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[实用新型]一种用于金属掩膜板清洗机的吊具-CN201822090985.8有效
发明人：唐军 -专利权人：湖北浚山光电有限公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： B66C1/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板清洗机的吊具，包括矩形框架，矩形框架顶部装有与机械手配合的悬挂横杆，矩形框架底部内侧装有用于固定金属掩膜板的脚垫，矩形框架一侧面内部装有两根竖直的固定杆，两根竖直的固定杆之间的距离小于金属掩膜板的宽度，两根竖直的固定杆上还装有水平的支撑条，支撑条上装有一排若干个固定夹，所述固定夹包括固定安装在支撑条上的底座，底座顶部铰接有一把手，把手中间铰接有一根压条，压条末端装有可压紧金属掩膜板的橡胶垫；本实用新型装夹金属掩膜板固定可靠，装载或拆卸时不会划伤或磕碰金属掩膜板。
金属掩膜板矩形框架固定杆支撑条竖直压条本实用新型固定夹清洗机吊具铰接机械手底座顶部固定金属清洗技术悬挂横杆橡胶垫掩膜板磕碰划伤脚垫压紧装夹拆卸底座装载把手侧面配合

[发明专利]电流收集系统及其制备装置和制备方法-CN202010692914.4在审
发明人：姜鑫先;李博研;黄星烨;林舒平;钟大龙 -专利权人：神华（北京）光伏科技研发有限公司
申请日： 2020-07-17 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：所述电流收集系统的制备装置包括：真空溅射镀膜单元，用于将溅射产生的金属沉积到组件与掩膜板的贴合位置以形成金属栅线；以及按压单元，设置在所述组件和所述掩膜板的上方且与所述掩膜板相接触，用于使得所述组件与所述掩膜板的表面保持贴合状态本发明提供的电流收集系统的制备装置，通过设置按压单元以使得掩膜板能够与组件充分贴合，可以避免真空镀膜过程中的金属绕镀/浸润，通过上述方案制备的组件上的金属栅线能够与掩膜板形状和宽度保持一致，并且按压单元的存在可以有效解决组件表面不平整或者掩膜板形变等而影响金属线制备的问题
电流收集系统及其制备装置方法

[发明专利]一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法-CN202110781991.1有效
发明人：刘壮;高长水;刘鑫;于晓宇 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C25F3/14 文献下载
摘要：一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法，其特征是：根据金属电加热丝形状，设计制作第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板用于刻蚀电加热丝内部区域，第二掩膜板用于刻蚀电加热丝外部区域；同时制作平板式金属材质阴极；在硅胶薄膜上贴覆金属箔片，形成待刻蚀电加热薄膜；将第一掩膜板压紧待刻蚀电加热薄膜，对加热薄膜上的电加热丝进行刻蚀；然后采用第二掩模版替换掉第一掩模版，再次对电加热丝进行刻蚀，最终获得所需电加热丝线路。本发明环保性好，掩膜板可重复使用，且无需对每一个金属箔片贴覆感光胶和曝光，工艺简单，能够有效提高生产效率、降低成本、减少环境污染。
一种基于活动掩膜板金属加热电解刻蚀方法

[发明专利]一种分离金属掩膜板的方法-CN201110079275.5有效
发明人：程晔 -专利权人：昆山思拓机器有限公司
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： C25D1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种分离金属掩膜板的方法，包括如下步骤：(1)将形成有金属掩膜板的芯模板放置第一滑板上，所述第一滑板沿着第一方向可滑动；(2)将具有预定半径的导引滚轮以预定的压紧力施加在所述金属掩膜板上；以及(3)将金属掩膜板的一个自由端沿着第二方向绕所述导引滚轮朝向远离所述第一滑板的方向移动，以将所述金属掩膜板从所述芯模板分离。根据本发明的方法，可实现对高精度金属掩膜板进行自动剥离，从而提高了产品的质量和制造效率，同时降低工人的劳动强度，降低了成本。
一种分离金属掩膜板方法

