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[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201711385782.5有效
发明人：陈果;李文杰;冯叶;周康;吴迪;杨春雷;钟国华 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L31/072 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池及其制备方法，通过对所述铜锌锡硫薄膜太阳能电池的铜锌锡硫薄膜吸收层进行表面处理后，再进行后序的制备工艺，以此钝化了铜锌锡硫薄膜吸收层的晶界面，抑制了载流子在晶界面的复合，提高了铜锌锡硫薄膜太阳能电池器件的开路电压和填充因子，以提高铜锌锡硫薄膜太阳能电池的光电转化效率，并制备出高性能的铜锌锡硫薄膜太阳能电池。
一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收层及其制备方法、铜锌锡硫薄膜太阳能电池-CN202210315605.4在审
发明人：魏要伟;孟祥欢;沈永龙;李珍珍;段艳艳;韩炎兵;周珂;韩甲豪 -专利权人：郑州大学
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收层及其制备方法、铜锌锡硫薄膜太阳能电池，属于薄膜太阳能电池技术领域。本发明的铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收层的制备方法，包括以下步骤：将铜锌锡硫前驱体复合薄膜进行退火处理；所述铜锌锡硫前驱体复合薄膜包括铜锌锡硫前驱体层和硒化锑层，所述铜锌锡硫前驱体层主要由铜源、锌源、锡源和硫源组成由于硒化锑层的存在，铜锌锡硫前驱体层在退火处理中可以产生尺寸较大的晶粒，并且硒化锑层不会使铜锌锡硫前驱体层在退火处理中产生二次相。
一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池光吸收及其制备方法

[发明专利]一种提高铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池效率的方法-CN201610571961.7有效
发明人：俞金玲;郑重明;程树英;赖云锋;郑巧;周海芳;董丽美 -专利权人：福州大学
申请日： 2016-07-20 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H01L31/072 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池效率的方法，用溶胶‑凝胶法制备铜锌锡硫薄膜，随后对负载有铜锌锡硫薄膜的钼基片进行加热处理，待基片升高到150℃时，采用真空热蒸发法在铜锌锡硫薄膜上面生长硫化铟薄膜，得到铜锌锡硫/硫化铟异质结，大大提高了铜锌锡硫/硫化铟太阳能电池的效率。此外，本发明可操作性强，容易实现，能用于薄膜太阳能电池的制备，对太阳能电池效率的提高有着重要贡献。
一种提高铜锌锡硫硫化太阳能电池效率方法

[发明专利]堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池及其制作方法-CN201210132239.5有效
发明人：林俊荣;杨能辉 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2012-04-28 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池及其制作方法。该堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池的制作方法，是依序于背电极层上形成含硫化合物层、硒化亚铜层与锡化锌层，经过硒化与硫化反应后制得硒化含硫化合物层与硒硫化太阳能吸收层，再沉积n型缓冲层与顶电极层制得堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池，其中硒硫化太阳能吸收层包括一低能隙铜锌锡硒层夹置于两高能隙铜锌锡硒硫层间，形成堆叠式太阳能吸收层。此外，本发明亦提供一种堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池，通过堆叠式太阳能吸收层提高光吸收率并且降低电子/空穴的复合率，藉以提升堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池的光电性质。
堆叠式铜锌锡硒硫薄膜太阳能电池及其制作方法

[发明专利]铜锌锡硫太阳能电池器件及其制备方法-CN201310393325.6在审
发明人：徐苗苗;杨春雷;冯叶;肖旭东;顾光一;程冠铭;郭延璐;于冰;鲍浪 -专利权人：深圳先进技术研究院;香港中文大学
申请日： 2013-09-02 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：一种铜锌锡硫太阳能电池器件，包括依次层叠的衬底、背电极层、光吸收层、缓冲层及窗口层，所述光吸收层为铜锌锡硫薄膜，所述缓冲层由ZnSxSe1-x制成，其中，0.44＜X＜1。上述铜锌锡硫太阳能电池采用由ZnSxSe1-x制成缓冲层，其与光吸收层之间的异质结具有较小的晶格失配度，界面处缺陷少，从而减小了载流子的复合率和暗电流，增大了铜锌锡硫太阳能电池的开路电压。同时还提供了一种用于制备上述铜锌锡硫太阳能电池器件的铜锌锡硫太阳能电池器件制备方法。
铜锌锡硫太阳能电池器件及其制备方法

