫物抵接支撑于所述盖板和背板之间；形成于所述平坦层和隔垫物上的透明电极层，所述透明电极层通过至少部分所述开孔与辅助阴极连通；所述盖板的彩膜层和所述背板的像素区相对设置。
oled 显示面板制造方法显示装置

[发明专利]一种超微型半导体致冷器件的制作工艺-CN201710505937.8有效
发明人：赵丽妍 -专利权人：秦皇岛富连京电子股份有限公司
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： H01L35/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种超微型半导体致冷器件的制作工艺，包括以下步骤：步骤S1、将喷有金属镀层的晶片粘接在蓝膜上，再对晶片划切成晶粒，以及使用扩膜机对蓝膜及其上粘接着的晶粒扩展，并将扩展后蓝膜背向晶粒一侧面置于模具上；步骤S2、利用排片机上的吸头将步骤S1得到模具上晶粒吸起，并放置到瓷片指定位置；步骤S3、将步骤S2得到的瓷片放置在返修台的加热台上，将另一个瓷片与步骤S2得到的瓷片对齐并贴附压紧，再启动加热台进行加温焊接
一种微型半导体致冷器件制作工艺

[发明专利]一种晶圆级扇出型堆叠封装工艺方法-CN201710702492.2有效
发明人：姚大平;宋涛 -专利权人：华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
申请日： 2017-08-16 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：一种晶圆级扇出型堆叠封装工艺方法，包括如下步骤：在透光临时基板上的高温键合胶层上贴附一层干性光阻膜；在所述干性光阻膜上形成多个直通高温键合胶层的盲孔；在所述干性光阻膜固化后，在所述盲孔内植入导电金属柱；在所述干性光阻膜表面贴装裸芯片；整体注塑并对塑封体的表面进行磨削直至将所述裸芯片的焊垫完全暴露；在所述塑封体的磨削面上制作用于连接所述导电金属柱和裸芯片的重布线层，所述重布线层上设置有通过植球和回流焊得到微凸点
一种晶圆级扇出型堆叠封装工艺方法

[发明专利]微型LED显示面板的制备方法和微型LED显示面板-CN201910364349.6有效
发明人：樊腾;邢汝博;韦冬;郭恩卿;孙建明 -专利权人：成都辰显光电有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：其中，微型LED显示面板的制备方法包括：在第一衬底上形成掩膜层，并在掩膜层上形成呈阵列排布的开孔；在每个开孔处生长LED外延结构；在掩膜层靠近LED外延结构的一侧，形成与每个LED外延结构中的第二类型半导体层对应电连接的第二电极；将LED外延结构转移到第二衬底上；剥离第一衬底；在掩膜层远离LED外延结构的一侧，形成与每个LED外延结构中的第一类型半导体层对应电连接的第一电极；将LED外延结构通过第一电极邦定至目标基板上；剥离第二衬底
微型 led 显示面板制备方法

[发明专利]基于阳极氧化铝模板的宽谱减反膜及其制备方法-CN201910136820.6有效
发明人：刘昌;李慧;吴昊;张恒 -专利权人：武汉大学
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C25D11/04 文献下载
摘要：本发明提供一种基于阳极氧化铝模板的宽谱减反膜及其制备方法，能够实现宽谱范围内高效率的减反。本发明所涉及的制备方法，其特征在于，包括：步骤1.通过电化学氧化方式对经氧化铝片后得到的AAO模板进一步深度氧化扩孔，使AAO模板上形成多个聚集体单元，每个聚集体单元均为多孔结构，得到具有聚集体单元的AAO模板；步骤2.通过旋涂方式在具有聚集体单元的AAO模板上形成一层保护膜；步骤3.腐蚀去除背部的铝基底，得到自独立的AAO模板；步骤4.将自独立的AAO模板转移到衬底上，用溶剂去除保护膜，得到形成有多个团簇状聚集单元的AAO模板；步骤5.在具有团簇聚集单元的AAO模板上沉积纳米颗粒，得到宽谱减反膜。
聚集体宽谱制备阳极氧化铝模板保护膜去除团簇电化学氧化多孔结构纳米颗粒深度氧化氧化铝片高效率用溶剂沉积衬底扩孔铝基旋涂腐蚀

[发明专利]盖板结构及其制作方法、显示面板、显示装置-CN201910372058.1有效
发明人：罗程远 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：该一种盖板结构可包括彩膜单元及辅助电极单元，所述彩膜单元包括封装盖板、形成在所述封装盖板上的黑矩阵和彩膜层、以及覆盖所述黑矩阵和所述彩膜层的平坦层；所述辅助电极单元包括形成在所述平坦层的与所述黑矩阵对应的位置上的第一间隔柱、覆盖所述第一间隔柱的第一辅助电极、形成在所述第一辅助电极上并与所述第一间隔柱对应的第二间隔柱、以及覆盖所述第二间隔柱的第二辅助电极，所述第二辅助电极用于与阵列基板上的顶电极接触。
盖板结构及其制作方法显示面板显示装置