[发明专利]拼接式精细金属掩膜板及其制作方法-CN201710453418.1有效
发明人：沐俊应 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-06-15 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种拼接式精细金属掩膜板及其制作方法。所述拼接式精细金属掩膜板将多个子掩膜板(3)对应安装在掩膜框(1)的多个安装槽(12)内拼接成大尺寸的掩膜板，于每一安装槽(12)底面与子掩膜框(31)底面之间设置数个独立控制的第一压电体(51)，于每一安装槽(12)侧面与子掩膜框(31)侧面之间设置数个独立控制的第二压电体(52)，相应的第一压电体(51)与第二压电体(52)在通电状态下受控发生精确的延伸或收缩使得子掩膜板(3)微移动来调节各个子掩膜板(3)的水平度与位置精度，能够提高精细金属掩膜板的精度及良率，降低制作成本，适用于制作大尺寸高解析度OLED显示器。
拼接精细金属掩膜板及其制作方法

[发明专利]一种金属掩膜板的制作方法-CN201711058352.2有效
发明人：屈晓娟;高志豪;陈凯凯 -专利权人：上海和辉光电股份有限公司
申请日： 2017-11-01 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制作领域，尤其涉及一种金属掩膜板的制作方法，包括：根据金属掩膜板的半刻图形，在基板表面涂布导电材料；在涂布了所述导电材料的所述基板表面进行电铸，形成第一电铸层；将所述第一电铸层从所述基板上剥离；对所述第一电铸层的第一面进行加工，形成所述金属掩膜板；所述金属掩膜板与第一面相对的第二面上具有所述半刻图形。本发明解决了现有技术中很难在金属掩膜板上形成半刻图形的问题。
一种金属掩膜板制作方法

[发明专利]掩膜板贴合装置以及其贴合方法-CN201711080476.0有效
发明人：戚海平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板贴合装置以及其贴合方法，涉及有机发光显示技术领域，用于提高金属掩膜与掩膜框架之间进行焊接时贴合的紧密性。本发明的主要技术方案为：一种掩膜板贴合装置，包括：本体，所述本体上具有压合单元，所述压合单元上具有出气口，所述出气口用于朝向掩膜板的贴合区域喷出压合气体。本发明主要用于使金属掩膜和掩膜框架之间进行贴合。
掩膜板贴合装置及其方法

[实用新型]掩膜板贴合装置-CN201721468140.7有效
发明人：戚海平 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板贴合装置，涉及有机发光显示技术领域，用于提高金属掩膜与掩膜框架之间进行焊接时贴合的紧密性。本实用新型的主要技术方案为：一种掩膜板贴合装置，包括：本体，所述本体上具有压合单元，所述压合单元上具有出气口，所述出气口用于朝向掩膜板的预设位置喷出压合气体。本实用新型主要用于使金属掩膜和掩膜框架之间进行贴合。
掩膜板本实用新型贴合装置金属掩膜压合单元出气口贴合掩膜有机发光显示预设位置紧密性喷出压合焊接

[实用新型]一种镀膜机用金属MASK掩膜板-CN202022643441.7有效
发明人：郝波;周峰;于佩强;胡业新 -专利权人：江苏日久光电股份有限公司
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜机用金属MASK掩膜板，包括金属MASK掩膜板本体，所述金属MASK掩膜板本体表面具有由16#绿碳化硅以及所述16#氧化铝喷砂制成的粗糙层。本实用新型提供了一种镀膜机用金属MASK掩膜板使用物理方法使其表面变粗糙，避免了金属MASK掩膜板因熔射造成的不良，提高了产品质量的稳定性，且该方法成本较低，相对提高了产品的价格优势。
一种镀膜金属 mask 掩膜板

[发明专利]掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法-CN202110463597.3有效
发明人：沈阔 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开提供一种掩膜板框架、掩膜板组件及其制作方法。所述掩膜板框架包括：框架本体，所述框架本体包括有开口；所述掩膜板框架还包括：沿所述开口的边缘设置的导轨，以及可拆卸的设置于所述导轨的滑块；所述滑块用于固定精密金属掩膜板或支撑掩模板；所述滑块设置有锁定机构本公开实现掩膜板框架循环多次利用，有效的降低了成本，还能够提升更换精密金属掩膜板、支撑掩模板时的处理效率，并能够解决直接焊接固定影响掩膜板框架的平坦度的问题，保证显示效果。
掩膜板框架组件及其制作方法

