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[发明专利]易于拆卸的致动传递组件和具有其的变形镜-CN201310701505.6有效
发明人：黄磊;巩马理;闫平;柳强;张海涛;闫海波 -专利权人：清华大学
申请日： 2013-12-18 - 公布日： 2014-03-19 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种易于拆卸的致动传递组件和具有其的变形镜，所述易于拆卸的致动传递组件包括：基座，基座上设有多个致动通道；固定圈，固定圈安装在致动通道内；上推进器，上推进器的上端设有上凸台；下推进器，下推进器与上推进器可拆卸地相连，下推进器与上推进器可上下移动地安装在固定圈内，下推进器的下端设有下凸台；弹性件，弹性件止抵在下凸台的上表面与固定圈的下表面之间；致动组件，致动组件可活动地安装在致动通道内以使上推进器和下推进器在上下方向上运动；以及适于与变形镜镜体相连的连接头，连接头可拆卸地安装在上推进器的上端。根据本发明实施例的易于拆卸的致动传递组件，上推进器与连接头可分离，使镜体在拆卸时不受损坏。
易于拆卸传递组件具有变形

[发明专利]光偏转器的驱动器及其设定方法-CN201210077887.5有效
发明人：四十物孝宪 -专利权人：斯坦雷电气株式会社
申请日： 2012-03-22 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：提供了光偏转器的驱动器及其设定方法。光偏转器包括：反射镜；可动框，其用于支承反射镜；支承体，其包围可动框；以及第一组压电致动器和与第一组压电致动器交替的第二组压电致动器。压电致动器从支承体连接到可动框。驱动器将具有相同波形的第一原始锯齿波和第二原始锯齿波组合为第一锯齿波。驱动器将具有第一锯齿波的第一驱动电压施加到第一组压电致动器。驱动器将具有与第一锯齿波相位相反的第二锯齿波的第二驱动电压施加到第二组压电致动器。第一原始锯齿波和第二原始锯齿波之间的相位差为预定值，以抑制取决于压电致动器的、反射镜关于它的轴的机械振动系统的固有频率与反射镜的频率的一致。
偏转驱动器及其设定方法

[发明专利]自动对焦镜头模组-CN200910307907.1无效
发明人：廖家宏 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-09-29 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：一种自动对焦镜头模组，其包括镜筒、镜座、弹性件和压电致动器，所述压电致动器具有沿所述镜座轴向的形变量，所述弹性件分别与所述镜筒和镜座相连接以使所述镜筒悬吊在所述镜座内，所述镜筒外壁径向延伸形成至少一个支柱，所述压电致动器设置在所述镜座内且与所述支柱相接触用以驱动所述镜筒在所述镜座内轴向运动。
自动对焦镜头模组

[发明专利]压电指向装置-CN202310161839.2在审
发明人： G·埃古里;A·吉格纳伯特;E·贝奇;A·贝德克;N·布尔杰奥特;F·克雷森 -专利权人：锡德雷特技术公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种压电装置，包括固定框架(1)和镜支架(4)，该镜支架限定固定镜(5)的多个支撑点(4a)。镜支架(4)安装成可旋转的。多个压电致动器(2)固定到支撑件(1)，并且在第一方向(AA)上独立地平移变形。每个压电致动器(2)移动镜支架(4)的支撑区域。镜支架(4)限定多个附接点。每个附接点(4b)将镜支架(4)与压电致动器(2)机械连接。支撑点(4a)和附接点(4b)彼此不同。镜支架(4)限定多个挠曲区域(4d)。支撑点(4a)可相对于彼此移动。以推拉模式提供的压电致动器(2)驱动支撑点(4a)，使镜(5)垂直于第一方向(AA)旋转。
压电指向装置

[发明专利]MEMS扫描镜及其驱动方法、激光投影仪-CN202011631824.0有效
发明人：林育菁;宮島博志;畠山庸平 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS扫描镜及其驱动方法、激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜，用于驱动反射镜关于反射镜第一轴以第一频率偏转的第一压电致动器，用于驱动反射镜关于反射镜第二轴以第二频率偏转的第二压电致动器，第一轴垂直于第二轴，以及驱动电路，第一频率远小于第二频率，第一压电致动器与第二压电致动器共用电极和对应的布线，驱动电路生成叠加有第一驱动频率的第一信号和第二驱动频率的第二信号的第一驱动信号及叠加有第一驱动频率的第三信号和第二驱动频率的第四信号的第二驱动信号，第一驱动频率远小于第二驱动频率，并施加到第一压电致动器和第二压电致动器。该实施方式可减少MEMS扫描镜布设的电极和线的数量。
mems 扫描及其驱动方法激光投影仪