[发明专利]一种移动加电式电压信号检出机构-CN201811525701.1有效
发明人：程倍勇 -专利权人：程倍勇;烟台科思摩思电机有限公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种移动加电式电压信号检出机构，包括载体单元，载体单元上设有印刷电阻膜，载体单元上还设有与印刷电阻膜形成接通关系的无电阻导电膜；第一电刷单元，第一电刷单元上设有第一电刷组，第一电刷单元通过第一电刷组与载体单元相对滑动，第一电刷组形成有电刷间隔段；第二电刷单元，第二电刷单元上设有第二电刷组，第二电刷单元通过第二电刷组与载体单元相对滑动，第二电刷组穿过电刷间隔段与载体单元接触，第二电刷组相对滑动于第一电刷组形成的电刷间隔段中本发明避免了电压位置不变，电刷始终在特定位置极少范围内来回滑动而造成局部磨损严重，能够用于具有检出电阻体膜表面特定位置的电压产品，使用寿命长，成本低，灵活性强。
一种移动加电式电压信号检出机构

[发明专利]一种用于膜切的激光加工控制方法-CN202010734166.1有效
发明人：靳超凡;张华华;肖成柱 -专利权人：深圳市睿达科技有限公司
申请日： 2020-07-27 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B23K26/0622 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于膜切的激光加工控制方法，该方法的具体步骤为：S1：调节激光器的激光控制信号，使激光控制信号保持在高电平脉冲宽度恒定的状态，从而保证激光器的每次出光的能量相同；S2：根据膜切的轨迹，确定激光照射的位置，将激光照射的位置设置为均匀间隔的；S3：按照均匀间隔的激光照射的位置出射激光，使切割轨迹上的激光能量是均匀分布的。通过将激光控制信号保持在高电平脉冲宽度恒定的状态，保证了激光器每次出光的能量相同；通过将膜切轨迹上的激光照射的位置设置为均匀间隔的，在每个激光照射的位置上均照射后相同能量的激光后，可保证膜切轨迹上激光能量是均匀分布的
一种用于激光加工控制方法

[发明专利]一种公路工程施工用铺膜装置-CN202010849136.5有效
发明人：乔云刚 -专利权人：乔云刚
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： E01C23/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种公路工程施工用铺膜装置，包括移动载具、设置在移动载具上的卷膜装置和前清装置，所述移动载具一端还设置有压模紧固装置，以及控制本装置的自控系统；所述移动载具包括载具基板，所述载具基板上开设有第一基槽所述第一基槽一侧还开设有第二基槽，第一基槽和第二基槽均贯穿载具基板；所述载具基板底部固定连接有四个支撑脚，支撑脚底部均设置有滚轮；本发明在工作时通过电机一驱动丝杠，将滑动块向下移动，从而带动卷轴一往下，露出卷轴一及其膜；之后将膜从卷轴一上拖出；在陷钉槽中放置若干卡进钉；按下启动键后，移动底块通过电机二控制其在移动滑槽上滑动。
一种公路工程施工用铺膜装置

[发明专利]透明显示屏及其安装方式-CN202010387989.1有效
发明人：张有林;石德香;曹康 -专利权人：合肥达视光电科技有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： G09F9/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明显示屏及其安装方式，涉及显示屏领域，包括保护层、显示层、电源盒，保护层包括PC板、外保护膜、内保护膜和胶膜，保护层上设有若干个灯孔，显示层包括特殊透明基材PCBA、后保护膜和信号控制板，特殊透明基材PCBA上设有若干个灯珠，信号控制板和PC板与特殊透明基材PCBA之间均设有若干个端子连接器，特殊透明基材PCBA上位于每个灯珠的旁侧均设有透明基材PCBA排气孔，保护层上针对每个透明基材PCBA排气孔均设有与其对应的灯珠排气孔，保护层、特殊透明基材PCBA和内保护膜上均设有若干个透气孔。
透明显示屏及其安装方式

[发明专利]一种具有空气净化功能的家庭服务机器人-CN201911117464.X有效
发明人：张凤洲 -专利权人：河源市勇艺达科技有限公司
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有空气净化功能的家庭服务机器人，包括本体，本体内部设有空腔，本体一侧设有开口，开口内转动连接盖板，本体内固定连接横板，横板与盖板之间固定连接弹性膜，弹性膜上侧放置活性炭颗粒，盖板的转轴端头固定连接第一齿轮，本体的壳体内转动连接惰轮，本体的壳体上设有滑孔，滑孔内滑动连接齿条，齿条伸入本体内部的一端固定连接支撑杆，支撑杆挤压在弹性膜底部。本发明通过支撑杆随之将弹性膜上的活性炭颗粒往外推送，在推送的过程中，第一橡胶杆受第二橡胶杆阻挡后逐渐弯曲，在第二橡胶杆弯曲到一定限度后，第一橡胶杆脱离第二橡胶杆的束缚后弹性回摆，对活性炭颗粒产生冲击振动，排除活性炭颗粒上附着的灰尘。
一种具有空气净化功能家庭服务机器人

[发明专利]一种浅沟槽隔离结构的制造方法-CN202011019947.9有效
发明人：林子荏;杨智强;林政纬;林祐丞 -专利权人：南京晶驱集成电路有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：所述制造方法包括：于一衬底上形成一硬式掩膜层，并刻蚀形成浅沟槽，所述硬式掩膜层包括垫氧化层和位于所述垫氧化层上的垫氮化层；于所述浅沟槽内和所述硬式掩膜层上形成一阻挡层；使用第一干刻蚀制程刻蚀所述阻挡层的一部分，直至停止在所述垫氮化层；使用第二干刻蚀制程以纵向和侧向刻蚀所述硬式掩膜层及剩余阻挡层的一部分，直至停止在所述衬底上，而形成带有圆角的浅沟槽，所述第二干刻蚀制程采用的偏置功率为0~98W；使用第三干刻蚀制程移除所述带有圆角的浅沟槽中剩余的阻挡层
一种沟槽隔离结构制造方法