[发明专利]一种精细掩膜板张网过程分析方法-CN201410515610.5在审
发明人：嵇凤丽;玄明花;白珊珊;刘建涛;许静波 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2014-09-29 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种精细掩膜板张网过程分析方法，该分析方法基于ANSYS软件的仿真功能，通过建立精细掩膜板的有限元模型和金属框架的有限元模型，以寻找到合适的用于拉伸精细掩膜板的拉力以及使每一条精细掩膜板焊接在金属框架前对应施加在金属框架上真实对抗力，该分析过程无需进行实物测试，从而可有效避免精细掩膜板的损坏，进而有效的节约了测试成本。
一种精细掩膜板张网过程分析方法

[实用新型]一种OLED金属掩膜板切割装置-CN202022303733.6有效
发明人：唐军 -专利权人：安徽浚颍光电有限公司
申请日： 2020-10-16 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B23D45/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种OLED金属掩膜板切割装置。所述OLED金属掩膜板切割装置包括箱体；两个推杆电机，两个所述推杆电机均固定安装在所述箱体的顶部内壁上；安装板，所述安装板固定安装在两个所述推杆电机的输出杆的底端；机座，所述机座固定安装在所述安装板的底部本实用新型提供的OLED金属掩膜板切割装置具有可在对金属掩膜板执行切割工作时就能对金属掩膜板进行压紧固定，避免其切割时发生移动，而无需额外的对金属掩膜板的固定操作，节省时间，提高切割速度，进而提高生产效率的优点
一种 oled 金属掩膜板切割装置

[发明专利]掩膜板和其制备方法及使用该掩膜板制备光伏组件的方法-CN202010403021.3有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：杭州纤纳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板包括框架，在框架内设置掩膜工作区域，在掩膜工作区域内设置多条掩膜线，多条掩膜线将掩膜工作区域分隔成多个镀膜工作区，掩膜线的截面包括金属纤维层和陶瓷层，陶瓷层凸设在金属纤维层的底面；掩膜线的截面为矩形，其宽度为50微米~100微米，其中，金属纤维层的厚度为1微米~100微米，陶瓷层的厚度为1微米~1毫米。本发明还公开一种该掩膜板的制备方法及使用该掩膜板制备光伏组件的方法。
掩膜板制备方法使用组件

[发明专利]一种蒸镀掩膜板-CN201910337072.8有效
发明人：王伟杰;朱海彬;张峰杰;孙中元 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请涉及有机发光二极管领域，公开了一种蒸镀掩膜板，包括掩膜板框架本体和多个金属掩膜条，其中，掩膜板框架本体包括：边框；设置于边框内、用以将边框内部空间分割成与金属掩膜条对应的蒸镀开口的支撑条，其中，支撑条的至少一部分具有凸起部，凸起部的顶部具有用于与玻璃基板吸附贴合的贴合面，支撑条具有用于与金属掩膜条搭接的支撑面；贴合面与支撑面之间的高度差大于金属掩膜条的厚度。本申请公开的蒸镀掩膜板，当凸起部与玻璃基板吸附贴合时，玻璃基板和支撑面之间形成了间隙，保证金属掩膜条能够更好地伸展铺平，可有效地消除因为支撑条挤压而带来的褶皱富集现象，从而有效地减小了蒸镀的混色不良，达到了提高蒸镀良率的目的
一种蒸镀掩膜板

[发明专利]掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法-CN201610353518.2在审
发明人：唐军 -专利权人：唐军
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2016-07-20 - 主分类号： G03F1/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法，其中，掩膜板光罩适于采用光蚀刻法在一金属基板上蚀刻形成蒸镀孔，包括透明基板金属膜片，透明基板具有第一平面及与所述第一平面相背的第二平面；金属膜片平铺于所述第一平面，且所述金属膜片上形成有多个镂空孔，所述镂空孔的尺寸与所述蒸镀孔的预定尺寸相等。根据本发明提供的掩膜板光罩，确保蚀刻形成的蒸镀孔尺寸和形状的精度更高，同时，操作简单，工艺过程更加简单，效率更高，形成的掩膜板产品的良率更高。
掩膜板光罩制作方法掩膜板