[发明专利]法布里‑珀罗干涉仪及其生产方法-CN201380036359.8有效
发明人：塔帕尼·安蒂拉;尤西·梅克伊嫩;克里斯特·霍尔姆隆德;亚尔科·安蒂拉;于尔基·奥利拉;海基·萨里 -专利权人： VTTOY技术研究中心
申请日： 2013-05-08 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： G01J3/26 文献下载
摘要：更具体地，本发明涉及利用诸如压电致动器、电致伸缩致动器或挠曲电致动器的一个或几个致动器的可控的法布里‑珀罗干涉仪。在现有技术中，在实现反射镜之间足够小且均匀的间隙方面存在问题。在本发明中，中间结构(85a，85b，95a，95b，81a，81b，91a，91b，98a，98b)被用在反射镜与致动器之间或两个反射镜之间使用。生产的方法还包括在几个阶段中测量间隙的宽度分布，并且提供致动器的预启动。
法布里干涉仪及其生产方法

[发明专利]微镜器件及光扫描装置-CN202210372560.4在审
发明人：青岛圭佑;冈田耕 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提供一种微镜器件及光扫描装置，它们小型且在气体中能够加大反射镜部的偏转角。微镜器件具备：可动部，具有形成有反射入射光的反射面的反射镜部；第1支承部，在位于反射镜部静止时包含反射面的平面内的第1轴上与可动部连接，且将可动部支承为能够围绕第1轴摆动；及第1致动器，其为与第1支承部连接且隔着第1轴对置的一对第1致动器，且为使可动部围绕第1轴摆动的压电驱动方式的第1致动器，在可动部围绕第1轴摆动时，第1致动器中的至少一部分以与可动部逆相位围绕第1轴摆动，当将第1致动器的转动角度相对于可动部的转动角度之比设为
器件扫描装置

[发明专利]光学装置、投影光学系统、曝光装置以及物品制造方法-CN201710029635.8在审
发明人：崔长植 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2017-01-16 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明减小了当镜的形状变形时镜上产生的温度分布。光学装置包括镜，具有反射面和与所述反射面的相反侧的背面；底座；固定部件，固定于所述背面的一部分，以将所述镜固定在所述底座上；以及多个致动器，分别向所述背面施加力以使所述反射面的形状变化。其中，所述多个致动器包括多个第一致动器，分别向所述背面中的第一区域施加力，所述第一区域包围由所述固定部件固定的所述镜的固定部；以及多个第二致动器，分别向所述背面中的、包围所述第一区域的第二区域施加力。所述第一致动器的推力生成的效率比所述第二致动器的推力生成的效率高。
光学装置投影光学系统曝光以及物品制造方法

[发明专利]光束切换/调节装置及其制造方法-CN02826035.X无效
发明人：赤川圭一;铃木美彦;石津谷彻;铃木纯儿;车田克彦;金谷正敏;玉村敏昭 -专利权人：株式会社尼康;NTT电子株式会社
申请日： 2002-12-12 - 公布日： 2005-04-20 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
光束切换调节装置及其制造方法

[发明专利]用于光学投影系统中的薄膜可致动反射镜阵列-CN95196003.2无效
发明人：池政范;尹东善 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1995-07-11 - 公布日： 2000-11-22 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种Ｍ×Ｎ薄膜可致动反射镜阵列，包括一开关矩阵、－Ｍ×Ｎ对支持件的阵列，及一Ｍ×Ｎ致动结构阵列，其中该有源矩阵包括一基板和印刷在其上的第一、第二和第三导线图案，且各致动结构设有一对致动器和一对门致动器。该致动结构中的门致动器与该开关矩阵上的第一、第二和第三导线图案相结合，使得可以免除在该Ｍ×Ｎ薄膜可致动反射镜阵列中使用晶体管。
用于光学投影系统中的薄膜可致动反射阵列

