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[发明专利]用于光学投影系统中的薄膜致动反射镜阵列及其制造方法-CN95192032.4无效
发明人： 池政范;闵雇基 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1995-03-02 - 公布日： 2001-10-31 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：一种用于光学投影系统中的M×N薄膜致动反射镜阵列包括一有源矩阵（52）、一M×N弹性部件（54）的阵列、一M×N对致动机构（59）的阵列、一M×N反射镜（62）的阵列及M×N对支持部件（60）的阵列。各弹性部件（54）具有一远端及一近端，该近端包括一第一及第二接头部分，该第一及第二接头部分由它们之间的一缩入所分开，该远端包括一凸出。该凸出从各弹性部件延伸入该阵列内一接连弹性部件的缩入内。各致动机构（57）分别位于各弹性部件（54）上的第一及第二接头部分上，其中各致动机构包括一偏置电极。一信号电极及它们之间的一运动感应层。各反射镜（51）形成在弹性部件（54）的顶上。各对支持部件（60）被用于将各弹性部件（54）固定就位。当该对致动机构（57）响应一电信号而发生变形时，该轮动机构（5）所附着的在该弹性部件（54）上的该第一及第二接头部分发生倾斜，而该弹性部件的其余部分，及形成在其顶上的反射镜保持为平的，从而允许所有反射镜反射光束。
用于光学投影系统中的薄膜反射阵列及其制造方法

[发明专利]薄膜驱动反射镜阵列及其制作方法-CN94113563.2无效
发明人： 池政范;闵雇基 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1994-12-31 - 公布日： 2001-06-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：Ｍ×Ｎ薄膜驱动反射镜阵列，包括一有源矩阵、一Ｍ×Ｎ驱动结构阵列、一Ｍ×Ｎ反射镜层阵列、及一Ｍ×Ｎ支持单元阵列。各驱动结构含有相同的第一、第二和第三驱动部分，各驱动部分至少有一移动源薄膜层、第一、第二电极。各第一电极与地连接，起偏置电极的作用，各第二电极起信号电极的作用。各反射镜层有奇数个翼片部分，各相邻翼片部分间有分割缝。第二驱动部分粘接在中央翼片上，第一和第三驱动部分分别粘接在中央翼片部分两侧的隔开一个翼片部分的翼片部分上。
薄膜驱动反射阵列及其制作方法

[发明专利]薄膜可驱动反射镜阵列-CN95104755.8无效
发明人： 池政范;金东局 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1995-04-28 - 公布日： 2001-04-04 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：制造用于光学投影系统的Ｍ×Ｎ薄膜可驱动反射镜阵列的方法，包括（ａ）在有源矩阵的顶部形成待除层；（ｂ）在待除层上形成Ｍ×Ｎ支持单元阵列；（ｃ）淀积弹性层；（ｄ）形成Ｍ×Ｎ个导体；（ｅ）淀积第二薄膜层；（ｆ）形成电致位移层；（ｇ）使弹性层、第二层和电致位移层形成图案，形成半完成可驱动反射镜结构阵列；（ｈ）对该阵列做热处理；（ｉ）在各半完成结构上淀积第一薄膜层，形成Ｍ×Ｎ可驱动反射镜结构阵列；（ｊ）用保护层覆盖各可驱动反射镜结构；（ｋ）去除保护层和待除层。$＃!
薄膜驱动反射阵列

[发明专利]改进的制造薄膜可致动反射镜阵列的方法-CN95105544.5无效
发明人： 池政范;崔泳畯 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1995-06-05 - 公布日： 2001-02-28 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：一种改进的生产Ｍ×Ｎ薄膜可致动反射镜阵列的方法，包括如下步骤提供具有平的顶面的基底；在其顶面上相继形成分离层、第一薄膜层、薄膜电致移位层、第二薄膜层、弹性层和薄膜待除层；对待除层形成Ｍ×Ｎ空槽阵列；在待除层顶上形成支承层；形成Ｍ×Ｎ导管阵列；在其上形成一个Ｍ×Ｎ半成品的可致动反射镜结构；将一个有源矩阵与其相连；去除分离层，在Ｍ×Ｎ半成品可致动反射镜阵列中形成可致动反射镜结构的图案；去除薄膜待除层；形成所需×阵列。$#!
改进制造薄膜可致动反射阵列方法

