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[发明专利]一种钛基稀土合金靶材及其制备方法-CN202010970959.3在审
发明人：鲁涛 -专利权人：上海晶维材料科技有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛基稀土合金薄膜吸气剂靶材及其制备方法，该钛基稀土合金薄膜吸气剂靶材的合金配方包括：钛基二元合金配方TiREx(wt％)、钛基三元合金配方TiRE1xRE2y(wt％)、钛基四元合金配方TiRE1xRE2yRE3z(wt％)、大于四元合金的钛基多元稀土元素的复合添加；其制备方法如下：将上述合金配方通过真空熔炼制备合金铸锭、对铸锭进行致密化处理、靶材尺寸加工，在磁控溅射上进行溅射，制备成吸气薄膜，吸气剂薄膜的激活温度该方法制备的合金靶材，工艺操作过程简单，该靶材制备的吸气薄膜，具有良好的吸气性能，对MEMS芯片晶元基器件的封装和真空维持，具有重要的意义。
一种稀土合金及其制备方法

[发明专利]一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法-CN201910717231.7在审
发明人：吴健;雷雨;肖世洪;周志宏;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-08-05 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转镍铬合金靶材及其制备方法。这种旋转镍铬合金靶材是通过以下的方法制得：1)制备平均粒径D50为20μm～100μm的镍铬粉末；2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；3)转动靶材基管，将镍铬粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管的表面，制得靶材；4)将冷喷涂后的靶材进行机加工，制得旋转镍铬合金靶材成品。本发明制备旋转镍铬合金靶材的方法工艺简单、操作方便、合金成分范围宽，适合大规模工业生产。所制得的靶材纯度高，相对密度大，氧含量低，晶粒尺寸均匀性好。
靶材镍铬合金基管制备镍铬粉末冷喷涂尺寸均匀性晶粒靶材纯度表面喷砂不锈钢管平均粒径机加工材基对靶喷枪钛管合金转动

[发明专利]一种钛基管状合金靶材及其制备方法-CN202211739102.6在审
发明人：张凤戈;魏铁峰;岳万祥;张欠男;张学华;孟晓亭 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种钛基管状合金靶材及其制备方法，与常规装粉生产管靶工艺相比，本发明通过先对粉体模压成型，然后冷等静压致密化，最后热等静压烧结，解决了Ti基粉末热等静压后收缩大、易弯曲、难加工的问题。最终所得的钛基管状合金靶材相对密度≥99％，晶粒尺寸均匀，平均晶粒尺寸30～200μm。
一种管状合金及其制备方法

[发明专利]一种旋转银铜靶材及制备方法-CN202010118026.1在审
发明人：吴健;黄显峰;雷雨;周志宏;沈艳斌;杨永添 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2020-02-25 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转银铜靶材及其制备方法。该方法包括以下步骤：(1)制备粒径D10≥20μm，D90≤70μm的银铜粉末；(2)以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管依次进行表面喷砂处理和打底处理；(3)冷喷涂：将打底处理后的靶材基管安装在传动设备上，使靶材基管绕其中心轴转动，喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将银铜粉末通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面，沉积形成涂层，得到靶材。本发明的制备工艺简单、操作方便，适合大规模工业生产，所制得的旋转银铜靶材纯度高，尺寸不受限制，厚度可达到3～12mm，长度可达到4000mm，氧含量低，晶粒尺寸小。
一种旋转银铜靶材制备方法

[发明专利]一种铝基合金靶材及其制备方法-CN202310959111.4在审
发明人：张凤戈;岳万祥;魏铁峰;张欠男;孟晓亭;施政;张学华 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2023-08-01 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及靶材技术领域，具体公开了一种铝基合金靶材及其制备方法。本申请提供的铝基合金靶材的制备方法包括以下步骤：首先将金属粉末装入模具中，在400‑520℃下进行真空脱气烧结，获得料坯，然后直接将所述料坯热挤压成型，获得铝基合金靶材；以金属粉末100at%计，所述金属粉末中包含60at%以上铝粉；余量选自铬粉、钛粉、硅粉、钨粉、钒粉、硼粉、钽粉、钇粉、铌粉、钼粉和锆粉中的一种或多种；本申请还提供了利用上述方法获得的铝基合金靶材。本申请提供的铝基合金靶材的制备方法设备成本低、工艺流程短，且获得的铝基合金靶材金相组织均匀、致密度高、综合力学性能优异。
一种合金及其制备方法

