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- [发明专利]晶圆轮廓图的构造方法-CN201911211570.4有效
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武志鹏;李璟;王丹;谢冬冬;齐威;陈进新;胡丹怡
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中国科学院微电子研究所
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2019-11-29
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2022-02-25
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G01B11/06
- 一种晶圆轮廓图的构造方法,该方法包括根据晶圆属性信息及晶圆上Die的属性信息,绘制初始晶圆高度轮廓图,其中,晶圆属性信息包括晶圆的尺寸及方向,Die的属性信息包括Die的数量、尺寸及几何分布;在初始晶圆高度轮廓图中确定晶圆的原点,以原点建立晶圆平面内的坐标系,得到晶圆上各Die的位置坐标;对晶圆按照预设顺序进行扫描,得到晶圆的高度轮廓信息,其中高度轮廓信息包括晶圆上各Die的高度信息及位置坐标;根据位置坐标,将各Die的高度信息添加至初始晶圆高度轮廓图中,生成晶圆轮廓图。该方法可通过三维图形化和数字化的方式,将已获得的晶圆高度信息进行可视化展示,并且可直接将Die与Die的差异展示出来。
- 轮廓构造方法
- [实用新型]一种新型柱式轮廓标-CN201920297337.1有效
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庄培川
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福建省培联交通工程有限公司
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2019-03-08
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2020-05-01
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E01F9/535
- 一种新型柱式轮廓标,其结构包括高度可调节装置、固定底座、安装孔、转动盘、转动柄、柱式轮廓标体、反光片安装套、反光片、固定螺栓、嵌入槽,高度可调节装置焊接于固定底座上端,固定底座与安装孔为一体化结构,转动盘设于高度可调节装置外壁并且通过转动的方式相连接,转动柄设于转动盘正端面并且通过固定安装的方式相连接,柱式轮廓标体设于高度可调节装置上端并且通过活动的方式相连接,柱式轮廓标体贯穿于反光片安装套并且通过固定安装的方式相连接,在移动过程中,螺杆通过推动板带动柱式轮廓标体进行高度调节,固定卡块用于对柱式轮廓标体的固定,设有可进行高度调节的结构,有助于增大柱式轮廓标安装工作的便利性。
- 一种新型轮廓
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