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[实用新型]一种用于多层镀膜玻璃的镀膜装置-CN201520772083.6有效
发明人：何宇;陈功林;郑章国 -专利权人：四川宇光光学玻璃有限公司
申请日： 2015-10-08 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于多层镀膜玻璃的镀膜装置，包括镀膜床和输送辊轴，多个所述输送辊轴水平设置在所述镀膜床的上端，所述镀膜装置还包括镀膜喷射装置、固定座和环式滑轨，所述环式滑轨设置在所述镀膜床的上方，多个所述固定座均与所述环式滑轨固定连接，所述镀膜喷射装置与所述固定座可拆卸连接。本实用新型一种用于多层镀膜玻璃的镀膜装置通过在环式滑轨上安装多个镀膜喷头，并可向不同的镀膜喷头内输入不同的镀膜物质，通过环式滑轨的运动，可以在同一镀膜床上完成对镀膜玻璃的多层镀膜，生产效率较高，使用方便，不需要频繁的移动或更换镀膜玻璃或镀膜设备。
一种用于多层镀膜玻璃装置

[发明专利]镀膜装置和镀膜系统-CN202310213057.9在审
发明人：吴景扬;简昆峰;高维笛;林瓘丞;周宗震 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜装置和镀膜系统，镀膜装置包括镀膜腔体、镀膜单元和移动机构。镀膜腔体用于容纳待镀膜件。镀膜单元设于镀膜腔体内，镀膜单元包括靶材。镀膜腔体的安装部具有开口，靶材被配置为能够借助开口而向待镀膜件溅射靶原子。移动机构设于镀膜腔体内，移动机构用于移载待镀膜件，以使待镀膜件在移动过程中具有对位于镀膜单元的镀膜位置。其中，待镀膜件处于镀膜位置时，待镀膜件的待镀膜面朝向开口，且待镀膜面与开口所在的平面相平行。本申请中的镀膜装置，通过移动机构移载待镀膜件，待镀膜件在经过镀膜单元中安装部上的开口的过程中，待镀膜件的待镀膜面上各处的镀膜条件一致，提高了镀膜的镀率一致性，进而提高了镀膜的均匀性。
镀膜装置系统

[实用新型]一种真空镀膜设备-CN201921489499.1有效
发明人：杨玉飞 -专利权人：江阴慕达斯真空设备有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： B05B16/00 文献下载
摘要：本实用新型属于真空镀膜装置技术领域，尤其为一种真空镀膜设备，包括镀膜箱，所述镀膜箱上通过合页转动连接有箱门，所述镀膜箱的内部固定安装有隔板，所述镀膜箱的内部通过隔板分为第一镀膜室和第二镀膜室，所述隔板上开设有用于固定电子设备的固定孔，所述镀膜箱的顶部设置有用于给第一镀膜室和第二镀膜室充气的进气装置，所述镀膜箱的顶部设置有循环镀膜液的循环雾化装置。本实用新型通过第一镀膜室、第二镀膜室、循环雾化装置和进气装置的配合，将镀膜液雾化后在第一镀膜室和第二镀膜室之间进行循环从而对电子设备的内部进行镀膜，可以提高了对电子设备内部的镀膜效果，减少了镀膜次数，提高了镀膜效率
一种真空镀膜设备

[实用新型]一种真空镀膜装置-CN201921044567.3有效
发明人：陈学兵;王光辉 -专利权人：苏州骏莱机电有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜装置，包括：镀膜装置本体、夹持装置、真空装置、冷却装置和镀膜喷管装置，所述镀膜装置本体两侧设置有夹持装置，所述真空装置设置在镀膜装置本体的顶部，所述冷却装置设置在镀膜装置本体的底部一侧，所述镀膜喷管装置设置在镀膜装置本体内部上端，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上。通过上述方式，本实用新型提供的真空镀膜装置，将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质，另外，将大部分蒸镀组件安装在蒸镀釜封头内，可以方便对设备的检修
一种真空镀膜装置

[实用新型]一种高效率真空镀膜系统-CN202020318038.4有效
发明人：郭俊春 -专利权人：重庆盛科纳科技有限公司
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B05B16/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效率真空镀膜系统，包括镀膜架、镀膜室、中央处理器和控制装置；所述镀膜架和中央处理器均位于所述镀膜室内，所述控制装置设置在所述镀膜室外；所述真空镀膜系统还包含有镀膜装置，且镀膜装置设有多个均位于所述镀膜室内
一种高效率真空镀膜系统