[发明专利]一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法-CN201811488519.3在审
发明人：王家和;黄信二 -专利权人：研创应用材料（赣州）股份有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型CIGS电极用钛合金复合靶材镀膜及其制备方法，制备该镀膜的钛合金复合靶材包括钛钠复合靶材和钛钾复合靶材中的至少一种，所述钛钠复合靶材和钛钾复合靶材分别为钛粉末与钛钠氧化物粉末、钛粉末与钛钾氧化物粉末通过热压成型工艺制成在制得钛钠复合靶材和钛钾复合靶材基础上，分别以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料，或者同时以钛钠复合靶材和钛钾复合靶材为材料通过真空溅镀的方式制得复合靶材镀膜，本发明的钛合金靶材制程温度相对较低，且材料化性及物性较稳定，原料相对便宜，既降低了靶材生产成本，又提高了靶材的产率，应用于CIGS薄膜太阳能电池组件中可以显著提高CIGS薄膜太阳能电池的光电转换效率。
复合靶材钛钾钛合金镀膜靶材制备钛粉末电极光电转换效率氧化物粉末物性材料通过钠氧化物热压成型真空溅镀材料化产率制程生产成本应用

[发明专利]一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途-CN202110190968.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李宁 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛靶材的处理方法及处理后钛靶材和用途，所述处理方法包括采用第一刀具对钛靶材进行第一车削，得到粗处理钛靶材；采用材质为金刚石的第二刀具对所述初处理钛靶材进行第二车削，得到精处理钛靶材；对所述精处理钛靶材进行抛光处理，得到处理后钛靶材，所述处理方法能够降低钛靶材表面的应力层厚度与粗糙度，处理后钛靶材应用于溅射成膜中，提高钛靶材在溅射中的使用质量与使用寿命，减少溅射过程中的初期功耗。
一种钛靶材处理方法后钛靶材用途

[发明专利]一种铌旋转靶材及其制备方法-CN201910041666.4在审
发明人：周志宏;肖世洪;雷雨;肖世文;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提出了一种铌旋转靶材的制备方法，包括S1、制备平均粒径D₅₀为10‑80μm的铌粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制备的铌粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制备铌旋转靶材的制备工艺简单，制备得到的铌旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。
制备靶材旋转靶材冷喷涂基管热喷涂铌粉末粉末利用率规模化生产表面喷砂不锈钢管传动设备晶粒组织平均粒径制备工艺机加工送粉器自转材基对靶良率喷枪喷涂细化钛管装入成型

[发明专利]一种铝旋转靶材及其制造方法-CN201910041672.X在审
发明人：周志宏;肖世洪;雷雨;肖世文;沈艳斌;周昭寅 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：本发明提出了一种铝旋转靶材的制造方法，包括S1、制造平均粒径D₅₀为10‑80μm的铝粉末；S2、以不锈钢管或钛管作为靶材基管，对靶材基管进行表面喷砂处理；S3、冷喷涂成型：将制造的铝粉末装入冷喷涂送粉器内，将处理后的靶材基管安装在传动设备上，使其自转，冷喷涂喷枪与靶材基管做水平方向相对运动，制得靶材；S4、喷涂好的靶材进行机加工成所需要的尺寸和精度，制得成品。本发明制造铝旋转靶材的制造工艺简单，制造得到的铝旋转靶材的密度远高于传统热喷涂技术，相对密度可达到95‑99％，而氧含量低于传统热喷涂技术，晶粒组织均匀细化，良率高，粉末利用率高，易于规模化生产。
靶材旋转靶材冷喷涂制造基管铝粉末热喷涂粉末利用率规模化生产表面喷砂不锈钢管传动设备晶粒组织平均粒径制造工艺机加工送粉器喷涂自转材基对靶良率喷枪细化钛管装入成型

[发明专利]一种钛酸铋基铋层状结构铁电陶瓷靶材的制备方法-CN201710298789.7有效
发明人：程兴旺;马帅 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2017-05-02 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H01G7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛酸铋基铋层状结构铁电陶瓷靶材的制备方法，属于陶瓷靶材制备领域。该方法制备的陶瓷靶材包括陶瓷块体和铜片两部分，适用于射频磁控溅射和脉冲激光沉积等物理方法制备铁电薄膜。本发明制备出的靶材具有较高的整体导热性，能够及时消除热应力，克服了靶材在离子束和激光轰击过程中容易开裂的缺点，提高了靶材的质量。同时，本发明提高了钛酸铋基铋层状结构铁电陶瓷的化学纯度和结构纯度，有利于制备出高质量的铁电薄膜。
一种钛酸铋基铋层状结构陶瓷制备方法