[发明专利]微致动器位移及倾角测量装置及方法-CN202110882268.2有效
发明人：刘维新;唐宁;夏利东;左修辉 -专利权人：山东大学
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提出一种微致动器位移及倾角测量装置及方法。激光器谐振腔由固定腔镜和独立腔镜构成，在独立腔镜和激光增益管之间沿激光轴线倾斜放置镀增透膜的玻璃片，其表面反射两弱光束入射到致动器驱动的平面反射镜，折返后耦合回谐振形成分叉腔激光回馈。在致动器运动过程中，通过光电探测器接收并记录激光回馈形成的光强变化条纹，根据回馈条纹周期和包络特性，计算得到致动器的位移与倾角。本发明可以对微位移致动器在线性伸缩过程中的位移量和倾斜角同时进行测量，评估其性能指标。
微致动器位移倾角测量装置方法

[发明专利]具有光学开关的双模态机构-CN201680072453.2有效
发明人： J·D·哈拉克 -专利权人：金泰克斯公司
申请日： 2016-12-13 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B60R1/04 文献下载
摘要：公开一种车用镜组件。所述镜组件包括支撑托架、可操作地与所述支撑托架连接的玻璃元件以及致动器组件。所述致动器组件与所述支撑托架连接，其中所述致动器组件可调整以将所述玻璃元件倾斜到第一位置且倾斜到第二位置。阻尼器与所述致动器组件和所述支撑托架接合。所述阻尼器控制所述致动器组件的移动，所述移动对应于所述玻璃元件从所述第一位置到所述第二位置的移动。所述镜组件进一步包括被配置成检测所述致动器组件的位置的传感器。
具有光学开关双模机构

[发明专利]用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器-CN201810272481.X在审
发明人：凯文·Y·亚苏穆拉 -专利权人：谷歌有限责任公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本申请涉及用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器。一种微机电系统(MEMS)镜组件包括限定腔的基底基板和从腔的底部向上延伸的多个第一特征。MEMS镜组件包括耦接到基底基板并限定MEMS致动器和MEMS镜平台的镜基板。MEMS致动器的致动将MEMS镜平台从第一位置状态移动到第二位置状态。MEMS镜平台在MEMS镜平台的面向基底基板的一侧上限定多个第二特征，所述多个第二特征的尺寸、形状和位置使得当镜平台处于第二位置状态时，多个第二特征延伸到分隔多个第一特征的空间中。MEMS镜组件包括设置在MEMS镜平台的远离基底基板的一侧上的反射材料。
基底基板垂直阻尼第二位置组件包括致动器叉合微机电系统形状和位置第一位置反射材料向上延伸状态移动镜基板镜组件限定腔状态时分隔致动延伸申请

[发明专利]用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器-CN202211505989.2在审
发明人：凯文·Y·亚苏穆拉 -专利权人：谷歌有限责任公司
申请日： 2018-03-29 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本公开涉及用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器。一种微机电系统(MEMS)镜组件包括限定腔的基底基板和从腔的底部向上延伸的多个第一特征。MEMS镜组件包括耦接到基底基板并限定MEMS致动器和MEMS镜平台的镜基板。MEMS致动器的致动将MEMS镜平台从第一位置状态移动到第二位置状态。MEMS镜平台在MEMS镜平台的面向基底基板的一侧上限定多个第二特征，所述多个第二特征的尺寸、形状和位置使得当镜平台处于第二位置状态时，多个第二特征延伸到分隔多个第一特征的空间中。MEMS镜组件包括设置在MEMS镜平台的远离基底基板的一侧上的反射材料。
用于基于 mems 致动器垂直阻尼

[发明专利]扫描镜系统的衬底-CN202080057430.0在审
发明人： M·J·奈斯特罗姆;W·O·戴维斯;王锦程 -专利权人：微软技术许可有限责任公司
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种MEMS扫描镜系统包括具有陶瓷主体的衬底。致动器框架被安装在该衬底的该陶瓷主体上。该致动器框架包括至少一个可移动构件。至少一个致动器操作地被连接到该至少一个可移动构件，使得该致动器被配置为移动该至少一个可移动构件。扫描镜组件被安装到至少一个可移动构件，使得该至少一个可移动构件的移动使该扫描镜组件移动。
扫描系统衬底