[发明专利]一种易排气镀膜装置-CN201610372218.9在审
发明人：陈学兵 -专利权人：苏州普京真空技术有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种易排气镀膜装置，包括：中央处理器、镀膜室、驱动装置、真空镀膜装置、冷却室和若干排气装置，所述驱动装置、真空镀膜装置均位于所述镀膜室内，所述冷却室与镀膜室之间相互排列，所述排气装置位于冷却室内通过上述方式，本发明提供的易排气镀膜装置，避免了镀膜气体的污染，且提高了镀膜的质量，且镀膜的方式较为方便，使用工厂的大规模的使用。
一种排气镀膜装置

[实用新型]镀膜装置及镀膜设备-CN201821160300.6有效
发明人：柯荣峰 -专利权人：张家港康得新光电材料有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种镀膜装置及镀膜设备，涉及镀膜技术领域，为解决基材在镀膜过程中，由于镀膜构件与周围环境之间存在热传递，热量由镀膜构件传递至镀膜基材的过程中，会出现热量损失，从而使镀膜基材的温度达不到镀膜工艺所要求温度的技术问题涉及一种镀膜装置，包括：能够产生热量的镀膜构件和用于吸收部分热量损失的盖体；镀膜构件和盖体之间设有用于待镀膜基材进入的空间。还涉及一种镀膜设备，包括：上述的镀膜装置。该镀膜装置及镀膜设备能够减少热量的损失，从而使镀膜基材能够达到工艺所要求的温度，提高成膜质量。
镀膜装置镀膜设备镀膜镀膜基材热量损失盖体本实用新型待镀膜基材镀膜工艺镀膜过程镀膜技术构件传递热传递成膜基材吸收

[发明专利]镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法-CN202111639074.6有效
发明人：刘玮;朱昆;曹健辉;陈惠君;颜学庆;刘晓兰 -专利权人：广东省新兴激光等离子体技术研究院;等离子体装备科技（广州）有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜材料存放装置、真空镀膜设备及真空镀膜方法，所述镀膜材料存放装置包括：连接真空腔室的密封腔室，用于放置真空镀膜设备镀膜使用的镀膜材料；设于密封腔室与真空腔室接合处的真空阀门，用于连通或者分隔密封腔室与真空腔室；连接真空阀门的驱动装置，用于驱动打开或者关闭真空阀门；连接驱动装置的控制装置，用于控制驱动装置在镀膜过程中打开真空阀门，在镀膜后关闭真空阀门，对密封腔室内的镀膜材料进行密封保护；该技术方案，避免了密封腔室内的镀膜材料与空气接触发生反应或者被吸附污染，保证了镀膜材料的纯度，使得在镀膜过程中，无需频繁清洁镀膜材料，提高了镀膜效率，也提升了镀膜效果。
镀膜材料存放装置真空镀膜设备方法

[实用新型]一种线材真空镀膜装置-CN202222438942.0有效
发明人：洪峰;任源驿博;颜仕政;戴德锐 -专利权人：启东鑫通航空科技有限公司
申请日： 2022-09-15 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种线材真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域，包括包括装置外壳、放线组件、镀膜单元、输送组件和密封单元；装置外壳：顶端开口四角分别通过四个螺栓与密封板固定连接；放线组件：安装在装置外壳的前端；输送组件：安装在装置外壳的内部；密封单元：安装在装置外壳的右侧；镀膜单元：包含镀膜室、挡板、镀膜装置、冷却机、盖板和螺栓，所述装置外壳内部中间位置固定连接镀膜室，所述镀膜室的左侧面固定连接有冷却机，所述镀膜室的右侧面固定连接有镀膜装置，所述镀膜室的中间横向固定连接有挡板，所述镀膜室的上端四角分别通过螺栓固定连接盖板，其装配线材方便，镀膜质量高，能够保证对线材镀膜的完整性。
一种线材真空镀膜装置

[发明专利]镀膜系统和镀膜生产线-CN202111541447.6在审
发明人：周高阳;刘国春;李学法;张国平 -专利权人：江阴纳力新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C18/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种镀膜系统和镀膜生产线。镀膜系统包括：放卷装置，能够收容以及匀速传送薄膜；镀膜池，设置在放卷装置的输出侧，并用于储存镀膜液，以对放卷装置传送过来的薄膜镀膜处理；喷淋装置，能够清洗被镀膜池镀膜后的薄膜；烘干装置，用于对喷淋装置清洗后的薄膜烘干处理；收卷装置，设置在烘干装置的输出侧，能够匀速传送和收容被烘干装置处理后的薄膜。当需要将薄膜镀膜时，薄膜从放卷装置移出，并收容在放卷装置。可以理解为薄膜被放卷装置和收卷装置预先拉平。当薄膜匀速通过镀膜池时，镀膜池的镀膜液能够均匀地附着在薄膜上，从而使得薄膜的镀膜层厚度增加。通过控制放卷装置传送薄膜的速率，能够使得薄膜上的镀膜层的厚度增加的不同。
镀膜系统生产线

