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[实用新型]一种龙门式二次元影像量测设备快速定位系统-CN201520958422.X有效
发明人：郑杰仁;郭进顺;张家齐 -专利权人：昆山万像光电有限公司
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2016-06-08 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种龙门式二次元影像量测设备快速定位系统，包括龙门式二次元量测设备，其特征在于：所述的龙门式二次元量测设备设有横梁，所述的横梁上设有悬臂，所述的悬臂的Z轴上加设了大视野影像系统，所述的大视野影像系统安装有PLC，所述的悬臂的下方为量测仪测量平台，所述的量测仪测量平台分为多个视图区，所述的横梁沿量测仪测量平台的X轴方向移动，所述的悬臂可沿量测仪测量平台的Y轴方向移动。与现有技术相比：本技术方案将大视野影像系统增设到龙门式二次元影像量测设备中，利用大视野影像系统视场较大的优点，快速实现量测仪全量程影像取图，使用影像拼接技术，完成图像位置和量测仪坐标转换，实现了量测仪全量程范围的快速定位
一种龙门二次元影像设备快速定位系统

[发明专利]一种引入PMU量测信息的大电网状态估计方法-CN201410077078.3有效
发明人：赵昆;颜磊;李理;王少芳;宋旭日;贾育培;王磊;郎燕生;李强;李森 -专利权人：国家电网公司;中国电力科学研究院
申请日： 2014-03-04 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： H02J3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种引入PMU量测信息的大电网状态估计方法，包括以下步骤：判断电力系统的代数可观性；判断PMU量测信息的可观性；进行大电网的状态估计。本发明提供一种引入PMU量测信息的大电网状态估计方法，基于快速分解估计算法，有效利用PMU量测信息，增加量测冗余度，提高了估计精度；并保证计算效率和计算速度，满足电力系统的实时在线要求。
一种引入 pmu 信息电网状态估计方法

[发明专利]大掺量矿物掺合料混凝土测强曲线的建立方法-CN201510198301.4有效
发明人：张云升;杨永敢 -专利权人：东南大学
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了大掺量矿物掺合料混凝土的测强曲线及建立方法，其中建立方法包括如下步骤按照矿物掺量30%‑50%，制作大掺量矿物掺合料混凝土试块；对制作的试块进行自然养护；对试块进行回弹值测试得到回弹值；通过施加破坏极限荷载得到抗压强度；测量破坏试块的碳化深度得到碳化深度值；根据测量的回弹值、抗压强度以及碳化深度值，得到测强曲线方程。依据此测强曲线可以检测大掺量矿物掺合料混凝土的抗压强度。相比于国家统一的测强曲线，建立的大掺量矿物掺合料混凝土回弹测强曲线更具有可靠性和准确性。这对于大掺量矿物掺合料混凝土的质量检测和评定具有重要的意义。
大掺量矿物掺合混凝土曲线建立方法

[发明专利]一种考虑状态估计大误差点的电网线路参数在线辨识方法-CN201410333861.1在审
发明人：金学成;王鹏;汤磊;邹根华;郭玉金;潘冬;罗琦;应忠德;房金彦;孙玥 -专利权人：国家电网公司;国网江西省电力公司;北京清大高科系统控制有限公司
申请日： 2014-07-14 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： G01R27/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种考虑状态估计大误差点的电网线路参数在线辨识方法，属于电力系统控制技术领域；该方法包括：利用状态估计计算出线路量测点的状态估计值，并获取线路量测点的量测值与状态估计值的偏差；将偏差大于设定的阈值的量测点定义为量测大误差点，该量测点所对应的线路设为可疑线路；以线路两端量测数据和线路连接的母线所有设备量测的数据累加值是否平衡为判据，辨识可疑线路是否存在量测数据错误。对于其中量测数据正常的线路，根据量测值与状态估计值的偏差，采用变步长积分法逐步改变线路参数，利用获得改变参数后估计值；将其中量测值与估计值偏差最小的参数设为线路的估计参数。
一种考虑状态估计误差电网线路参数在线辨识方法

