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[发明专利]衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法-CN201210189191.1有效
发明人：胡中华;朱菁;杨宝喜;肖艳芬;彭雪峰;陈明;曾爱军;黄惠杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种用于投影光刻照明系统的衍射光学元件光学性能的测量装置及测量方法，该测量装置包括照明单元、能量监测单元、衍射光学元件固定支架、衍射图样测量单元和能量利用率测量单元。通过测量衍射光学元件产生的衍射图样及各级衍射光斑的能量分布，可准确地评价衍射光学元件的光学性能。本发明不仅可以实现对衍射光学元件产生的远场衍射图样的直接测量，而且可以实现对待测衍射光学元件的能量利用率、零级衍射效率及高阶衍射效率的测量。本测量装置结构简单，操作方便，测量结果准确可靠。
衍射光学元件性能测量装置测量方法

[发明专利]一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法-CN202111240664.1在审
发明人：刘卫静;廖志杰;何毅;谢强 -专利权人：中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法，该方法用于衍射光学元件衍射效率测量。采用分光法测量衍射光学元件衍射效率，可以有效减小光源能量不稳定对测量结果的影响，测量过程中，利用小孔光阑挡住高衍射级光斑，可以有效提高测量准确性，测量方法简单，高效。
一种衍射光学元件效率测量装置方法

[发明专利]干涉式编码器系统-CN201580066059.3有效
发明人： J.利塞纳 -专利权人：齐戈股份有限公司
申请日： 2015-10-12 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： G01D5/38 文献下载
摘要：一种编码器干涉测量系统包括布置成接收和衍射测量波束的编码器标尺。该系统还包括一个或多个光学元件，其构造成并布置成从编码器标尺接收第一衍射测量波束和第二衍射测量波束，并朝向编码器标尺重新引导第一衍射测量波束和第二衍射测量波束，使得第一衍射测量波束和第二衍射测量波束在编码器标尺处第二次衍射之后沿具有角分隔该系统还包括布置成接收第一衍射测量波束的第一检测器和布置成接收第二衍射测量波束的第二检测器。
波束衍射测量编码器标尺干涉测量系统编码器系统第二检测器第一检测器波束路径光学元件重新引导编码器非平行干涉式衍射分隔传播

[发明专利]使用二衍射级成像的离轴照明覆盖测量-CN201880096229.6在审
发明人： Y·沙立波;Y·帕斯卡维尔;V·莱温斯基;A·玛纳森;S·埃桑巴赫;G·拉雷多;A·希尔德斯海姆 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供增强测量的准确度且能够简化测量过程及改进计量目标与半导体装置之间的对应性的计量方法及工具。方法包含：以利特罗(Littrow)配置照明目标以产生包含‑1衍射级及0衍射级的第一测量信号及包含+1衍射级及0衍射级的第二测量信号，其中所述第一测量信号的所述‑1衍射级及所述第二测量信号的所述+1衍射级与所述照明的方向成180°衍射；执行所述第一测量信号的第一测量及所述第二测量信号的第二测量；及从所述第一测量及所述第二测量导出(若干)计量度量。任选地，反射0衍射级可经分裂以产生与所述‑1及+1衍射级相互作用的分量。
使用衍射成像照明覆盖测量

[发明专利]套刻测量装置和方法-CN201310379994.8有效
发明人：陆海亮;王帆 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-08-27 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种套刻测量装置和方法，用于检测套刻误差，该装置包括：光源，用于提供照明光束；物镜，用于将照明光束汇聚到待测样品上，并收集待测样品表面的衍射光；空间光调制器，位于物镜光瞳面，用于控制不同衍射级次的衍射光束通过；第一光谱仪，用于测量通过空间光调制器的衍射光光谱。本发明通过采用光谱测量替代角谱测量，减小了照明非均匀性对衍射光对应衍射级次非对称性测量的影响；同时，采用第一光谱仪对不同级次衍射光进行测量，减小角谱测量中CCD探测器灵敏度非均匀性对衍射光对应衍射级次非对称性测量的影响
测量装置方法

