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[发明专利]薄膜蒸镀装置-CN201810725430.8在审
发明人：刘宇 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜蒸镀装置，包括：靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。
靶材衬底靶材固定装置衬底承载装置薄膜蒸镀装置固定设置加热装置相对设置镀膜蒸镀薄膜加热承载

[发明专利]薄膜蒸镀装置-CN201110167019.1有效
发明人：成普滥璨;具教旭;赵重根 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2011-06-21 - 公布日： 2011-12-21 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开一种薄膜蒸镀装置，其包括：支承板的基板支承机构；及喷淋头，配置在上述基板支承机构的上部，向上述基板供给处理气体。
薄膜装置

[实用新型]薄膜蒸镀装置-CN201821052790.8有效
发明人：刘宇 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-07-04 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种薄膜蒸镀装置，包括：靶材固定装置，用于沿第一方向固定设置多个组分不同的靶材；衬底承载装置，用于承载待镀膜的衬底且使所述衬底与所述靶材相对设置；以及加热装置，用于对所述靶材进行加热使所述靶材的材料蒸镀于所述衬底上形成薄膜；所述靶材固定装置与所述衬底承载装置能够使所述靶材与所述衬底沿所述第一方向相对运动。
靶材衬底靶材固定装置薄膜蒸镀装置衬底承载装置本实用新型固定设置加热装置相对设置镀膜蒸镀薄膜加热承载

[发明专利]薄膜蒸镀装置-CN201180044766.4有效
发明人：朴相俊;金镇浩;孙炳国 -专利权人：圆益IPS股份有限公司
申请日： 2011-09-16 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：薄膜蒸镀装置包括：腔室；基座；源气体供给部；及基座支持台。腔室，具有执行蒸镀工序的内部空间。基座，安置于所述腔室内，沿上面中心圆周直接性地支持多个基板或支持安置有一个以上基板的基板支架。
薄膜装置

[发明专利]薄膜的蒸镀监测装置和方法及薄膜蒸镀装置和方法-CN201510665382.4有效
发明人：许名宏 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供提高薄膜的蒸镀监控精度的薄膜的蒸镀监测装置、薄膜蒸镀装置和薄膜的蒸镀监测方法、薄膜蒸镀方法。根据一个实施方式的薄膜的蒸镀监测装置对利用至少两个蒸镀源的薄膜的蒸镀进行监测，包括：膜厚计，其对利用上述至少两个蒸镀源蒸镀得到的薄膜的厚度进行测量；电阻测量器，其对上述薄膜的电阻进行测量；以及计算单元，其基于上述薄膜的由上述膜厚计测量的厚度和由上述电阻测量器测量的电阻，计算上述薄膜中的来自上述至少两个蒸镀源中的一个蒸镀源的材料的浓度。
薄膜监测装置方法

[实用新型]一种薄膜生产线和薄膜真空蒸镀机构-CN202123440023.9有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种薄膜生产线和薄膜真空蒸镀机构，包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以对薄膜进行蒸镀，还可以对蒸镀后的薄膜进行水电镀。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置采用立体设置，能够减少占地空间，提高空间的利用率。
一种薄膜生产线真空机构

[实用新型]一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构-CN202123112538.6有效
发明人：臧世伟 -专利权人：重庆金美新材料科技有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种薄膜生产系统和真空蒸镀机构，该系统包括真空蒸镀机构、搬运机构以及水电镀机构，通过真空蒸镀机构对待蒸镀的薄膜进行蒸镀，通过搬运机构用于对真空蒸镀机构蒸镀后的薄膜搬运至所述水电镀机构，水电镀机构用于对蒸镀后的薄膜进行水电镀；本实施例提供的薄膜生产系统不仅可以快速对薄膜上的金属进行增厚，也能够减少成本。另外，真空蒸镀机构包括真空腔室，以及设置在所述真空腔室中的蒸镀装置，该蒸镀装置包含了两组薄膜蒸镀部件，可以同时对两卷薄膜的双面进行蒸镀，提高了薄膜生产效率且极大的减少成本。
一种薄膜生产系统真空机构

[实用新型]蒸镀装置及其挡板机构-CN201821778438.2有效
发明人：魏雄伟 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀装置及其挡板机构，该挡板机构在挡板上设置有收放装置，在收放装置设有收集薄膜且覆盖挡板的收集面，收放装置对收集薄膜进行收放，蒸镀工艺中收集薄膜上沉积了一定量的蒸镀材料之后，收放装置收放收集薄膜，使沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分卷收起来，而未沉积有蒸镀材料的收集薄膜的部分覆盖在挡板上进行沉积。如此，沉积的蒸镀材料不会随挡板的运动而发生脱落，避免了污染蒸镀装置的问题。
薄膜沉积挡板收放装置蒸镀材料挡板机构蒸镀装置收放本实用新型收集面覆盖卷收蒸镀污染

[发明专利]薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法-CN201310291168.8无效
发明人：朱儇佑;许明洙;李勇锡;赵喆来;金善浩 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2013-07-11 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法。所公开薄膜蒸镀装置包括：蒸镀源，生成将蒸镀到基板的蒸镀蒸汽；喷射部，向安装有基板的所述蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽；管制部，使预定的压力作用于所述喷射部，以调节为向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽或停止向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽根据这种构成，能够在蒸镀室内正确地且有效率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射，因此采用本发明时，可以期待生产效率的提高和产品品质的稳定化。
薄膜装置利用方法

