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[发明专利]一种金属成膜掩膜板的清洗方法-CN201410812632.8在审
发明人：周扬川;柯贤军;吴俊雄;冉应刚;苏君海;黄亚清;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2014-12-24 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明公开一种金属成膜掩膜板的清洗方法，包括以下3个步骤：S1：在掩膜板的表面蒸镀一层有机层；S2：将步骤S1得到的蒸镀有有机层的掩膜板放入金属成膜腔体进行金属蒸镀；S3：将步骤S2得到的掩膜板放入有机溶液中清洗本发明可以将金属成膜掩膜板的清洗运用在有机溶剂的清洗机中清洗，有效防止运输过程中引起的不便，同时可以节约外送清洗掩膜板的成本。
一种金属成膜掩膜板清洗方法

[发明专利]一种掩膜版、制作方法及制作夹具-CN202210105205.0在审
发明人：刘鑫;郑庆靓;李博;吴义超;赵阳;周俊吉 -专利权人：成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版、制作方法及制作夹具，涉及显示设备技术领域；技术方案：掩膜版本体工作面上拱，能够提高掩膜版本体的结构强度，减小掩膜版本体因材料本身刚度、重力和受热膨胀的下垂量，或避免掩膜版本体下垂，以通过掩膜版本体支撑金属精细掩膜版，减小金属精细掩膜版的下垂量或避免金属精细掩膜版，从而降低显示屏混色比例和混色风险，提高显示屏的成品率。掩膜版制作方法，在掩膜版本体的工作面涂覆张应力涂层或在掩膜版本体结构面涂覆压应力涂层，均可获得前述的掩膜版本体。掩膜版制作夹具，包括掩膜版边框装载框和支撑板，支撑板位于装载框上端且各侧与装载框对应的侧壁连接，可通过支撑板可对掩膜版提供支撑。
一种掩膜版制作方法制作夹具

[发明专利]组合掩膜板及其支撑掩膜板-CN202010762862.3在审
发明人：赵艳秋;张微;周瑞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开涉及显示技术领域，提供了一种组合掩膜板及其支撑掩膜板。所述组合掩膜板用于制备可穿戴显示器，包括相对设置的支撑掩膜板和精细金属掩膜板，所述精细金属掩膜板设有与可穿戴显示器的显示区对应的像素开口区。所述支撑掩膜板包括板体。该板体设有蒸镀孔，所述像素开口区位于所述精细金属掩膜板对应于所述蒸镀孔的区域内；所述板体位于所述蒸镀孔以外的区域设有开孔区，所述开孔区设有通孔。
组合掩膜板及其支撑

[实用新型]一种具有防护功能的金属掩膜板转运装置-CN202221462604.4有效
发明人：唐军 -专利权人：湖北浚山光电有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有防护功能的金属掩膜板转运装置，属于掩膜板转运技术领域，其包括台面板，所述台面板的上表面开设有若干个放置槽，所述放置槽内设置有固定板，所述固定板的正面开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有第一滑块，所述第一滑块的正面与第一限位板的背面固定连接；该具有防护功能的金属掩膜板转运装置，通过设置第一限位板、第一限位槽、三角板、滑轮和限位块，该转运装置在金属掩膜板传输的过程中可以对金属掩膜板进行限位和固定，从而避免金属掩膜板在传输的过程中出现颠簸和磕碰导致其损坏的情况，进而减少了不必要的经济损失，且通过对金属掩膜板进行限位和固定，有效的保证了金属掩膜板传输的稳定性。
一种具有防护功能金属掩膜板转运装置

[发明专利]掩膜板及其制备方法-CN201210401411.2无效
发明人：周明杰;梁艳馨;陈贵堂 -专利权人：海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： G03F1/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板，包括衬底和沉积在所述衬底的一侧的薄膜层；所述衬底上设置有通孔，所述薄膜层与所述通孔对应的区域设置有掩膜图案，所述薄膜层的材质为金属或金属氧化物。上述掩膜板包括衬底和沉积在衬底一侧的薄膜层，衬底上设置有通孔，并且薄膜层与所述通孔对应的区域设置有掩膜图案，衬底的材质为金属或金属氧化物。和传统的掩膜板相比，这种掩膜板的衬底的材质不局限于透明材质，而是不透明材质，消除了传统的掩膜板对衬底的材质选择的限制。本发明还提供一种上述掩膜板的制备方法。
掩膜板及其制备方法

