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[发明专利]一种钨钛靶材与铜背板的钎焊方法-CN202010086052.0在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨钛靶材与铜背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钨钛靶材与铜背板的焊接面分别独立的进行表面喷砂处理；(2)分别独立地对钨钛靶材与铜背板喷砂处理后的焊接面进行镀镍处理；(3)钎焊连接进行镀镍处理后的钨钛靶材与铜背板，完成钨钛靶材与铜背板的钎焊焊接。本发明通过喷砂处理提高了焊接面的粗糙度，通过镀镍处理使钨钛靶材与铜背板进行有效结合，从而提高了钨钛靶材与铜背板的焊接效果。
一种钨钛靶材背板钎焊方法

[发明专利]氧化镍钨靶材及其制备方法-CN201910683264.4有效
发明人：孟政;余刚;代强;汪洪 -专利权人：中国建筑材料科学研究总院有限公司
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C04B35/495 文献下载
摘要：本发明是关于一种氧化镍钨靶材及其制备方法，其制备方法包括：将氧化镍粉磨,得到氧化镍颗粒；将氧化钨活化后粉磨，得到活化氧化钨颗粒；将所述的氧化镍颗粒和活化氧化钨颗粒混合均匀，压制，得到坯体；将所述的坯体烧结，得到氧化镍钨靶材；其中，所述的氧化镍颗粒与活化氧化钨颗粒的粒度比大于所述的氧化镍颗粒与活化氧化钨颗粒的摩尔比的1/3次方再乘以0.7。本发明通过建立粒度与摩尔比之间的关系，得到成分均匀、致密度高的电致变色用氧化镍钨靶材；氧化镍钨靶材具有一定的导电性，可使用直流或中频电源。
氧化镍钨靶材及其制备方法

[发明专利]钨靶坯结构的制造方法以及钨靶材组件的制造方法-CN201610718463.0在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;寿奉粮 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种钨靶坯结构的制造方法以及钨靶材组件的制造方法，所述钨靶坯结构的制造方法包括提供钨靶坯，所述钨靶坯具有焊接面；采用化学镀工艺，在所述钨靶坯焊接面上形成镍镀层。本发明采用化学镀工艺，在钨靶坯的焊接面上形成镍镀层，由于镍镀层材料与常用焊料之间具有良好的浸润性，因此利用所形成的镍镀层可以有效改善钨靶坯与其他材料的焊接性能，例如，可以提高钨靶坯与背板之间的结合力，使得钨靶坯与背板实现可靠结合，满足钨靶材组件长期稳定使用的需要。
钨靶坯结构制造方法以及钨靶材组件

[发明专利]一种改性钨镍合金靶材制备工方法-CN201610656528.3在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：苏州思创源博电子科技有限公司
申请日： 2016-08-12 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种改性钨镍合金靶材制备工方法，先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型，形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料，使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密，用物理气相沉积方法使靶材表面金属化改性，解决钨镍合金靶材表面金属化改性这一难题。
一种改性镍合金制备方法

[发明专利]一种改性钨镍合金靶材制备工方法-CN201611212399.5在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：青岛祥智电子技术有限公司
申请日： 2016-12-25 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种改性钨镍合金靶材制备工方法，先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型，形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料，使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密，用物理气相沉积方法使靶材表面金属化改性，解决钨镍合金靶材表面金属化改性这一难题。
改性混合粉末钨镍合金致密靶材表面金属化靶材坯料制备不锈钢不锈钢空心管冷等静压工艺热等静压工艺物理气相沉积预成型致密化

[发明专利]一种钨镍合金靶材加工方法-CN201610656587.0在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：苏州思创源博电子科技有限公司
申请日： 2016-08-12 - 公布日： 2016-11-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨镍合金靶材加工方法，先采用冷等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢空心管进行首次致密化和预成型，形成半致密的钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料，使后续的热等静压工艺对钨、镍混合粉末和不锈钢初始坯料可以进行更好的致密，以较好的对靶材的部分表面进行喷砂处理，同时不影响到靶材的其他不需要喷砂的部分。
一种镍合金加工方法