[发明专利]量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法-CN202110769250.1在审
发明人：李想 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法，量测装置包括治具晶圆，治具晶圆包括：晶圆；测距传感器，设置于晶圆的正面，用于在治具晶圆置于反应腔室的晶圆吸盘上后量测治具晶圆与位于反应腔室顶部的上电极之间的距离；水平传感器，设置于晶圆的正面，水平传感器用于在治具晶圆置于晶圆吸盘上后量测晶圆吸盘的水平状况；数据传送装置，与测距传感器及水平传感器相连接，用于传送测距传感器量测的数据及水平传感器量测的数据。本申请中的量测装置避免了人工测量产生的误差，准确性较高；无需打开反应腔室即可实时地获取晶圆吸盘的水平状况，能够提升反应腔室工作的安全性和可靠性。
装置补偿系统方法

[发明专利]衬底和量测用图案形成装置、量测方法及器件制造方法-CN201580024794.8有效
发明人： R·奎因塔尼拉;W·M·J·M·科内 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-04-16 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：所施加的图案包括产品特征和量测目标(600，604)。量测目标包括用于使用X射线散射(量测设备104)测量重叠的大目标(600a)和用于通过可见辐射的衍射(量测设备102)测量重叠的小目标(600b，604)。小目标(604)中的一些分布在大目标之间的位置处，而其他小目标(600b)被放置在与大目标相同的位置处。通过将使用相同位置处的小目标(600b)和大目标(600a)测得的值进行比较，使用所有小目标测得的参数值(704)可以被校正用于更好的准确度。大目标可以主要位于划道(SL)内而小目标分布在产品区域(602，D)内。
衬底量测用图案形成装置方法器件制造

[发明专利]一种冷轧厂钢卷测宽测径系统及其控制方法-CN202211302910.6在审
发明人：李宁;颜炳正;陈令杰;贾相明;邢健;沈天问;李婷;李斌;刘晓明;马平 -专利权人：山信软件股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B21B38/04 文献下载
摘要：本申请提供一种冷轧厂钢卷测宽测径系统及其控制方法，系统包括鞍座、钢卷、测量架基座、直径测量组件、测量架移动大臂、移动大臂位置检测元件、第一测宽组件、第二测宽组件、第一测宽检测元件、第二测宽检测元件和控制器移动大臂位置检测元件被配置为获取测量架移动大臂的位置变化值；第一测宽检测元件和第二测宽检测元件被配置为分别获取第一伸缩量和第二伸缩量；控制器被配置为根据测量架移动大臂的位置变化值计算出所述钢卷的直径尺寸；根据第一伸缩量和所述第二伸缩量计算得出伸缩钢卷的宽度。
一种冷轧厂钢卷测宽测径系统及其控制方法

[发明专利]一种高、低压电网电压动态响应解耦方法-CN201710798631.6有效
发明人：冯忠奎;王辉;刘泊辰;刘刚;于洋;徐天锡;李亚洲;刘广;吕东飞;王毅;韩永;冯曰敏;崔炎;张宁;赵文锦;张卫东;仲刚;孟成;周宝凤;张学绢;高原;马力远;昝浩 -专利权人：国网山东省电力公司淄博供电公司;国家电网公司
申请日： 2017-09-07 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： H02J3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种高、低压电网电压动态响应解耦方法，包括采集大扰动后的同步量测数据；确定大扰动发生前互联电网的网架结构以及输电线路、变压器和负荷的机电暂态模型的参数；列出互联电网机电暂态方程组，并采用牛顿法求解方程组得到每一时刻低压侧对于大扰动的电压响应；采用中值滤波和均值滤波方法分别滤除低压侧电压量测数据中的脉冲噪声和高斯白噪声；将滤波后的低压侧电压量测数据减去其大扰动电压响应，得到低压侧就地扰动的电压响应分量，完成解耦。本发明将低压侧的电压量测数据进行解耦，解耦后数据可用于高、低压电网不同层面的分析和应用场景，提高了低压侧电压量测数据的可用性以及低压电网的可控性和可观性。
一种低压电网电压动态响应方法

[实用新型]绝缘大电阻静态测试装置-CN201020168578.5无效
发明人：沙立明;张福全;李魁 -专利权人：福建捷联电子有限公司
申请日： 2010-04-23 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： G01N27/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种绝缘大电阻静态测试装置，包括电阻静态测电路、被测大电阻及辅助电阻，其特征在于：所述的被测大电阻的两端电性连接于电阻静态测电路的测试端，所述的辅助电阻的两端分别与被测大电阻的两端电性连接本实用新型解决了静态回路测试只能量测1M以内的电阻,而动态测试也无法准确量测大电阻，而造成的绝缘大电阻市场不良的隐患，结构简单，具有较好的市场价值。
绝缘电阻静态测试装置

