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- [发明专利]一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备-CN201510672927.4在审
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杜建华;王灿;何晓龙;孙雪菲
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京东方科技集团股份有限公司
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2015-10-16
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2015-12-16
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C23C14/34
- 本发明涉及显示设备制造领域，公开一种溅镀设备的靶材更换装置及溅镀设备，靶材更换装置包括，支架；安装于支架上的安装轴；套设于安装轴外侧、且可绕安装轴的轴心线旋转的靶材安装体，靶材安装体具有至少两个用于安装靶材的靶材安装面，当靶材安装体绕安装轴的轴心线旋转时，每一个靶材安装面可在工作状态朝向和闲置朝向之间切换；用于驱动靶材安装体绕安装轴的轴线旋转的第一驱动机构，在需更换靶材时，可通过第一驱动机构驱动靶材安装体旋转，进而将安装于靶材安装体的靶材安装面上的所需靶材由闲置朝向切换至工作状态朝向，进而使所需靶材参与工作，切换靶材的过程不需打开腔室，节省了打开腔室和抽取真空的时间，提高了生产效率。
- 一种设备更换装置
- [发明专利]中子捕获治疗系统-CN202211141397.7在审
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刘渊豪;林峻霆
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中硼（厦门）医疗器械有限公司
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2022-09-20
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2023-03-31
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H05H6/00
- 本发明提供一种中子捕获治疗系统，包括带电粒子束生成部、射束传输部和中子束生成部，所述中子束生成部包括靶材，所述靶材与所述带电粒子束生成部产生的带电粒子束作用产生中子束，所述中子捕获治疗系统还包括带电粒子束生成室和靶材更换室，所述带电粒子束生成室至少部分容纳所述带电粒子束生成部和所述射束传输部，所述靶材更换室用于安装所述靶材并且使得所述射束传输部穿过所述靶材更换室，所述靶材更换室在射束传输路径上形成于所述带电粒子束生成部之后并且不同于所述带电粒子束生成室通过设置靶材更换室进行靶材的安装，可以对靶材更换室内的环境进行设置，避免了安装过程中靶材的氧化或氮化，操作简单、成本较低。
- 中子捕获治疗系统
- [实用新型]中子捕获治疗系统-CN202222481624.2有效
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刘渊豪;林峻霆
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中硼（厦门）医疗器械有限公司
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2022-09-20
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2023-02-14
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H05H6/00
- 本实用新型提供一种中子捕获治疗系统，包括带电粒子束生成部、射束传输部和中子束生成部，所述中子束生成部包括靶材，所述靶材与所述带电粒子束生成部产生的带电粒子束作用产生中子束，所述中子捕获治疗系统还包括带电粒子束生成室和靶材更换室，所述带电粒子束生成室至少部分容纳所述带电粒子束生成部和所述射束传输部，所述靶材更换室用于安装所述靶材并且使得所述射束传输部穿过所述靶材更换室，所述靶材更换室在射束传输路径上形成于所述带电粒子束生成部之后并且不同于所述带电粒子束生成室通过设置靶材更换室进行靶材的安装，可以对靶材更换室内的环境进行设置，避免了安装过程中靶材的氧化或氮化，操作简单、成本较低。
- 中子捕获治疗系统
- [发明专利]溅射装置和溅射装置的维护方法-CN201480054423.X在审
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梨木智刚;滨田明
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日东电工株式会社
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2014-10-10
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2016-05-18
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C23C14/00
- 在溅射装置的靶材更换、阴极清扫过程中，能够两个人以上同时进行作业，无需高处作业且以靶材朝上的状态更换靶材。使阴极台车(19)移动而将靶材(17)和阴极(18)取出到真空槽(11)外。使阴极旋转机构(24)工作而以使靶材(17)朝上的方式使靶材(17)和阴极(18)旋转。使阴极滑动机构(25)工作而使高处的靶材(17)和阴极(18)向低处移动。将旧的靶材(17)从阴极(18)拆下来，并且将新的靶材(17)安装到阴极(18)。使靶材(17)和阴极(18)返回到原来的高度。使靶材(17)和阴极(18)沿着原来的方向返回。使靶材(17)和阴极(18)返回到真空槽(11)内。
- 溅射装置维护方法
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