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- [发明专利]金属掩膜板-CN202010576355.0在审
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唐振;戴万里;李玉鑫;王衣可
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武汉华星光电半导体显示技术有限公司
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2020-06-22
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2020-10-09
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C23C14/04
- 本申请提供了一种金属掩膜板，本申请中金属掩膜板的异形遮蔽条包括主干、设置于主干一侧的异形突块、以及设置于主干另一侧且与异形突块相对的直边；其中，直边相对于主干形成有与异形突块反拉伸作用的突起，且所述主干两端均设置有焊接区域，所述异形突块与所述焊接区域之间采用光滑结构过渡，在金属掩膜板在张网焊接时，由于主干上采用了异形突块和光滑过渡结构，有效降低因焊接产生的突变量，增加了Y方向金属掩膜板的稳定性，避免了异形异形支撑条因为Y方向结构不对称导致张网精度差，从而实现金属掩膜板的高精度张网，保证镀膜的准确性。
- 金属掩膜板
- [实用新型]金属掩膜板-CN202022456921.2有效
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周磊;窦沛静;张竞中
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珠海和泽科技有限公司
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2020-10-29
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2021-08-10
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C23C14/04
- 本实用新型公开了一种金属掩膜板，包括中部镂空的掩膜板体，所述掩膜板体的上表面设置有若干凸部。真空镀膜机为基体镀膜前，先将掩膜板体设置在真空镀膜机上靠近待镀基体的区域，从而将该区域遮住并使得基体放置于掩膜板体镂空的中部；真空镀膜机为产品镀膜时，镀料的原子部分被电离成离子，离子沉积于基体表面形成薄膜镀膜过程中，多余的离子会沉积在掩膜板体上，而由于掩膜板体的上表面设置有若干凸部，所以掩膜板体的上表面的粗糙度足够大，能够有效实现沉膜功能。因此，根据本实用新型实施例的金属掩膜板，能够吸收镀膜过程中多余的离子，对真空镀膜机起到了很好的保护作用。
- 金属掩膜板
- [实用新型]一种金属掩膜板-CN202320216814.3有效
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李泽鹏;刘雪;秦晓东;沈毅祥;金光哲
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海宁奕诺炜特科技有限公司
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2023-02-10
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2023-07-04
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C23C14/04
- 本实用新型提供一种金属掩膜板，包括上层金属掩膜板和下层金属掩膜板，上层金属掩膜板开设有若干引脚孔，上层金属掩膜板部分设置于下层金属掩膜板顶部，上层金属掩膜板与下层金属掩膜板可拆卸固定连接，上层金属掩膜板邻近下层金属掩膜板一侧开设有若干滑槽，下层金属掩膜板相对应滑槽固定有滑块，滑块与滑槽滑动配合，下层金属掩膜板邻近上层金属掩膜板一侧开设有卡槽，上层金属掩膜板相对应卡槽设置有卡块，卡槽与卡块可拆卸固定连接，本实用新型利用上层金属掩膜板开设若干引脚孔可对基板托盘引脚进行固定，下层金属掩膜板与上层金属掩膜板连接，对引脚孔进行遮盖，避免过多材料沉积在基板托盘引脚上且防止材料从引脚孔流至上层金属掩膜板背部。
- 一种金属掩膜板
- [发明专利]张网设备-CN201710929886.1有效
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姜亮;李金川
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深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
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2017-10-09
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2019-06-25
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H01L51/00
- 本发明提供一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；包括：张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，第一夹具固定于金属掩膜板的第一端部，第二夹具固定于金属掩膜板相对另一端的第二端部；水平板，可升降地设置于金属掩膜板上方；测量机构，设置于张网设备的工作区域内，用以对金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，磁吸机构，可升降地设置于水平板上方，用以吸附金属掩膜板，使得金属掩膜板产生形变；有益效果为：本发明提供的张网设备，在制作金属掩膜板时，模拟金属掩膜板在使用中的形变，通过检测形变后的金属掩膜板表面的金属图案位置信息，对金属掩膜板进行调整，进而得到高精度的金属掩膜板。
- 设备
- [发明专利]一种掩膜板和掩膜板制作方法-CN202011548822.5在审
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毕娜;白珊珊;刘月
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京东方科技集团股份有限公司
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2020-12-24
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2021-04-16
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C23C14/04
- 本发明公开了一种掩膜板和掩膜板制作方法，以改善现有技术在通过掩膜板形成发光基板的图案时，存在蒸镀位置不准确，容易产生混色的问题。所述掩膜板，用于采用光罩多分割曝光工序形成的母板进行遮挡，所述母板具有因多分割曝光工序形成无法曝光的基板无效区，其中，所述掩膜板包括：金属框架；支撑掩膜板，所述支撑掩膜板位于所述金属框架的一侧；至少一个精细金属掩膜条，所述精细金属掩膜条位于所述支撑掩膜板背离所述金属框架的一侧，具有多个用于对所述母板中子像素蒸镀发光薄膜的开口；支撑板，所述支撑板位于所述金属框架与所述精细金属掩膜板之间，用于对所述基板无效区进行遮挡，所述支撑板的厚度大于所述支撑掩膜板的厚度。
- 一种掩膜板制作方法
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