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[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、有源矩阵驱动显示装置-CN201210375092.2有效
发明人：孙拓 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2012-09-29 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： H01L21/77 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜晶体管阵列基板及其制备方法，属于半导体器件制造技术领域，其可解决现有技术制备的薄膜晶体管阵列基板的方法中由于制造工艺的条件的影响导致石墨烯的电学性能降低的问题。本发明的薄膜晶体管阵列基板的制备方法，包括在衬底上形成薄膜晶体管的步骤，所述薄膜晶体管包括有源层和保护层；所述有源层为石墨烯层；所述保护层形成于所述有源层的远离衬底一端的表面。本发明提供的薄膜晶体管阵列基板由于保护层的存在使对石墨烯层的光刻处理不是直接对石墨烯层处理，极大的避免了掩模光刻处理的影响；同时该保护层能降低后续工艺处理对石墨烯的影响。
薄膜晶体管阵列及其制备方法有源矩阵驱动显示装置

[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板-CN201710999043.9有效
发明人：杨维;胡合合;卢鑫泓 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本发明的实施例提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板，涉及显示技术领域，可避免由于膜层不均一性而导致在后制作的薄膜晶体管的性能受到影响。一种阵列基板，包括：并列设置于所述衬底上的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管；所述第一薄膜晶体管包括第一绝缘层，所述第一绝缘层在对应所述第二薄膜晶体管的区域包括第一凹槽，所述第二薄膜晶体管位于所述第一凹槽内；其中，所述第一凹槽底部所述第一绝缘层的厚度小于所述第一薄膜晶体管所在区域所述第一绝缘层的厚度。
一种阵列及其制备方法显示面板

[实用新型]阵列基板和触控液晶显示装置-CN202021157002.9有效
发明人：严婷婷;刘仕彬;赵中满 -专利权人：昆山龙腾光电股份有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G06F3/042 文献下载
摘要：本实用新型提供一种阵列基板及触控液晶显示装置，阵列基板包括阵列排布的多个子像素，每个子像素包括显示像素区和光敏像素区，显示像素区内设有电连接的开关薄膜晶体管和像素电极，光敏像素区内设有光敏薄膜晶体管，开关薄膜晶体管包括第一沟道层，光敏薄膜晶体管包括相互接触的第二沟道层和第三沟道层。本实用新型提供一种触控液晶显示装置，包括上述阵列基板。本实用新型提供的阵列基板和触控液晶显示装置，通过在阵列基板的显示像素区形成电连接的开关薄膜晶体管和像素电极，在阵列基板的光敏像素区形成包括两个沟道层的光敏薄膜晶体管，不仅可以在实现激光远程触控，还可以扩大光敏薄膜晶体管接收激光光波段的范围
阵列液晶显示装置

[发明专利]阵列基板以及液晶显示面板-CN201610643307.2有效
发明人：张启沛;陈彩琴 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-08-08 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明公开了一种阵列基板以及液晶显示面板。阵列基板上矩阵排列有薄膜晶体管，第一钝化层设置在薄膜晶体管的源/漏极上，有机透明层设置在第一钝化层上，且位于除薄膜晶体管的区域以及两相邻薄膜晶体管之间的区域以外的区域，在阵列基板的表面设置有柱状隔垫物，且位于任意两个薄膜晶体管之间。通过以上方式，本发明能够防止柱状隔垫物滑入有机透明层孔洞中，增加柱状隔垫物的稳定性。
阵列以及液晶显示面板

[实用新型]薄膜晶体管、阵列基板和显示面板-CN202222492767.3有效
发明人：袁鑫;周秀峰;李荣荣 -专利权人：惠科股份有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L29/06 文献下载
摘要：本申请提出一种薄膜晶体管、阵列基板和显示面板，其中，薄膜晶体管包括基板、以及层叠设置的有源层、第一绝缘层、栅极、第二绝缘层和源漏极，薄膜晶体管沿有源层的宽度方向进行划分，将有源层划分为多个有源分支，对应的有源分支通过过孔连接至源极和漏极，形成多个子薄膜晶体管，降低薄膜晶体管的尺寸，降低薄膜晶体管的发热量，提高薄膜晶体管和显示面板的安全性和可靠性。
薄膜晶体管阵列显示面板

[发明专利]一种阵列基板、显示面板及显示装置-CN202210772097.2在审
发明人：吴剑龙 -专利权人：厦门天马显示科技有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： G09G3/36 文献下载
摘要：本发明提供一种阵列基板、显示面板及显示装置，移位寄存器包括多个薄膜晶体管，薄膜晶体管包括设定薄膜晶体管，设定薄膜晶体管包括半导体层、栅极、源极、漏极和屏蔽金属层；垂直于衬底的方向，屏蔽金属层与半导体层交叠；第一恒定电压线提供电压值小于0V的第一恒定电压，第二恒定电压线提供电压值大于0V的第二恒定电压；设定薄膜晶体管为N型晶体管，屏蔽金属层与第一恒定电压线电连接；或者，设定薄膜晶体管为P型晶体管，屏蔽金属层与第二恒定电压线电连接本发明提供一种阵列基板、显示面板及显示装置，通过屏蔽金属层将发生偏移的阈值电压修正到正常范围，避免了设定薄膜晶体管的异常开启，从而提高了阵列基板的工作稳定性。
一种阵列显示面板显示装置