[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法-CN95117104.6无效
发明人：鸟井秀雄;藤井映志;林重德;高山良一 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 1995-09-01 - 公布日： 1996-10-09 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：提供一种薄膜形成装置和薄膜形成方法，具有至少一个物理蒸镀装置和至少一个化学蒸镀装置，由于具有将所述物理蒸镀装置和化学蒸镀装置分别接于共同的排气装置的排气管和排气路切换装置，所以装置是小型的，薄膜形成时间短利用通过排气管2a将物理蒸镀装置3、通过排气管2b将化学蒸镀装置4、排气管2c将排气装置接到排气路切换装置1的结构，作成腔室至少为2个排气装置为1个的小型薄膜形成装置，在化学蒸镀时导入的原材料蒸汽不进入物理蒸镀装置内，可实行小型的薄膜形成时间短的薄膜成型。
薄膜形成装置方法

[发明专利]蒸镀薄膜的蒸镀方法及制作设备、蒸镀薄膜、显示装置-CN201811096350.7有效
发明人：张健;黄俊杰;王震;曹飞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种蒸镀薄膜的蒸镀方法及制作设备、蒸镀薄膜、显示装置，涉及显示技术领域，能够解决现有技术中相邻的蒸镀图案之间因交叠产生混色的问题；该蒸镀薄膜的蒸镀方法中待形成的蒸镀薄膜包括多个蒸镀单元，每个蒸镀单元包括多个蒸镀图案，且该多个蒸镀图案中包括沿第一方向上并列、且相邻设置的第一蒸镀图案和第二蒸镀图案；该蒸镀方法包括：通过修正原始蒸镀薄膜的蒸镀单元中第一蒸镀图案和第二蒸镀图案之间的原始间距，和/或，通过调整线性蒸镀源的相对第一蒸镀图案和第二蒸镀图案的移动方式，和/或，通过调整掩膜板的对位方式，来调整第一蒸镀图案和第二蒸镀图案的相对位置，以减小相邻两个不同颜色的亚像素之间的混色。
薄膜方法制作设备显示装置

[实用新型]一种双面蒸镀的聚丙烯电容器薄膜-CN202121421054.7有效
发明人：尤枝辉 -专利权人：佛山市顺德区创格电子实业有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01G4/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双面蒸镀的聚丙烯电容器薄膜，包括单层双面蒸镀薄膜结构或双面蒸镀薄膜叠合结构，所述单层双面蒸镀薄膜结构包括双面蒸镀薄膜，所述双面蒸镀薄膜包括薄膜基底和金属镀层，所述薄膜基底的上表面和下表面均设置有所述金属镀层，所述薄膜基底下表面的所述金属镀层下方设置有未蒸镀薄膜，所述薄膜基底和所述未蒸镀薄膜均为聚丙烯材料制成的；所述双面蒸镀薄膜叠合结构包括镜像设置的第一薄膜和第二薄膜，所述第一薄膜和所述第二薄膜与所述双面蒸镀薄膜的结构相同采用双层蒸镀聚丙烯材料制成的薄膜基底，减小层间空气积聚，未蒸镀薄膜本身耐压能力较高，因此本电容器薄膜可以提高电容器的自愈能力及耐电压能力。
一种双面聚丙烯电容器薄膜

[实用新型]一种金属化薄膜蒸镀成型阻隔装置-CN202222042247.2有效
发明人：潘学荣 -专利权人：芜湖鑫国电子科技有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种金属化薄膜蒸镀成型阻隔装置，包括一种金属化薄膜蒸镀成型阻隔装置，包括装置台，所述装置台的内部设置有蒸镀装置主体，装置台表面设置有外护组件；所述外护组件包括下框体、外箱体以及蒸镀箱，下框体连接在装置台表面，蒸镀箱的底侧开设有蒸镀口，所述蒸镀箱贯穿连接于外箱体中部，蒸镀箱的外部设置有阻隔组件；所述阻隔组件包括调节杆、阻隔板以及驱动组件，调节杆设于蒸镀箱两侧，调节杆与蒸镀箱卡合转动连接；本实用新型阻隔板在蒸镀箱下方转动，使得蒸镀箱底板开始的蒸镀口能够调节改变口径，使得绝缘介质膜在表面蒸镀时的范围能够根据需求调节改变，便于该装置配合蒸镀装置加工蒸镀不同尺寸的金属化薄膜。
一种金属化薄膜成型阻隔装置

[发明专利]金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜-CN201811230499.X有效
发明人：宋仁祥 -专利权人：安徽省宁国市海伟电子有限公司
申请日： 2018-10-22 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明公开了金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法、金属化薄膜，金属化薄膜加工生产线系统包括预整装置和蒸镀装置，所述预整装置包括牵伸装置和除尘装置，牵伸装置包括工作台、滚轮、主轴、辅轴、压力缓冲装置、传动履带、传动齿轮、第一驱动电机、主动齿轮、衬板、压紧辊和固定板，蒸镀装置包括卷绕室和蒸镀室，所述蒸镀室包括送丝辊、导丝轮组、打磨架、导向轮组和蒸镀坩埚；金属化薄膜加工生产线系统的生产方法包括薄膜预整和薄膜蒸镀两个步骤，并加工生产得金属化薄膜。本发明能改善薄膜蜷缩变形状况，提高表面的平整度及洁净度，同时除去铝丝表面的氧化层，保证蒸镀过程中铝蒸汽的浓度，提高薄膜表面的蒸镀层均匀性及结合力。
金属化薄膜加工生产线系统及其生产方法

[发明专利]原料气体供给装置-CN200810008623.8无效
发明人：张泽龙;李炳一;李永浩;张锡弼 -专利权人：泰拉半导体株式会社
申请日： 2008-02-01 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种原料气体供给装置，该原料气体供给装置用化学蒸镀法蒸镀薄膜时将作为原料的原料物质气化后加以提供。本发明的原料气体供给装置通过实时、准确地控制流入蒸镀室内的原料气体的压力，可以有效地调节薄膜蒸镀时蒸镀室内的蒸镀压力。
原料气体供给装置

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