[发明专利]一种通过界面改性制备铜锌锡硫类薄膜太阳能电池的方法-CN201310745453.2无效
发明人：张庶;彭晓丽;向勇 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2013-12-30 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域，公开了一种通过界面改性制备铜锌锡硫类薄膜太阳能电池的方法。铜锌锡硫类薄膜太阳能电池为多层膜结构：衬底／Mo背接触层／铜锌锡硫类光吸收薄膜层/缓冲层CdS/窗口层ZnO/减反膜MgF₂和金属栅电极Ni-Al。本发明通过界面改性，在Mo背接触层上制备Cu₂S_1-xSe_x预制层，其中0≤x≤1，在预制层上用铜锌锡硫纳米墨水成膜，经高温退火工艺，使Cu₂S_1-xSe_x预制层与铜锌锡硫纳米晶薄膜实现扩散融合及化学反应，在不引入其他杂质元素的基础上，有效克服了铜锌锡硫纳米晶成膜附着力较差的弊端，得到结晶性好，形貌均匀，物相单一，附着力强的铜锌锡硫类光吸收层薄膜，从而制备得到高效率的铜锌锡硫类薄膜太阳能电池。
一种通过界面改性制备铜锌锡硫类薄膜太阳能电池方法

[发明专利]铜锌锡硫薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201910477710.6在审
发明人：黄建平;庞硕;许述达;王恒;李伟民;冯叶;杨春雷 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2019-06-03 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： H01L31/0328 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池，包括依次设置在衬底上的第一电极层、铜锌锡硫薄膜吸收层、缓冲层、窗口层和第二电极层，所述缓冲层为锌镉硫薄膜。其制备工艺中，通过应用化学水浴沉积工艺结合激光局部加热制备获得锌镉硫薄膜缓冲层。本发明的铜锌锡硫薄膜太阳能电池中，缓冲层采用ZnCdS薄膜，一方面可以提升CZTS薄膜太阳能电池的效率并且提高电池的短路电流，另一方面能够减少Cd的用量从而减低对环境的污染。
铜锌锡硫薄膜太阳能电池缓冲层锌镉制备薄膜应用化学薄膜太阳能电池铜锌锡硫薄膜薄膜缓冲层第二电极第一电极短路电流工艺结合局部加热依次设置制备工艺窗口层吸收层衬底水浴沉积激光电池污染

[发明专利]一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法-CN201310303061.0有效
发明人：于冰;杨春雷;程冠铭;冯叶;鲍浪;郭延璐;徐苗苗 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2013-07-18 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的制备方法，包括：将铜、锌、锡及硫四种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡硫前驱体；将铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述铜锌锡硫前驱体以300℃，并保温10min～20min；再以5℃/min的升温速率升温至480℃，并保温20min～30min；再以5℃/min的升温速率升温至500℃，并保温15min后自然冷却至室温，在衬底表面得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜通过上述制备方法，从而形成均匀的，致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。
一种铜锌锡硫太阳能电池吸收薄膜制备方法

[发明专利]一种均相溶液法制备铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的方法-CN201310287088.5无效
发明人：汪浩;郑慧娟;栗晓辰;孙玉绣;刘晶冰;严辉;朱满康 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2013-07-09 - 公布日： 2013-10-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种均相溶液法制备铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜的方法，属于功能材料领域。包括如下步骤：（a）衬底的清洗（b）前躯体溶液的制备（c）前躯体薄膜的制备（d）退火处理。本发明所提供的一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，不需要使用昂贵的原材料和设备，各工艺步骤的控制性好，且不需要使用有毒的高分子溶剂，避免了铜锌锡硫薄膜制备过程中大量的残余碳，有利于制成大晶粒、致密的铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜，其工艺简单，成本低廉，可重复性强，为发展绿色环保、低成本、高转换效率的铜锌锡硫薄膜太阳能电池技术提供了新思路，具有大规模工业化生产的潜力。
一种均相溶液法制备铜锌锡硫太阳能电池吸收薄膜方法

[发明专利]铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池及其制备方法-CN202010393599.5在审
发明人：孟繁琦;李冬梅;谷林 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2020-05-11 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： H01L31/0445 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池及其制备方法，其中，铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池，包括依次沉积在电极基底上的吸光层、缓冲层、窗口层和金属栅电极，其特征在于缓冲层包括CdS膜层和沉积在CdS膜层上的ZnS本发明将ZnS沉积在CdS表面，形成中间(Cd，Zn)S层，以获得“spike”结构，能优化CdS膜层与窗口层之间的界面接触，从而有利于提高铜锌锡硫硒(CZTSSe)薄膜太阳能电池的开路电压及电池性能。
铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池及其制备方法

[发明专利]铜锌锡硫薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201610014462.8有效
发明人：檀满林;刘荣跃;王晓伟;李冬霜;符冬菊;张维丽;马清;陈建军 -专利权人：深圳清华大学研究院
申请日： 2016-01-11 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明提供一种铜锌锡硫薄膜太阳能电池，包括依次层叠的铟锡氧化物导电玻璃背电极层、铜锌锡硫薄膜光吸收层、硫化镉缓冲层和铝掺氧化锌/银线/铝掺氧化锌复合透明导电窗口层，所述铝掺氧化锌/银线/铝掺氧化锌复合透明导电窗口层为两层铝掺氧化锌薄膜中间夹杂一层银线薄膜本发明采用铟锡氧化物导电玻璃替代Mo背电极，避免了Mo背电极与铜锌锡硫薄膜硫化过程中热不稳定的特性，同时可实现双面透光，提高了铜锌锡硫薄膜太阳能电池的器件效率。另外采用溶液法制备铝掺氧化锌/银线/铝掺氧化锌复合透明导电窗口层代替真空方法沉积的ITO/AZO导电窗口层，降低了铜锌锡硫薄膜太阳能电池制造成本，而且对周围环境也十分友好。
氧化锌铜锌锡硫薄膜太阳能电池银线透明导电窗口层铜锌锡硫薄膜铟锡氧化物导电玻璃背电极复合硫化镉缓冲层溶液法制备氧化锌薄膜背电极层光吸收层硫化过程器件效率双面透光依次层叠制造成本窗口层导电夹杂两层薄膜沉积制备替代