[发明专利]垂直磁记录介质中间层用镍基合金靶材及其制造方法-CN201010593582.0无效
发明人：丁照崇;朱晓光;蒋宇晖;刘书芹;董亭义;孙秀霖;白鸽玲;尚再艳 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研亿金新材料股份有限公司
申请日： 2010-12-09 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： C22C19/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种垂直磁记录介质中间层用镍基合金靶材，该镍基合金靶材的合金成分质量百分比为：钨15～35％，铬5～15％，其余为镍。靶材制造步骤包括：按靶材设计成分配比，分别称重纯度均为99.9％以上的Ni、W、Cr三种原材料，经真空感应熔炼并浇铸成铸锭；然后铸锭经热锻、冷轧、再结晶退火得到靶坯；最后，靶坯机经机加工，制造出成品靶材本发明工艺简单，成本低，适合工业化生产，所生产的镍钨铬合金靶材性能优良：靶材纯度99.9％以上，氧含量200ppm以内；合金成分波动控制在±0.5wt％；靶材相对密度高于99.5％；平均晶粒尺寸控制在50μm
垂直记录介质中间层用镍基合金及其制造方法

[发明专利]一种电致变色玻璃钨镍合金靶材及其制备方法-CN201510687988.8有效
发明人：罗永春;石煜;王志强 -专利权人：厦门映日新材料科技有限公司
申请日： 2015-10-22 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种电致变色玻璃钨镍合金靶材及其制备方法。首先将纯度为99.99%钨粉、纯度为99.9%镍粉，W粉和Ni粉装入高能球磨机充高纯Ar₂并以200-250r/min速度混合得到含钨镍合金粉；再使用冷等静压成形，加压制备得到钨镍坯体；将所得钨镍坯料装入真空烧结炉进行烧结；关闭真空烧结炉加热系统，随炉冷却至室温后方可出炉，得到总纯度＞99.9%、含镍质量比10%-50%的变色玻璃钨镍合金靶材。本发明环保，方法简单，能制备出组织均匀、高密度、高纯度的玻璃钨镍合金靶材。
一种变色玻璃镍合金及其制备方法

[发明专利]一种用于电致变色玻璃的金属靶材及其制备方法和应用方法-CN201910062099.0有效
发明人：杨懿;杨荣春 -专利权人：上海博译金属有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电致变色玻璃的金属靶材及其制备方法和应用方法。用于电致变色玻璃的金属靶材包括第一金属靶材和第二金属靶材，其中第一金属靶材为金属钨、钼、铌或钛中的一种；第二金属靶材包括质量比为1:0.05‑0.3:0.2‑0.26的镍、铬和氧化锂；其制备方法包括：第一金属靶材的制备方法为：将金属钨、钼、铌或钛中的一种采用热压或包套热等静压方式制作成靶材；所述第二金属靶材的制备方法为：将镍、铬和氧化锂混合，充分搅拌22‑26h，利用热压或热等静压的方式制作成靶材。本发明的用于电致变色玻璃的金属靶材具有成膜时间短，生产效率高，靶材制作难度低，适用于大规模生产的优点。
一种用于变色玻璃金属及其制备方法应用

[发明专利]一种钨镍合金靶材及其制备方法-CN201910955313.5有效
发明人：刘桂荣;王广达;弓艳飞;杨林;熊宁 -专利权人：安泰天龙钨钼科技有限公司;安泰科技股份有限公司
申请日： 2019-10-09 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨镍合金靶材的制备方法和该方法制备的钨镍合金靶材。该钨镍合金靶材的制备方法包括：原料配制步骤：将钨粉、镍粉进行混合处理，得到混合粉；压制成形步骤：将所述混合粉进行压制成形处理，得到预制坯；烧结步骤：将所述预制坯进行烧结处理，得到烧结坯料；热等静压处理步骤：将所述烧结坯料进行热等静压处理，得到热等静压坯料；热处理步骤：将所述热等静压坯料进行热处理，之后快速冷却，得到钨镍合金靶材。本发明采用首先低温烧结，然后热等静压工艺进行致密化处理，钨镍合金靶材的致密度达到99.8％以上、且各向同性，钨相平均粒度小于30微米，可广泛应用于玻璃镀膜方面。
一种镍合金及其制备方法

