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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]镀膜装置-CN201110327515.9无效
发明人：黄登聪;彭立全 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-10-25 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种镀膜装置，该镀膜装置包括承载台及导电网圈，该承载台包括一承载面，用以承载该待镀膜工件且使该待镀膜工件置于该导电网圈所形成的电场中，面向该承载台的承载面且间隔该承载面设有一离子源，该导电网圈设置于承载台上，且围绕待镀膜工件于其内，该导电网圈与待镀膜工件之间形成一指向待镀膜工件的旋转聚焦加速电场。本发明克服传统镀膜对尺寸较小的工件镀膜效果不好的问题，且加工成本低，适合大规模量产使用。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN201110322694.7无效
发明人：黄登聪;彭立全 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-10-21 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：一种镀膜装置，用于对待镀膜工件进行镀膜，该镀膜装置包括承载台及至少一对导电平板，该承载台包括一承载面，用以承载该待镀膜工件且使该待镀膜工件置于该导电平板形成的电场中，面向该承载台的承载面且间隔该承载面设有一离子源，该导电平板垂直于该承载台的承载面设置于承载台上，并以待镀膜工件为中心对称设置于其两侧，该导电平板相对于镀膜工件匀速旋转。本发明克服传统镀膜对尺寸较小的工件镀膜效果不好的问题，且加工成本低，适合大规模量产使用。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN200910312457.5无效
发明人：洪新钦;魏朝沧;张庆州;简士哲;王仲培;凌维成;黄建豪;吴佳颖;廖名扬 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-12-29 - 公布日： 2011-06-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜装置，其用于对多个基板进行镀膜，该镀膜装置包括一个镀膜腔体及一个抽气系统。该镀膜腔体具有一个竖直方向的中轴。该抽气系统连通至该镀膜腔体顶部的中央，并位于该中轴上。如此，所述多个基板所处位置的抽气速率大致相同，处于一个气体浓度相对均匀的环境中，镀膜的均匀性好。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN201010213744.3无效
发明人：许嘉麟 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-06-30 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种镀膜装置，其采用原子层沉积方法进行镀膜，所述镀膜装置包括一腔体，所述腔体内壁设置有加热单元，所述加热单元具有一个收容空间用以收容一滚轮以对所述滚轮进行镀膜。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN200910307030.6无效
发明人：王仲培 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-09-15 - 公布日： 2011-04-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种镀膜装置包括一个镀膜腔体、一个传送带、至少一个隔板以及至少一个支架。所述至少一个传送带设置在所述镀膜腔体内侧底部。所述至少一个隔板设置在所述镀膜腔体内将所述镀膜腔体区分为两个或多个相互隔开的容置空间。所述隔板可相对所述镀膜腔体滑动从而使相邻的两个容置空间相互联通或者相互隔离。所述至少一支架容置在由所述隔板间隔而成的容置空间内，并能在所述传送带的带动下依次进入不同的容置空间内进行镀膜。本发明镀膜装置通过一个具有多个独立容置空间的镀膜腔体对待镀膜工件依次进行单独镀膜，从而避免镀膜过程中所存在的气体污染以及靶材污染的问题，从而有效的提高了镀膜效果。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN200810300501.6无效
发明人：凌维成 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2008-03-07 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：一种镀膜装置，其包括喷射器和承载机构，所述承载机构用于放置待镀膜物体，所述喷射器用于喷射镀膜材料，所述承载机构包括转盘、驱动轮、从动机构以及固定元件，所述驱动轮与转盘平行设置且都可在马达驱动下转动，该从动机构通过固定元件固定在转盘上并与驱动轮接触，以在驱动轮转动时被带着转动，所述从动机构用于夹持待镀膜物体。上述镀膜装置利用驱动轮转动带动夹持有待镀膜物体的从动机构转动，使得待镀膜物体的所有侧壁将会被镀膜。
镀膜装置

[实用新型]镀膜装置-CN202122099980.3有效
发明人：翁勇新;郭敏;蓝金花 -专利权人：厦门海辰新能源科技有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜装置，所述镀膜装置包括：传送机构，所述传送机构用于传送基膜；镀膜机构，所述镀膜机构用于向所述基膜的表面镀上预定膜层；冷却机构，所述冷却机构包括主冷辊，所述主冷辊设于所述镀膜机构在所述基膜传送方向的下游用于冷却镀上所述预定膜层之后的所述基膜根据本实用新型的镀膜装置，通过在镀膜机构在基膜传送方向的下游设置主冷辊，能够冷却被镀上预定膜层后的基膜，提高了薄膜的生产效率，提升了薄膜的良品率，避免了薄膜温度过高变形、打皱、物理性能下降，降低了生产成本，且镀膜装置的结构简单，便于组装和生产。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN201010300982.8无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2010-01-30 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本发明提供一种镀膜装置，其用于对待镀膜基材进行镀膜；该镀膜装置包括一具有反应腔的外壳、一反应装置、第一、第二进气管及出气管，反应腔侧壁上设收容多个待镀膜基材的容置槽，反应装置容置在外壳内并能在该反应腔内转动；反应装置呈筒状，反应装置包括第一容置腔及多个电磁铁，反应装置沿轴向设置有多个连通第一容置腔及反应腔的第一喷口，沿反应装置轴向开设的用于传导微波的微波管道，微波管道与各第一喷口连通，第一、第二进气管与第一容置腔连通用旋转的反应装置可对多个待镀膜基材镀膜，提高镀膜效率。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN201110411573.X有效
发明人：许聪波 -专利权人：许聪波
申请日： 2011-12-12 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种镀膜装置，该镀膜装置包括磁性部件、固定部及一离子源，该离子源可溅射出用于镀膜的离子，该工件固定于该固定部上，该磁性部件与该离子源以待镀膜的工件为中心相对设置，与待镀膜工件之间形成一指向待镀膜工件的旋转聚焦加速磁场从而克服了因具有弧面曲率不同结构的工件，其存在的端面和弧面曲面部位所形成尖端放电，导致离子镀膜困难的问题。
镀膜装置