[发明专利]复合薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201811523094.5有效
发明人：胡居广;王斌;肖惑;梁广兴;苏正华 -专利权人：深圳大学
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： H01L31/0336 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜太阳能电池技术领域，具体提供一种复合薄膜太阳能电池及其制备方法。该复合薄膜太阳能电池包括基底、层叠于基底表面的钼电极层、层叠于钼背电极层表面的光吸收复合层、层叠于光吸收复合层表面的缓冲层、层叠于所述缓冲层表面的N型半导体层、层叠于N型半导体层表面的透明导电层、层叠于所述透明导电层表面的金属电极层；光吸收复合层包括第一铜铟镓硒层、铜锌锡硫层和第二铜铟镓硒层，铜锌锡硫层具有相背对的第一表面和第二表面，第一铜铟镓硒层层叠于铜锌锡硫层的第一表面，第二铜铟镓硒层层叠于铜锌锡硫层的第二表面。本发明的复合薄膜太阳能电池，其光吸收层为具有三明治结构的复合薄膜，能够明显提高太阳能电池的光电转换效率。
复合薄膜太阳能电池及其制备方法

[发明专利]铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201810742484.5在审
发明人：李冬梅;闵雪;石将建;吴会觉;罗艳红;孟庆波 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2018-07-09 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池及其制备方法。所述铜锌锡硫硒薄膜太阳能电池，包括Mo玻璃基底以及依次沉积在所述Mo玻璃基底上的铜锌锡硫硒膜层、CdS缓冲层、ZnO窗口层、ITO透明电极层和Ag栅电极。其中，CZTSSe薄膜是由CZTS前驱膜经硒化处理获得的。本发明采用超声喷雾法制备CZTS前驱膜，与目前普遍采用的旋涂法制备的CZTSSe薄膜太阳能电池相比，对薄膜厚度、均匀性、结晶性的调控更加精确，有利于降低复合、提升电池的转换效率。
薄膜太阳能电池铜锌锡硫硒玻璃基前驱膜制备薄膜超声喷雾硒化处理转换效率窗口层缓冲层结晶性均匀性栅电极膜层旋涂沉积电池复合调控

[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜的硒化方法-CN201710202998.7在审
发明人：袁晓杰;张军;彭峰 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2017-03-30 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的硒化方法，涉及半导体光电材料技术领域；该方法包括如下步骤)以乙二硫醇和乙二胺混合液为溶剂，溶解硒粉制备硒溶胶；控制硒粉在硒溶胶的质量浓度为0.15～0.18g/mL；2)通过旋涂‐烘烤的方法在铜锌锡硫前驱薄膜的上表面制备硒薄膜；3)在直接快速退火工艺中实现铜锌锡硫前驱薄膜的硒化，制备出达到铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层要求的大晶粒铜锌锡硫硒薄膜。对比一般使用外部硒源快速硒化的工艺，本发明能促进硒化过程中硒源向铜锌锡硫薄膜的内部扩散，减少薄膜硒化过程中使用硒粉的量，能制备出达到铜锌锡硫硒太阳能电池吸收层要求的大晶粒铜锌锡硫硒薄膜。
一种铜锌锡硫薄膜方法

[发明专利]一种太阳能电池吸收层薄膜制造方法-CN202011110086.5在审
发明人：徐维键 -专利权人：江苏佳佳新能源有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池吸收层薄膜制造方法，它涉及新能源技术领域。包括以下步骤：衬底的准备，将铜、锌、锡三种元素沉积于所述衬底表面，以形成铜锌锡前驱体；将硫元素沉积于所述铜锌锡前驱体表面，形成堆叠式铜锌锡硫前驱体；将堆叠式铜锌锡硫前驱体置于真空环境中，并通入由保护气体和硫化氢气体组成的混合气体；将上述堆叠式铜锌锡硫前驱体从室温升温至600‑650℃，自然冷却至室温，得到铜锌锡硫太阳能电池吸收层薄膜。本发明的优点在于：将铜、锌、锡三种元素沉积于衬底表面，以形成铜锌锡前驱体，再将硫元素沉积于铜锌锡前驱体表面，形成堆叠式铜锌锡硫前驱体，制备工艺简单，制造方便，且铜锌锡硫薄膜太阳电池的转换效率提高。
一种太阳能电池吸收薄膜制造方法

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