[发明专利]靶材与背板的焊接方法-CN201110329889.4无效
发明人：潘杰;姚力军;王学泽;周友平 -专利权人：余姚康富特电子材料有限公司
申请日： 2011-10-26 - 公布日： 2012-06-20 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；将钛靶材焊接面加工成螺纹状，对铝背板焊接面进行粗糙度加工；在所述铝背板外侧套上第一模具，在所述钛靶材焊接面的相对面覆盖第二模具；采用热压方法将所述钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对所述靶材组件进行热处理。本发明技术方案的靶材与背板的焊接方法，焊接后的钛靶材和铝背板之间的结合强度较高，且实现了钛靶材和铝背板的大面积焊接，降低了生产钛靶材和铝背板的靶材组件的成本。
背板焊接方法

[发明专利]一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材-CN202110758654.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周敏 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛靶材晶粒细化的方法及钛靶材，所述方法包括以下步骤：(1)在400‑500℃下对钛靶材进行预热；(2)将步骤(1)所得钛靶材进行三向锻造；(3)冷却步骤(2)所得钛靶材，得到晶粒尺寸为10‑20μm的钛靶材。本发明提供的方法专用于钛靶材的晶粒细化，改善了钛靶材溅射性能和溅射环境，提升了镀膜质量的同时简化了工艺流程，降低了加工成本。
一种钛靶材晶粒细化方法

[发明专利]钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法-CN201210374822.7有效
发明人：姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2012-09-27 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了钨钛靶材的制造方法和钨钛靶材组合的制造方法。其中，所述钨钛靶材的制造方法包括：在模具中装入钨粉和钛粉的混合粉末；对所述混合粉末进行冷压成型处理，形成钨钛靶材坯料；将所述钨钛靶材坯料进行真空热压烧结处理，形成钨钛靶材。本发明所公开的钨钛靶材的制造方法通过冷压成型处理和真空热压烧结及相关工艺参数的设定，制得的靶材致密度大于或者等于99%的钨钛靶材，并且所获得的钨钛靶材微观结构均匀，具有优异的溅射使用性能。
钨钛靶材制造方法组合

[发明专利]钨钛铝靶材组件的焊接方法-CN201310754922.7有效
发明人：姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;张涛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2015-07-01 - 主分类号： B23K20/14 文献下载
摘要：一种钨钛铝靶材组件的焊接方法，包括以下步骤：提供钨钛靶材、铝背板，所述铝背板具有容纳部分所述钨钛靶材的凹槽，所述凹槽的深度为1～2mm；将钨钛靶材置于所述凹槽内，所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面接触，形成靶材组件坯料；将所述靶材组件坯料放入真空包套；利用热等静压工艺将所述钨钛靶材的待焊接面与所述凹槽底面焊接形成钨钛铝靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述钨钛铝靶材组件采用本发明的方法能够实现靶材高强度的焊接。
钨钛铝靶材组件焊接方法

[发明专利]复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法-CN202310685265.9在审
发明人：易典;王荣福 -专利权人：深圳市汉嵙新材料技术有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本公开提供了一种复合钙钛矿靶材及其制备方法、钙钛矿太阳电池的制备方法。该复合钙钛矿靶材包括：第一子靶材和第二子靶材，第一子靶材和第二子靶材均含有钙钛矿材料，且第一子靶材和第二子靶材中的钙钛矿材料不同；复合钙钛矿靶材呈柱状，柱状的复合钙钛矿靶材的侧表面包括第一侧表面以及位于第一侧表面之外的第二侧表面，至少部分第一子靶材露出于第一侧表面，至少部分第二子靶材露出于第二侧表面。相较于传统的溶液法，该复合钙钛矿靶材是一种溅射用的靶材，能够实现通过溅射法制备钙钛矿薄膜，该复合钙钛矿靶材能够用于制备含有多种钙钛矿材料的钙钛矿薄膜，并且在具有较高的制备效率同时，还能够保证钙钛矿薄膜的均匀性
复合钙钛矿靶材及其制备方法钙钛矿太阳电池

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