[发明专利]用于蒸镀掩膜板的金属基复合材料、蒸镀掩膜板及其制备方法-CN201310095144.5有效
发明人：张其国;黄成沛;黄初旺 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： C22C38/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于蒸镀掩膜板的金属基复合材料、蒸镀掩膜板及其制备方法。该金属基复合材料包括基体和弥散于所述基体中的增强相，其中，所述基体为铁镍合金，所述增强相为非金属颗粒，所述非金属颗粒在基体中的体积比为20-50vol%。本发明提出的用于蒸镀掩膜板的金属基复合材料，密度降低，弹性模量升高，避免掩膜板因重力而悬垂，并且本发明提出的蒸镀掩膜板的制备方法，能够提高掩膜板的整体性能，并且节约原料，降低成本。
用于蒸镀掩膜板金属复合材料及其制备方法

[发明专利]金属掩膜条、金属掩膜板及其修复方法-CN201810251345.2有效
发明人：罗昶;吴建鹏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2018-03-26 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属掩膜条、金属掩膜板及其修复方法，属于蒸镀工艺领域。所述金属掩膜条包括图形区域和至少两对焊接区域，所述图形区域位于所述金属掩膜条的中部，每对所述焊接区域包括两个对称设置在所述图形区域两侧的焊接区域，位于所述图形区域的同一侧的至少两个焊接区域沿所述金属掩膜条的长度方向间隔布置通过设置多对焊接区域，使得在采用外侧焊接区域与框架焊接的焊点出现松动等情况时，可以采用内侧焊接区域与另一个尺寸较小的框架重新焊接进行使用，无需丢弃金属掩膜条，使得金属掩膜条可以重复使用，降低了金属掩膜板的生产成本
金属掩膜条掩膜板及其修复方法

[实用新型]一种蒸镀遮罩结构-CN202021448167.1有效
发明人：温质康;林佳龙;乔小平 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2020-07-21 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀遮罩结构，包括金属掩膜板，金属掩膜板的非镂空区域的一侧面上依次层叠设有可剥离的有机物层和蒸镀薄膜层，有机物层分别与金属掩膜板和有机薄膜层接触，外设的玻璃基板位于蒸镀薄膜层的上方，外设的蒸发源位于金属掩膜板的下方，通过在金属掩膜板的非镂空区域的一侧面上依次层叠设置可剥离的有机物层和蒸镀薄膜层，这样使得能够使用激光剥离装置对金属掩膜板上的有机物层进行剥离，得到一个全新干净的金属掩膜板
一种蒸镀遮罩结构

[实用新型]一种掩膜板-CN202020787863.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：杭州纤纳光电科技有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板包括框架，在框架内设置掩膜工作区域，在掩膜工作区域内设置多条掩膜线，多条掩膜线将掩膜工作区域分隔成多个镀膜工作区，掩膜线的截面包括金属纤维层和陶瓷层，陶瓷层凸设在金属纤维层的底面；掩膜线的截面为矩形，其宽度为50微米~100微米，其中，金属纤维层的厚度为1微米~100微米，陶瓷层的厚度为1微米~1毫米。本实用新型通过在金属纤维层的上方沉积一层陶瓷层，增加了金属纤维层的厚度和刚性，本实用新型改进后的掩膜板可以与玻璃或功能层的基底紧密贴合，防止镀膜时有机小分子或金属原子钻进未紧密覆盖的区域而影响掩膜效果。
一种掩膜板

[发明专利]一种薄片金属复合湿法蚀刻方法-CN202310847132.7有效
发明人：潘燕萍;熊超 -专利权人：江苏乐萌精密科技有限公司
申请日： 2023-07-12 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C23F1/14 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种薄片金属复合湿法蚀刻方法。该薄片金属复合湿法蚀刻方法包括以下步骤：将共通金属掩膜板的表面进行清洗并烘干清洗液，并在共通金属掩膜板的外表面设计外形切口；使用半导体切割机沿共通金属掩膜板的外形切口进行间歇式切割以产生点断式的外形切口；在外周面贴附光阻膜，随后进行曝光、显影处理；将显影后的共通金属掩膜板放置进入蚀刻机中对外形切口进行溶解及蚀刻，从而在共通金属掩膜板中开设形成光滑地外形切口；将共通金属掩膜板从蚀刻机中取出并烘干化学溶液，且对外周面的光阻膜进行退膜处理。
一种薄片金属复合湿法蚀刻方法