[发明专利]镀膜装置-CN201810350043.0在审
发明人：柯荣峰;李硕 -专利权人：张家港康得新光电材料有限公司
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B05B16/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种镀膜装置，包括：真空腔；工艺鼓，所述工艺鼓设置在所述真空腔内部；若干镀膜单元，所述若干镀膜单元设置于所述真空腔内，且所述若干镀膜单元设置于所述工艺鼓的外表面；分段加热装置，所述分段加热装置设置于所述真空腔内，并位于所述镀膜单元背离所述工艺鼓的一侧。本申请通过在真空腔内部，镀膜单元背离工艺鼓的一侧设置分段加热装置，实现对工艺鼓的外表面设置的若干镀膜单元进行分段加热，根据工艺需要配合单独镀膜单元调整温度，得到成份和结构优化的阻隔膜。
镀膜单元分段加热装置真空腔真空腔内部镀膜装置背离单独加热分段加热结构优化阻隔膜辊筒膜卷申请传送简易配合维护

[实用新型]镀膜装置-CN201920707833.X有效
发明人：云洋 -专利权人：深圳奥拦科技有限责任公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种镀膜装置，包括镀膜室、泵、连接镀膜室和泵的管道，以及至少两个制冷单元。镀膜室用于容置工件和镀膜气体，以使镀膜气体在镀膜室内聚合于工件表面；泵用于抽真空以达到镀膜所需的真空度并在镀膜过程中对镀膜室提供吸力，以使镀膜气体进入和排出镀膜室；至少两个制冷单元沿着气体的输送方向依次设于管道上，泵从镀膜室抽取的气体依次经过每个制冷单元。
镀膜室制冷单元镀膜气体单聚体派瑞林镀膜凝结吸力本实用新型镀膜过程镀膜装置方向串联工件表面双重吸收抽真空沉降排出容置聚合抽取保证室内

[发明专利]镀膜装置-CN201510245444.6在审
发明人：吴孝哲 -专利权人：宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司
申请日： 2015-05-14 - 公布日： 2015-09-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种镀膜装置，包含镀膜腔室、载台、多个电极以及多个控制单元。载台配置于镀膜腔室内，载台用以盛放基材。多个电极配置于载台。多个控制单元分别电性连接多个电极，其中多个控制单元用以分别施加一偏压于多个电极，以吸引镀膜腔室内用于镀膜的带电离子，借此改善基材的镀膜的均匀度。
镀膜装置

[实用新型]镀膜装置-CN201821393610.2有效
发明人：唐威 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2018-08-28 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜装置，包括镀膜腔室、设置于所述镀膜腔室内的镀膜机构、第一屏蔽或遮挡部件、第二屏蔽或遮挡部件、厚度测量传感器，所述第一屏蔽或遮挡部件沿着所述镀膜机构的镀膜方向设置，所述第二屏蔽或遮挡部件横向设置在所述镀膜腔室的开口处该镀膜装置厚度测量传感器每隔预设的测量周期测量屏蔽或遮挡部件上的膜层厚度，以实现对设备开腔清洁时间进行实时监控，极大地提高了设备的运行时间。
遮挡部件屏蔽厚度测量传感器镀膜装置镀膜镀膜腔室膜层开腔本实用新型测量周期方向设置横向设置实时监控镀膜腔对设备开口处预设测量室内检测清洁

[发明专利]镀膜装置-CN200910302090.9无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-05-04 - 公布日： 2010-11-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种镀膜装置，其包括第一镀膜腔及承载组件。承载组件包括操作杆及两个固定于操作杆上并以操作杆对称分布的承载座。每个承载座用于固定一镀膜基板。第一镀膜腔包括两个并排设置的第一子腔体及第二子腔体。第一子腔体及第二子腔体与第一镀膜腔的底壁共同形成沿该第一子腔体及该第二子腔体排列方向延伸的第一通道，操作杆固定承载座的一端收容在第一通道内。第一子腔体及第二子腔体的底壁均开设有与第一通道相通的镀膜口。操作杆带动承载座在第一通道内以平行于第一镀膜腔的底壁旋转，并带动承载座沿垂直于第一镀膜腔的底壁移动，使两个承载座密封两个镀膜口并且使镀膜基板从镀膜口暴露在第一子腔体及第二子腔体内。所述镀膜装置能提升镀膜良率。
镀膜装置

[实用新型]镀膜装置-CN201821648803.8有效
发明人：杨肸曦 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-10-11 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜装置。所述镀膜装置包括至少两个载体、腔室、至少两个传感器和传输控制装置。根据所述传感器检测所述载体的位置信息，所述传输控制装置可以控制所述载体的移动速度，从而控制所述载体在镀膜区域时实现无缝搭接的目的，避免相邻的所述载体在所述镀膜区域出现间隔，影响溅射工艺的进行。
镀膜装置传输控制装置镀膜区域传感器检测无缝搭接传感器溅射腔室移动申请

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