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[发明专利]OLED掩模板的测量焊接装置-CN201210006705.5有效
发明人：魏志凌;高小平;潘世弥 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-11 - 公布日： 2013-07-17 - 主分类号： B23K26/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于OLED掩模板的测量焊接装置，包括测量待测物体的形貌的测量单元、将需要固定的对象固定到其它物件上固定单元；测量单元包括金属掩膜板面形测量子单元和金属掩膜板精度测量子单元；金属掩膜板面形测量子单元是高度传感器、千分表或三坐标测量头，金属掩膜板精度测量子单元包括CCD相机和光学镜头；固定单元为激光焊接器；测量单元与所述固定单元均受控制系统控制；测量焊接装置固定在所述运动机构上，所述运动机构使所述测量焊接装置可以相对被测量焊接的掩膜板在六个空间方位上进行移动本发明将OLED掩膜板制作后期的模板质量检测及模板固定整合到一体机构，节约了机台空间占位，且减少了操作的繁琐性、人工的成本以及OLED掩膜板的生产周期。
oled 模板测量焊接装置

[实用新型]OLED掩模板的测量焊接装置-CN201220009867.X有效
发明人：魏志凌;高小平;潘世弥 -专利权人：昆山允升吉光电科技有限公司
申请日： 2012-01-11 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： B23K26/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种OLED掩模板的测量焊接装置，包括测量待测物体的形貌的测量单元、将需要固定的对象固定到其它物件上固定单元；测量单元包括金属掩膜板面形测量子单元和金属掩膜板精度测量子单元；金属掩膜板面形测量子单元是高度传感器、千分表或三坐标测量头，金属掩膜板精度测量子单元包括CCD相机和光学镜头；固定单元为激光焊接器；测量单元与所述固定单元均受控制系统控制；测量焊接装置固定在所述运动机构上，所述运动机构使所述测量焊接装置可以相对被测量焊接的掩膜板在六个空间方位上进行移动本实用新型将OLED掩膜板制作后期的模板质量检测及模板固定整合到一体机构，节约了机台空间占位，且减少了操作的繁琐性、人工的成本以及OLED掩膜板的生产周期。
oled 模板测量焊接装置

[发明专利]精细金属掩膜板及其制备方法-CN202211741482.7在审
发明人：陈霞玲;潘仲光 -专利权人：常州友机光显电子科技有限公司
申请日： 2022-12-31 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： C23C22/24 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种精细金属掩膜板及其制备方法。此制备方法通过电铸形成掩膜层，在掩膜层上形成钝化层，以及在钝化层上通过电铸形成牺牲层，以获得具有堆叠结构的掩膜条。在后续将掩膜条固定在框架的步骤中，牺牲层可提升整体的结构强度，避免掩膜层在绷网的操作过程中产生折痕、褶皱等缺陷，并且使掩膜条容易固定在框架上。之后，将牺牲层从钝化层上移除，从而获得具有目标厚度的精细金属掩膜板。在本申请实施例中，通过上述制备方法可以提升产品良率、降低对张网设备的精度要求。
精细金属掩膜板及其制备方法

[发明专利]一种金属掩膜版及其制作方法-CN201610855271.4在审
发明人：王国兵 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属掩膜版及其制作方法。所述金属掩膜版的制作方法包括提供一金属基板；在所述金属基板上形成图形化的介质层；在所述金属基板以及所述介质层上形成掩膜材料层；去除所述介质层以及所述介质层上的所述掩膜材料层；以及分离所述金属基板与剩余的所述掩膜材料层,以利用剩余的所述掩膜材料层构成所述金属掩膜版。本发明实施例提供的技术方案，省去了现有技术中的湿法刻蚀工艺，避免了湿法刻蚀工艺导致的金属掩膜版精度低的问题，达到了提高金属掩膜版精度的有益效果。
一种金属掩膜版及其制作方法

[发明专利]一种制作掩膜板的方法和掩膜板-CN201110434246.6无效
发明人：张雪峰;柯贤军;苏君海;何基强;李建华 -专利权人：信利半导体有限公司
申请日： 2011-12-21 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种制作掩膜板的方法和掩膜板，该方法包括：提供一指定厚度的玻璃基板；依据设定的掩膜图案，在该玻璃基板上制作出蒸镀所需的孔洞和对位标；将制作出孔洞和对位标的玻璃基板粘贴到与该玻璃基板相匹配的掩膜金属框架中，得到蒸镀用掩膜板。利用该方法制作掩膜板无需采用复杂的焊接工艺，制作工艺简单，且该方法制作的掩膜板在空气中不会被腐蚀，比较容易维护。
一种制作掩膜板方法