[发明专利]基于衍射效应的太赫兹波谱测量装置及其测量方法-CN201610020926.6有效
发明人：杨涛;黄维;何浩培;朱永元 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： G01J3/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于衍射效应的太赫兹波谱测量装置及其测量方法。待测太赫兹波经由衍射器件后形成太赫兹频率的衍射波，衍射波在衍射控制器的不同控制条件作用下被探测器所接收；衍射器件可令不同频率的入射太赫兹波形成不同的衍射波强度角分布，衍射控制器用来改变透过衍射器件的太赫兹衍射波在探测器位置处的衍射场分布，使得固定频率的入射太赫兹波在衍射控制器不同控制条件作用下被探测器所接收到的衍射波强度互不相同；计算处理单元用来接收探测器的测量结果，并进行数据分析和处理。本发明的太赫兹波谱测量装置相比现有的太赫兹时域波谱测量装置具有体积较小、易于制作、成本相对低廉，且频率分辨率高、光谱测量范围宽等优点。
基于衍射效应赫兹波谱测量装置及其测量方法

[发明专利]基于辅助电磁场的引入的一阶散射测量叠对的新方法-CN201680051708.7有效
发明人： V·莱温斯基;Y·帕斯卡维尔;Y·卢巴舍夫斯基;A·玛纳森 -专利权人：科磊股份有限公司
申请日： 2016-08-18 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本发明提供计量测量方法及工具，其由固定的照明源照明固定的衍射目标；测量由零阶衍射信号及一阶衍射信号的总和组成的信号；维持所述衍射目标及所述照明源固定的同时，针对所述零与所述第一衍射信号之间的多个关系重复所述测量；及从所述测量总和导出所述一阶衍射信号。照明可为相干的且可在光瞳平面中测量，或照明可为不相干的且可在场平面中测量，在任一情况下，测量所述零与所述一衍射阶的部分重叠。照明可为环形且所述衍射目标可为带有具有不同节距以分离所述重叠区域的周期性结构的单个单元SCOL目标。
基于辅助电磁场引入一阶散射测量新方法

[发明专利]光学超晶格极化质量测量方法及装置-CN201911253977.3有效
发明人：尹志军;吴冰;倪荣萍;许志城 -专利权人：南京南智先进光电集成技术研究院有限公司
申请日： 2019-12-10 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本申请公开了一种光学超晶格极化质量测量方法，包括如下步骤：用激光器发射一束激光照射超晶格样品，获得该束激光的多级衍射图样；测量所述多级衍射图样的衍射光强，并获得相应的衍射级次；基于所述衍射级次及该衍射级次对应的衍射光强该测量方法的设计能够使得极化质量的测量变得简单、测量装置不繁琐、测量精度高。此外，本申请还公开了一种光学超晶格极化质量测量装置。
光学晶格极化质量测量方法装置

[发明专利]一种衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法-CN201911393114.6有效
发明人：张斌智;王若秋;尹小林;张志宇;薛栋林;张学军 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明提供的衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法，包括：干涉仪、衍射元件及光功率计，所述光功率计放置检测背景杂光能量为E0，所述光功率计检测入射进入所述衍射元件的入射总光强能量为E1，所述光功率计检测经所述衍射元件后聚焦后的出射总光强能量为E2，所述衍射元件的衍射效率为：本发明提供的衍射元件衍射效率的测量装置及测量方法，应用衍射元件可以汇聚光线的特点，结合干涉仪设备，可以一次测量得到衍射元件整体的衍射效率，测试结果更加准确。
一种衍射元件效率测量装置测量方法

[发明专利]一种一维液晶光栅全参数的测量方法-CN201910201254.2有效
发明人：胡摇;付诗航;郝群;赵亚如;鹿丽华 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于对一维液晶光栅的全参数进行测量的方法，属于光电测量技术领域。本发明首先构建液晶光栅线性模型，获得夫琅合费衍射的液晶光栅衍射效率公式。接着利用衍射效率测量装置测量两接近波长下的0级，+1级，+2级衍射效率，以及衍射角的大小，之后构建包含液晶光栅参数的方程组并计算液晶光栅全参数的大小。最后，对计算结果进行验证。采用本发明公开的方法，测量步骤简单，不具有破坏性，仅通过光栅衍射效率测量装置对液晶光栅的衍射效率进行测量，便可获得液晶光栅的全参数。能够有效减少测量多个液晶光栅参数的测量环节，减少测量液晶光栅全参数的测量时间，有效减少误差来源，并且最终的测量结果具有可验证性。
液晶光栅全参数测量衍射效率有效减少构建衍射效率测量装置方程组光电测量技术光栅衍射效率测量步骤测量环节测量液晶测量装置误差来源线性模型光栅衍射角验证性波长衍射验证