[实用新型]一种便于回收的金属掩膜板剥离装置-CN202121596907.0有效
发明人：唐军 -专利权人：湖北浚山光电有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C25D1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于回收的金属掩膜板剥离装置，属于金属掩膜板技术领域，其包括工作台，所述工作台的上表面与固定板的下表面固定连接，所述固定板内卡接有支撑轴承，所述支撑轴承内套接有第一电动伸缩杆。该便于回收的金属掩膜板剥离装置，通过放置板、第一电动伸缩杆、支撑块、限位板、挤压板、支撑滑块和限位滑槽，使得两个限位板向金属掩膜板的前后两侧面靠近，同时限位板在移动过程中带动支撑滑块沿着限位滑槽的轨迹进行移动，保证了限位板在移动过程中的稳定性，从而带动两个挤压板进行移动，进而对金属掩膜板的前后两侧挤压固定，进而对不同尺寸的金属掩膜板进行固定，避免待剥离的金属掩膜板容易出现偏移晃动的情况。
一种便于回收金属掩膜板剥离装置

[发明专利]一种掩膜板结构及其制备方法-CN202110993039.8在审
发明人：沈志昇 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开一种掩膜板结构及其制备方法，其包括掩膜板主体，所述的掩膜板主体上嵌设有金属部件，所述掩膜板主体采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主体上对应各金属部件分别设有安装槽，安装槽至少一端为敞口，所述金属部件的横截面形状与安装槽的横截面形状相适配且均为上小下大的形状，金属部件由安装槽的敞口滑入并嵌设于安装槽内，且金属部件连接有限制其在安装槽内横移的限位件。本发明能够提高金属掩膜板的抗形变能力并确保开孔位置的精度。
一种板结及其制备方法

[实用新型]一种掩膜板结构-CN202122039635.0有效
发明人：沈志昇 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种掩膜板结构，其包括掩膜板主体，所述的掩膜板主体上嵌设有金属部件，所述掩膜板主体采用陶瓷或大理石成型，掩膜板主体上对应各金属部件分别设有安装槽，安装槽至少一端为敞口，所述金属部件的横截面形状与安装槽的横截面形状相适配且均为上小下大的形状，金属部件由安装槽的敞口滑入并嵌设于安装槽内，且金属部件连接有限制其在安装槽内横移的限位件。本实用新型能够提高金属掩膜板的抗形变能力并确保开孔位置的精度。
一种板结

[发明专利]一种高精度金属掩膜板及制造方法、高精度金属掩膜装置-CN201810327409.2在审
发明人：高志豪 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2018-04-12 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明揭示一种高精度金属掩膜板及制造方法、高精度金属掩膜装置。所述高精度金属掩膜板包括：至少一显示遮挡区，所述显示遮挡区包括多个开口以及环绕所述开口的非开口区；以及非显示遮挡区，环绕所述显示遮挡区，其中，所述非显示遮挡区包括至少一第一掩膜强化区，所述第一掩膜强化区的板厚大于所述非开口区的板厚该高精度金属掩膜板可以使具有较高的精度的同时，兼具较高的强度，避免其在张网过程中出现褶皱的问题，提高其质量和精度。
遮挡区金属掩膜板金属掩膜开口区板厚掩膜开口环绕褶皱张网制造

[发明专利]一种金属掩膜板表面氧化铝膜层及其制备方法-CN202211603496.2在审
发明人：吕先锋;邱俊;黄熙;王永涛 -专利权人：四川富乐德科技发展有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C25D11/16 文献下载
摘要：本发明属于金属掩膜板表面处理技术领域，提供了一种金属掩膜板表面氧化铝膜层及其制备方法。该方法包括：(1)依次去除掩膜板的表面颗粒物和水分，高温烘烤后将掩膜板预抽真空；(2)掩膜板于工艺腔中溅射纯铝膜层；(3)接着将金属掩膜板输送至微弧氧化槽；(4)微弧氧化工艺包括：先将电压上升至280‑320V，并保持5‑10s，然后将阳极氧化电压上升至430‑480V，采用电解液进行电解5‑10min；(5)接着将掩膜板依次进行清洗、封孔、干燥。该制备方法通过采用磁控溅射纯铝与微弧氧化工艺相结合，配合本申请的工艺条件，能够显著减少膜层的制备时间，并同时提高膜层的均匀性，制备得到质量优异的金属掩膜板表面氧化铝膜层。
一种金属掩膜板表面氧化铝及其制备方法