[发明专利]一种钨镍合金靶材的制备方法-CN202110604312.3在审
发明人：张灵杰 -专利权人：洛阳科威钨钼有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨镍合金靶材的制备方法，包括选取钨粉和镍粉或者与其它金属元素形成的多组元合金粉末粉末过筛处理的步骤、冷等静压步骤、烧结步骤、校直加工步骤、退火处理步骤、机加工步骤、洁净处理步骤，制得高钨镍合金靶材，本发明采用低温烧结和锻造工艺，实现高致密性、组织均匀、力学性能良好的钨镍合金靶材的制备，可广泛应用于玻璃镀膜、高速动能武器等领域。
一种镍合金制备方法

[发明专利]一种钨靶材焊接方法及钨靶材组件-CN201810364276.6在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;吴豪杰 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种钨靶材焊接方法及钨靶材组件，涉及半导体制造技术领域。所述钨靶材焊接方法首先对钨靶材和铜背板进行焊接前加工及清洗，在所述钨靶材和所述铜背板中间放置焊料引流件，再利用钎焊工艺对所述钨靶材和所述铜背板进行钎焊接后获得钨靶材组件，对所述钨靶材组件进行冷却。所述钨靶材焊接方法在焊接前在所述钨靶材和所述铜背板间放置焊料引流件，保证了焊料的在所述钨靶材和所述铜背板间的均匀分布，提高了焊缝均匀性、焊接成功率以及焊接稳定性。
钨靶材焊接铜背板焊料引流件半导体制造技术钎焊工艺焊缝均匀性再利用成功率冷却清洗加工保证

[发明专利]掺杂氧化钨靶材及其制备方法-CN201910683562.3有效
发明人：孟政;余刚;代强;汪洪 -专利权人：中国建筑材料科学研究总院有限公司
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： C04B35/495 文献下载
摘要：本发明是关于一种掺杂氧化钨靶材及其制备方法，其制备方法包括：将氧化钨活化并粉磨,得到活化氧化钨；将掺杂氧化物活化并粉磨，得到活化掺杂氧化物，其中，所述掺杂氧化物为钛、镍、钽、铼、铱、钼、铌、硅、锡、锌、锆和锗中一种或多种组成的氧化物；将所述的活化氧化钨和活化掺杂氧化物混合均匀，压制，得到坯体；将所述的坯体烧结，得到掺杂氧化钨靶材；其中，所述的活化氧化钨与活化掺杂氧化物的粒度比与摩尔比的关系式如下：本发明通过建立粒度与摩尔比之间的关系，得到成分均匀、致密度高的电致变色用掺杂氧化钨靶材；掺杂氧化钨靶材具有一定的导电性，可使用直流或中频电源。
掺杂氧化钨及其制备方法

[发明专利]一种用于电致变色玻璃镀膜的钨镍合金靶材的制备方法-CN201510837446.4有效
发明人：白锋;黄丽枚;詹标;黄志民;彭福生 -专利权人：厦门虹鹭钨钼工业有限公司
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2017-09-19 - 主分类号： C23C14/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于电致变色玻璃镀膜的钨镍合金靶材的制备方法，包括如下步骤(1)按如下重量百分比称取各组分高纯钨粉25～55％、高纯镍粉25～55％和高纯三氧化钨粉10～25％；(2)将上述各组分置于V形混料器中混合均匀，得混合粉末；(3)将上述混合粉末置于真空热压烧结模具内，再装入真空热压烧结炉至1400～1500℃加压真空烧结保温100～150min，随炉冷却获得所述钨镍合金靶材。本发明的制备的钨镍合金靶材密度高、纯度高。
一种用于变色玻璃镀膜镍合金制备方法

[发明专利]钨靶材的制作方法-CN201110433274.6有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2011-12-21 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：一种钨靶材的制作方法，包括：提供钨靶材坯料；对所述钨靶材坯料表面进行机械加工；将所述机械加工后的所述钨靶材坯料放置入真空包套并抽真空；对真空包套内的钨靶材坯料进行锻造；对所述锻造后的真空包套内的钨靶材坯料进行压延采用本发明提供的钨靶材的制作方法，避免使用模具，避免在空气中对钨靶材坯料进行加工延展时出现裂缝和表面易氧化的问题，能够制作出内部组织结构均匀，晶粒大小符合溅射靶材要求的钨靶材，而且具有易加工、废品率低的优点，应用上述方法对大尺寸的钨靶材的制作更加需要。
钨靶材制作方法

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