[实用新型]一种用于测量样品的衍射结构的装置-CN201720915760.4有效
发明人：山佳卫;山佳逸豪 -专利权人：嘉兴申宁精密科技有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于测量样品的衍射结构的装置，所述装置包括：测量装置和计算机。测量装置设置成在光线垂直入射时测量所述衍射结构的反射率和所述样品上的至少一个底层。所述测量装置包括：具有多个波长的辐射的宽带辐射源；偏振元件，所述辐射通过所述偏振元件朝向所述样品，以使得所述辐射垂直入射到所述衍射结构和所述样品上的所述至少一个底层，并衍射穿过所述偏振元件的零级衍射辐射；测量所述零级衍射辐射的反射率的检测器。计算机设置成与所述测量装置耦合，以确定所述样品上的所述衍射结构的结构信息。本实用新型提供了一种用于快速，准确地测量衍射光栅以及其他非衍射结构的装置，提高了系统的准确性和高效性。
衍射结构测量装置测量偏振元件辐射本实用新型零级衍射反射率检测器计算机设置宽带辐射源垂直入射光线垂直结构信息衍射光栅耦合高效性波长入射衍射穿过计算机

[实用新型]一种平面衍射光栅衍射效率测量仪-CN202121949842.3有效
发明人：程英超 -专利权人：合肥赛洛测控科技有限公司
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面衍射光栅衍射效率测量仪，涉及光栅衍射效率测量仪技术领域，为解决现有平面衍射光栅衍射效率测量仪一般都是单独安装在桌面进行使用，从而平面衍射光栅衍射效率测量仪的外部没有保护装置，在无需使用时，空气中的灰尘会大量的落在平面衍射光栅衍射效率测量仪的表面，从而会发生灰尘进入测量仪内部造成测量仪损坏的情况的问题。所述外护箱的内部设置有移动安装板，所述移动安装板的上方固定安装有测量仪本体，所述外护箱两侧内壁的下方均固定设置有连接轴承座，所述外护箱两侧内壁的上方均固定设置有固定板，所述移动安装板内部的两侧均开设有控制螺纹孔
一种平面衍射光栅效率测量仪

[发明专利]一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法-CN201610427140.6有效
发明人：邵建达;刘世杰;王圣浩;王微微;张志刚;周游;徐天柱;鲁棋 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2016-06-16 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明专利提出了一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法,包括光源、单色器、传输光纤、分束镜、二维扫描机构、样品台、参考光探测器和测试光探测器，根据测量光强度和参考光光强的比值，以及衍射光强度和参考光强度的比值，计算得到大口径光栅单个位置处的衍射效率值，接着利用二维扫描机构在水平和垂直方向扫描光纤测量头，依次得到大口径光栅各个位置处的衍射效率值，从而完成大口径光栅衍射效率的测量。本发明实现了大口径光栅衍射效率的测量，降低了测量系统的构建成本，消除了测量过程中的安全隐患，显著加快了大口径光栅衍射效率的测量速度，同时能保证大口径光栅衍射效率的测量数据具有较好的重复性和复现性。
大口径光栅衍射效率测量二维扫描机构测量装置参考光探测器垂直方向扫描光纤测量头安全隐患测量过程测量数据测量系统传输光纤单个位置参考光测量光测试光单色器分束镜复现性位置处衍射光样品台探测器构建光源参考保证

[发明专利]测量装置、曝光装置以及测量方法-CN202080099368.1在审
发明人：大桥道雄;高桥聡 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：测量装置包括：照明系统，对位于物体面的被测量物照射光；成像系统，形成与物体面光学共轭的共轭面；衍射光限制部，限制来自被测量物的多个衍射光中的至少一部分，且使多个衍射光中的第一衍射光和与所述第一衍射光不同的第二衍射光通过；以及拍摄部，配置于共轭面，拍摄由第一衍射光与第二衍射光所形成的周期性的明暗像。
测量装置曝光以及测量方法

[实用新型]光栅周期的测量装置-CN202221358096.5有效
发明人：赵鹏;刘雄波;严子深;李屹 -专利权人：深圳光峰科技股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本申请公开了光栅周期的测量装置，涉及光栅技术领域。光栅周期的测量装置包括发光装置、支撑台、测量屏以及数据处理组件；发光装置用于输出入射光束；支撑台设置于发光装置输出入射光束的光路上，用于支撑衍射光波导，入射光束入射衍射光波导，使衍射光波导产生相应的衍射光；测量屏设置于衍射光的光路上，测量屏设置有多个角度传感器，多个角度传感器在测量屏中呈阵列分布，用于感测衍射光的衍射角并产生相应的模拟电信号；以及数据处理组件，与测量屏通信连接，用于接收模拟电信号并将模拟电信号转换为光栅周期本申请能够提高对光栅周期的测量速度。
光栅周期测量装置

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