[发明专利]镀膜装置以及镀膜方法-CN202111436450.1在审
发明人：张文强;时浩然;饶轶 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种镀膜装置以及镀膜方法。该装置包括：镀膜材料发生装置，所述镀膜材料发生装置被构造为用于产生镀膜材料；承载装置，所述镀膜材料发生装置与所述承载装置相对，所述承载装置被构造为用于承载待镀膜件；遮挡部，所述遮挡部位于所述承载装置与所述镀膜材料发生装置之间；以及移动装置，所述移动装置被构造为用于移动所述遮挡部，以使所述遮挡部能够遮挡待镀膜件的不同部位。
镀膜装置以及方法

[发明专利]一种真空镀膜系统-CN201610372214.0在审
发明人：陈学兵 -专利权人：苏州普京真空技术有限公司
申请日： 2016-05-31 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜系统，包括：镀膜架、镀膜室、中央处理器、马达、驱动装置和喷漆室，所述镀膜架位于镀膜室内，所述中央处理器、马达、驱动装置也均位于镀膜室内，且所述的真空镀膜系统还包含有镀膜装置，所述的镀膜装置与中央处理器、马达、驱动装置分别相连接。通过上述方式，本发明提供的真空镀膜系统，避免了镀膜气体的污染，且提高了镀膜的质量，且镀膜的方式较为方便，使用工厂的大规模的使用。
一种真空镀膜系统

[发明专利]一种塑胶制品的纳米真空镀膜工艺及加工装置-CN202211399029.2在审
发明人：申丽娜 -专利权人：申丽娜
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜技术领域，公开了一种塑胶制品的纳米真空镀膜工艺及加工装置，包括第一镀膜半弧仓、第二镀膜半弧仓和下料装置，第二镀膜半弧仓滑动安装在第一镀膜半弧仓的一侧外表面，下料装置滑动安装在第一镀膜半弧仓和第二镀膜半弧仓之间，第一镀膜半弧仓的内部固定安装有支撑底座，支撑底座的上表面一端边缘焊接有仓壁。本发明通过在第一镀膜半弧仓和第二镀膜半弧仓的内部之间安装下料装置，能够便于对未镀膜和镀膜完成的产品进行快速置换位置，从而避免镀膜加工装置需要长时间的等待产品的逐个安装，而且能够减少镀膜加工装置内部的温度外泄，从而避免镀膜加工装置需要长时间的升温，从而提高镀膜加工装置的运行效率。
一种塑胶制品纳米真空镀膜工艺加工装置

[发明专利]一种可自动清洁表面的手机纳米镀膜机-CN202010153154.X在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：温州新兰智能科技有限公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开的一种可自动清洁表面的手机纳米镀膜机，包括底座以及设于所述底座上端面且开口向上的镀膜腔，所述底座内设有固定装置，所述固定装置包括固定设于所述镀膜腔下壁中心内的吸盘，所述固定装置上方设有清洁镀膜装置，所述清洁镀膜装置内设有切换锁定装置，所述切换锁定装置用于改变所述清洁镀膜装置的清洁和镀膜状态，本发明实现了对手机纳米镀膜工序的自动化，在镀膜前免于人工手动对屏幕进行清洁，减少了镀膜前洁净的屏幕与空气中尘埃的接触时间，实现了清洁镀膜连续自动进行，避免了人工清洁镀膜中失误导致镀膜质量下降的可能性，提高了镀膜效率和质量。
一种自动清洁表面手机纳米镀膜

[发明专利]扫描镀膜装置及扫描镀膜组件-CN201110190163.7有效
发明人：赵军;梅芳 -专利权人：上方能源技术(杭州)有限公司
申请日： 2011-06-30 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于半导体，平面显示器和太阳能行业的镀膜生产的镀膜装置及镀膜组件。一种扫描镀膜装置，包括镀膜源、真空腔体室和基板传输模块，而所述镀膜源为PVD源、LPCVD源、PECVD源或ALD源；所述真空腔体室包围所述镀膜源；所述镀膜源的镀膜源工作面与水平面所成角度为α，65＜α本发明的镀膜源与基板的相互位置关系以及镀膜源的结构使所述扫描镀膜装置实现了同时对移动中的两片无边框的基板连续进行沉积镀膜，使得生产效率加倍；大幅提高源材料利用率；镀膜源被两片基板包围，热量损失小，可减少所述扫描镀膜装置的腔体壁上形成的镀膜，装置内壁清洁。扫描镀膜组件可同时对多基板进行沉积镀膜，使得生产效率提高若干倍。
扫描镀膜装置组件