[发明专利]多项目晶圆的芯片制造方法及多项目晶圆的外层金属掩膜板-CN201110358724.X有效
发明人：李付军;杜鹏;王锴;蔡建祥 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2011-11-11 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：本发明公开一种多项目晶圆的芯片制造方法，包括以下步骤：在与目标芯片的最外层金属对应的掩膜板上增设阻挡金属图形，所述阻挡金属图形对应于与目标芯片同属一个街区的制程外芯片；利用所述增设了阻挡金属图形的掩膜板对多项目晶圆上的最外层金属进行图形化处理；在进行图形化处理后的最外层金属上淀积绝缘介质层以及钝化层；利用对应于所述掩膜板的PAD层掩膜板，对所述绝缘介质层及钝化层进行图形化处理，形成PAD。以及一种适用上述方法的多项目晶圆的外层金属掩膜板。制程外芯片表面的绝缘介质层和钝化层被图形化后，形成的接触孔会在阻挡金属层之上，刻蚀、清洗等步骤不会在制程外芯片上造成缺陷。
多项目晶圆芯片制造方法外层金属掩膜板

[发明专利]对光学镀膜基片进行金属化掩膜的方法-CN202111563550.0在审
发明人：张贻海;张秀明;李剑;王丽娟;孟凡华 -专利权人：唐山斯腾光电科技有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种对光学镀膜进行金属化掩膜的方法，包括：根据金属化掩膜的图案制作掩膜框架，根据掩膜框架的窗口形状制作窗口封片，窗口封片与掩膜框架能够无缝对接，形成与金属化掩膜光学镀膜基片截面积相同的平面；将掩膜框架与光学镀膜对齐贴合，在掩膜框架的窗口涂抹胶水；将窗口封片嵌入掩膜框架的窗口，通过胶水将窗口封片固定在光学镀膜，进行烘干定型；在形成的光学镀膜上整体镀金属膜；用纯水洗去胶水，使窗口封片脱落，得到金属化掩膜光学镀膜。本发明得到的金属化掩膜光学镀膜基片中光学膜和金属膜界限清晰，并且该方法的工艺简单、成本低、环保，整个工艺过程不需要化学试剂，适合批量生产。
光学镀膜进行金属化方法

[发明专利]基于金属掩膜刻蚀的ALD约瑟夫森结制备方法-CN202211302053.X在审
发明人：单征;穆清;王淑亚;李中祥;刘福东;孙回回;张琴 -专利权人：中国人民解放军战略支援部队信息工程大学
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：本发明涉及基于金属掩膜刻蚀的ALD约瑟夫森结制备方法。包括：在衬底上定义下层金属掩膜图形，沉积金属薄膜，得到下层金属层；将底层金属掩膜图形转移到下层金属层，形成下层金属掩膜；去除下层金属掩膜表面的自然氧化层；在真空中器件原位传输到薄膜生长腔室一次性生长底层>O3势垒层、顶层Al电极，形成Al/Al2O3/Al约瑟夫森结；定义上层金属掩膜图形，沉积金属薄膜，得到上层金属层；将上层金属掩膜图形转移到上层金属层，形成上层金属掩膜，选择性刻蚀，形成下层金属掩膜/约瑟夫森结（Al/Al2O3/Al）/上层金属掩膜。
基于金属刻蚀 ald 约瑟夫制备方法

[实用新型]一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备-CN202220200746.7有效
发明人：张庆明 -专利权人：全洋（黄石）材料科技有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，属于AMOLED金属掩膜板技术领域，其包括底盘，所述底盘的上表面与机体保持架的下表面固定连接，所述机体保持架内壁的左侧面设置有酸碱存放槽该连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗设备，通过设置盐酸存放槽、第三漂洗槽和第四漂洗槽，避免清洗过程中会有交叉污染风险，并大幅降低人力成本、多套单一设备等成本浪费，并且有多道药液浸泡除膜后进行纯水漂洗，漂洗后最后采用纯水加热，使金属掩膜板平均受热后，再倾阧30度抬取的方式，让金属掩膜板能快速干燥，取代市面上较多使用IPA浸泡后恢发的工艺，先纯水加热方式干燥即能达到环保要求，又能达到金属表面洁净的效果
一种连续 amoled 金属掩膜板自动智能清洗设备

[发明专利]一种掩膜板及其制作方法-CN201810833914.4在审
发明人：王慧娟;董学;王瑞勇;陈敏琪;魏从从 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2018-07-26 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板及其制作方法，属于显示技术领域，其可至少部分解决现有的掩膜板的精度低以及张网困难的问题。本发明的一种掩膜板的制作方法，包括：在第一掩膜图案的保护下对硬质材料的基板的第一表面进行刻蚀，形成包括多个微柱的图形，其中，刻蚀后形成的基板的无微柱的表面为第三表面，微柱对应掩膜板开口，且全部微柱分布于多个构图区中，相邻构图区间为无微柱的间隔区；在第三表面上形成金属层，硬质材料的硬度大于金属层的硬度；在第二掩膜图案的保护下对基板与第一表面相对的第二表面进行刻蚀，去除保留区外的全部基板，使金属层形成具有开口的掩膜板本体，使保留区的剩余基板形成位于间隔区中的与掩膜板本体连接的支撑结构。
掩膜板微柱金属层基板刻蚀第一表面掩膜图案硬质材料保留区间隔区开口制作第二表面剩余基板支撑结构对基板去除张网