[发明专利]用于光学投影系统中的薄膜可致动反射镜阵列-CN95196003.2无效
发明人： 池政范;尹东善 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1995-07-11 - 公布日： 2000-11-22 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种Ｍ×Ｎ薄膜可致动反射镜阵列，包括一开关矩阵、－Ｍ×Ｎ对支持件的阵列，及一Ｍ×Ｎ致动结构阵列，其中该有源矩阵包括一基板和印刷在其上的第一、第二和第三导线图案，且各致动结构设有一对致动器和一对门致动器。该致动结构中的门致动器与该开关矩阵上的第一、第二和第三导线图案相结合，使得可以免除在该Ｍ×Ｎ薄膜可致动反射镜阵列中使用晶体管。
用于光学投影系统中的薄膜可致动反射阵列

[发明专利]用于一光学投影系统中的薄膜致动反射镜阵列及其制造方法-CN94194092.6无效
发明人： 池政范;金东局;闵雇基 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1994-11-01 - 公布日： 1999-12-29 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：一种用于光学投影系统中的Ｍ×Ｎ薄膜致动反射镜阵列，包括一有源矩阵（５２）、一Ｍ×Ｎ薄膜致动机构（５４）的阵列（５３），各薄膜致动机构包括至少一运动感应材料的薄膜层（６７），一对电极（７０，７１），各电极位于薄膜运动感应层（６７）的顶（６８）及底（６９）上，一Ｍ×Ｎ支持元件（５６）的阵列，各支持元件用于将各致动机构（５４）固定就位，使各致动机构伸出悬臂并使各致动机构与有源矩阵电连接，一Ｍ×Ｎ隔片元件（５８）的阵列，各隔片元件位于各致动机构（５４）远端的顶表面上，及一反射光束的Ｍ×Ｎ反射镜层阵列，各反射镜层固定在各致动机构的隔片元件上。在位于各致动机构中该对电极（７０，７１）间的运动感应材料的薄膜层（６７）上施加一电信号，使其发生变形，进而使固定在隔片元件上的反射镜层（６０）翘起。
用于光学投影系统中的薄膜反射阵列及其制造方法

[发明专利]薄膜致动反射镜阵列及其制造方法-CN94193967.7无效
发明人：金东局;池政范;李硕源 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1994-10-25 - 公布日： 1999-12-01 - 主分类号： H04N9/31 文献下载
摘要：提供有一种用于光学投影系统中的M×N薄膜致动反射镜的阵列，包括一有源矩阵；一Ｍ×Ｎ薄膜致动机构的阵列；各机构至少包括一运动感应材料的薄膜层、一对电极，各电极位于薄膜运动感应层的顶部及底部；一Ｍ×Ｎ支持元件的阵列；及一用于反射光束的Ｍ×Ｎ的反射镜的阵列，各反射镜位于各致动机构（５４）的顶部上。在运动感应材料的薄膜层上施加一电信号，使发生变形，从而使位于它们顶部上的反射镜变形。
薄膜反射阵列及其制造方法

[发明专利]薄膜致动的反射镜阵列及其制造方法-CN96105150.7无效
发明人： 池政范;闵庸基 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1996-05-09 - 公布日： 1997-09-24 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：一种薄膜致动的反射镜阵列，其中的致动结构包括弹性元件，一对导管，带有条纹的第二薄膜电极，薄膜电致偏移元件，和第一薄膜电极。其制造方法包括下述步骤制备有源原模；沉积薄膜牺牲层；在薄膜牺牲层中，产生许多对空槽阵列；沉积弹性层；沉积第二薄膜层；在第二薄膜层上产生条纹；沉积薄膜电致偏移层和第一薄膜层；摹制第一薄膜层，薄膜电致偏移层，第二薄膜层和弹性层，形成薄膜保护层；去除薄膜牺牲层和薄膜保护层。
薄膜反射阵列及其制造方法

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