[实用新型]量测机台的承载平台-CN202222808993.8有效
发明人：韩家才;杨李君;任吉达 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请提供一种量测机台的承载平台，涉及半导体衬底的技术领域，其包括衬底，衬底上设有承载槽，承载槽用于供工件嵌入，以配合衬底将工件转移至大尺寸量测机台进行量测。通过衬底以及承载槽，将小尺寸的晶圆转移至大尺寸晶圆的量测机台上，可以实现更多的量测项目，提高产品的质量，同时即使小尺寸晶圆的量测机台出现停机，也可以将小尺寸晶圆通过衬底以及承载槽转移至大尺寸的量测机台继续进行量测，进而能够在小尺寸晶圆的量测机台停机期间，继续在大尺寸晶圆的量测机台上进行小尺寸晶圆的量测，提高生产效率。
机台承载平台

[发明专利]光学量测系统、光学量测装置及其量测方法-CN201710598582.1有效
发明人：吴世傑;林典瑩;林辰泰;庄世昌 -专利权人：镱钛科技股份有限公司
申请日： 2017-07-21 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种放大位移倍率的光学量测系统、光学量测装置及其量测方法。光学量测装置包含架座、移动抵靠件、多个静态光学感测件及动态光学感测件，架座包含定位槽。移动抵靠件枢接于架座上且对应定位槽，待测物夹抵于移动抵靠件与定位槽之间。静态光学感测件设于架座上。动态光学感测件设于移动抵靠件上，动态光学感测件与静态光学感测件相隔光学感测间距。动态光学感测件受移动抵靠件连动而沿弧形轨迹位移，致使光学感测间距改变，且光学感测间距的改变程度大于径长的改变程度。借此，利用弧形位移的特殊结构使不同待测物的径长差异得以放大，进而大幅提高量测的准确度。
光学系统装置及其方法

[发明专利]量测手套及量测系统-CN201410448861.6在审
发明人：张家齐;萧子健 -专利权人：华邦电子股份有限公司
申请日： 2014-09-04 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： A61B5/0205 文献下载
摘要：本发明提供一种量测手套及量测系统，该量测手套包括一第一感测单元以及一第二感测单元。第一感测单元用以测量一第一生理信号。第二感测单元用以测量一第二生理信号。当第一感测单元动作时，第二感测单元停止动作。当第二感测单元动作时，第一感测单元停止动作。本发明的量测手套能够实现对多个不同生理参数进行检测。
手套系统

[发明专利]量测系统与量测方法-CN201711187635.7在审
发明人：张钰林;童凯炀;林茂青 -专利权人：英业达科技有限公司;英业达股份有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本发明公开一种量测方法，包括以一控制器于一第一批次时间提供一第一控制指令给一第一量测装置；以该控制器于一第二批次时间提供一第二控制指令给一第二量测装置，该第一批次时间不同于该第二批次时间；以该第一量测装置依据该第一控制指令取得一待测电子装置的一第一量测数据；以及以该第二量测装置依据该第二控制指令取得该待测电子装置的一第二量测数据。本发明还公开一种量测系统。
系统方法

[发明专利]量测装置及量测方法-CN201911297503.9在审
发明人：詹森雄;江家谊 -专利权人：亚智科技股份有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G01P5/165 文献下载
摘要：本发明有关于一种量测装置及量测方法，是一种用以量测风刀结构的出风风速，以及硬体变形量或平整度的量测装置与量测方法；本发明包括有一量测平台、一风速量测单元、一形变量测单元，以及一驱动装置；本发明主要藉由自动化的驱动装置的设计，有效驱动并乘载风速量测单元与形变量测单元的线性滑座进行长度达4000mm的风刀结构的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用自动化量测方式完成风刀结构的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
装置方法

[发明专利]量测设备和量测方法-CN202180087931.8在审
发明人： J·A·L·J·拉伊马克思;B·A·G·罗曼斯;A·J·登博夫;H·巴特勒 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于测量衬底上的目标的感兴趣参数的量测设备，该量测设备包括：m*n个检测器，其中m≥1且n≥1；第一框架；(n‑1)个第二框架；以及(m‑1)*n个中间框架，其中：每个检测器经由初级定位组件连接到中间框架或第一框架或第二框架中的一者
设备方法

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