[实用新型]一种金属掩膜板-CN201521092001.X有效
发明人：杨乐;刘挺;岳玲;周宏伟;徐西昌 -专利权人：西安龙腾新能源科技发展有限公司
申请日： 2015-12-25 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G03F1/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属掩膜板，该金属掩膜板的栅源图形识别标志区域设置有用于识别GATE 极性和SOURCE极性的图形。本实用新型在不改造老旧封装设备的基础上，修改产品的金属掩膜板的图形，提高芯片表面不同极性之间的辨识度，使老旧设备能正确识别极性，完成封装目的。
一种金属掩膜板

[发明专利]一种解决蒸镀掩膜板与基板贴合不良的方法-CN202310674471.X在审
发明人：张良睿;曹绪文;晋芳铭;孙圣;陆炎;李亮亮;荣长停;陈蒙;李启明;李阳阳;林进志 -专利权人：安徽芯视佳半导体显示科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种解决蒸镀掩膜板与基板贴合不良的方法，在整个硅基掩膜板上(包括蒸镀区和非蒸镀区)电镀磁性金属，材质可以SUS或者Invar,如此使硅基掩膜板具有导磁特性，使硅基掩膜板与基板能紧密贴合。可以有效的提高硅基掩膜板与待蒸镀基板的贴合能力，减少shadow effect，shadow effect降低98.5％，因而减低混色异常。
一种解决蒸镀掩膜板贴合不良方法

[实用新型]一种精密金属掩膜板-CN202021869285.X有效
发明人：谭照明 -专利权人：深圳市鑫旺兴电子有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种精密金属掩膜板，包括方形箱本体，所述方形箱本体的内部固定安装有方环形支撑块，所述方环形支撑块的四角均固定安装有圆形插接块，四个圆形插接块的内部均开设有圆形通孔，四个圆形通孔的内部均固定安装有卡接机构，所述方形箱本体的内部插接有金属掩膜板，所述金属掩膜板后侧的四角均开设有圆形插接槽。该实用新型，通过设置方形箱本体、方环形支撑块、圆形插接块、圆形通孔、卡接机构、圆形挡块、伸缩杆、固定块、金属掩膜板、圆形插接槽、固定槽、挤压弹簧、限位槽和限位块的配合使用，解决了现有安装的过程麻烦，不利于快速安装的问题，该精密金属掩膜板，具备快速安装的优点。
一种精密金属掩膜板

[发明专利]一种用于铜互连的金属硬掩膜层的制备方法-CN201210208918.6无效
发明人：徐强 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2012-06-21 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：一种用于铜互连的金属硬掩膜层的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底上沉积膜系的金属硬掩膜层及所述金属硬掩膜层之前段工艺膜层；对所述膜系的金属硬掩膜层进行热退火处理；在所述膜系之金属硬掩膜层上继续沉积二氧化硅薄膜使用本发明所述铜互连的金属硬掩膜层的制备方法可以在不影响金属硬掩膜层的电阻率均匀性的前提下降低所述金属硬掩膜层的应力，减小所述金属硬掩膜层下层薄膜由于受到所述金属硬掩膜层的高应力而产生变形现象发生的可能性
一种用于互连金属硬掩膜层制备方法

[实用新型]一种方便清理的金属掩膜板清洗装置-CN202221462847.8有效
发明人：唐军 -专利权人：湖北浚山光电有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种方便清理的金属掩膜板清洗装置，属于金属掩膜板技术领域，其包括底板，所述底板的上表面设置有喷洒组件，所述底板内开设有凹槽，所述斜板的上表面与推动杆的下表面搭接，所述斜板内开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内壁与推动杆的外表面滑动连接；该方便清理的金属掩膜板清洗装置，通过设置卡板、卡槽、斜板、凹槽、推动杆、连接板和转板，该清洗装置通过采用限位槽、卡板和卡槽的设计，使金属掩膜板进行清洁时能够处于一定的倾斜角度，在清洗金属掩膜板时表面的水渍和杂质会随之掉落到工作台的内部，避免了杂质残留在工作台的周边而发生堆积的现象，不仅降低了操作人员的工作强度，且也保障了该清洗装置的适用性。
一种方便清理金属掩膜板清洗装置

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