[发明专利]电子装置-CN201310387149.5有效
发明人：吴逸蔚 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2013-08-30 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G06F21/32 文献下载
摘要：所述指纹识别模组包括依次层叠排列的接触层、信号发送层、信号接收层以及第一薄膜晶体管阵列。所述信号发送层用于持续向所述接触层及信号接收层发送超声波信号。所述接触层用于根据所感测的手指纹路反射超声波信号。所述信号接收层用于接收超声波信号，并将接收到的超声波信号转化为电信号传递给所述第一薄膜晶体管阵列。所述第一薄膜晶体管阵列用于根据信号接收层所传递的电信号获取指纹的灰度图像。所述显示模组包括第二薄膜晶体管阵列。所述第二薄膜晶体管阵列用于驱动所述显示模组显示画面。所述第一与第二薄膜晶体管阵列共同形成在所述基板上。
电子装置

[发明专利]阵列基板及其制备方法-CN202011171343.6在审
发明人：艾飞;舒照伟 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种阵列基板，阵列基板的显示区包括多个第一薄膜晶体管组件和多个第二薄膜晶体管组件，第一薄膜晶体管组件包括至少一个多晶硅薄膜晶体管，第二薄膜晶体管组件包括至少一个非晶氧化物半导体薄膜晶体管；多个第一薄膜晶体管组件和第二薄膜晶体管组件在显示区交替分布本申请实施例提供的阵列基板，通过在阵列基板显示区采用第一薄膜晶体管组件和和第二薄膜晶体管组件交替设置，而第一薄膜晶体管组件包括至少一个多晶硅薄膜晶体管，第二薄膜晶体管组件包括至少一个非晶氧化物半导体薄膜晶体管；两者交替设置在阵列基板的显示区，可以同时实现高频驱动和降低阵列基板的功耗。
阵列及其制备方法

[发明专利]阵列基板的制备方法、阵列基板及显示面板-CN202011409523.3在审
发明人：孙小茜;龚吉祥;张毅先 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：一种阵列基板的制备方法、阵列基板及显示面板，制备方法包括如下步骤：提供一衬底并在衬底上形成相互间隔的第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，以及覆盖第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的层间绝缘层；在层间绝缘层背离衬底的一侧上涂布光刻胶层，利用半色调光罩对光刻胶层曝光显影以形成一阻挡层；以及，对光刻胶层及层间绝缘层进行多次干法刻蚀，以形成部分暴露第一薄膜晶体管的辅助电极的第一孔、部分暴露第一薄膜晶体管的有源层的第二孔、部分暴露第二薄膜晶体管的有源层的第三孔
阵列制备方法显示面板

[发明专利]一种薄膜晶体管、阵列基板及阵列基板的制备方法-CN201711085066.5在审
发明人：高冬子 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2017-11-06 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜晶体管、阵列基板及阵列基板的制备方法，该薄膜晶体管包括第一半导体层；第二半导体层，分别覆盖在所述第一半导体层的两端；其中，所述第一半导体层的致密度大于所述第二半导体层的致密度。通过上述结构的薄膜晶体管，能够提高薄膜晶体管的性能。
一种薄膜晶体管阵列制备方法

[发明专利]显示面板及显示装置-CN202111218998.9在审
发明人：张春鹏 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：显示面板包括基底、遮光部、间隔层以及薄膜晶体管阵列层；薄膜晶体管阵列层设置于基底的一侧，且薄膜晶体管阵列层包括至少一薄膜晶体管，其中，薄膜晶体管包括设置于基底一侧的有源层，有源层包括沟道部以及位于沟道部两侧的电性连接部；至少一间隔层设置于基底与薄膜晶体管阵列层之间；遮光部嵌入设置于基底中，且沟道部在基底上的正投影位于遮光部在基底上的正投影的覆盖范围以内。本发明可以增加遮光部与有源层之间的距离，降低了遮光部加载电压后对沟道部的影响，提高了显示面板的显示效果。
显示面板显示装置

[发明专利]阵列基板及制备方法、光探测器-CN202110806099.4有效
发明人：罗成志 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种阵列基板及制备方法、光探测器；该阵列基板包括衬底以及阵列驱动层，阵列驱动层包括第一类薄膜晶体管、第二类薄膜晶体管、以及第三类薄膜晶体管，第一类薄膜晶体管用于吸收第一光线，第二类薄膜晶体管用于吸收第二光线，第三类薄膜晶体管用于吸收第三光线，其中，所述第一光线、所述第二光线、以及所述第三光线的波长不相同；上述阵列基板中的第一类薄膜晶体管仅对第一光线具有较高选择性，第二类薄膜晶体管仅对第二光线具有较高选择性，第三类薄膜晶体管仅对第三光线具有较高选择性，因此，上述阵列基板制备的光探测器可以实现对上述三种光线的宽波段探测，具有良好的光探测选择性。
阵列制备方法探测器

[发明专利]显示面板、阵列基板及其制备方法-CN202110003053.9在审
发明人：戴星强 -专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-01-04 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种显示面板、阵列基板及其制备方法，阵列基板包括基板、薄膜晶体管层、绝缘纳米颗粒层以及有机聚合物层。薄膜晶体管层设于基板上；绝缘纳米颗粒层设于基板上且覆盖薄膜晶体管层；有机聚合物层层叠设置于绝缘纳米颗粒层远离薄膜晶体管层的一侧，且覆盖绝缘纳米颗粒层。本申请通过在所述薄膜晶体管层上形成层叠设置的绝缘纳米颗粒层和有机聚合物层，有利于提升整个阵列基板的致密性能，有效阻隔外界的水氧入侵，并有利于提高显示面板的使用寿命。
显示面板阵列及其制备方法

[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置-CN201910944098.9有效
发明人：袁永 -专利权人：厦门天马微电子有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： H01L27/12 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，提供一种阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置。本发明提供的阵列基板包括：基板、第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管，第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管均位于基板的同一侧；其中，第一薄膜晶体管包括第一有源层，第一有源层为多晶硅层，第二薄膜晶体管包括第二有源层，第二有源层为氧化物半导体层，第二薄膜晶体管还包括第一接触层和第二接触层，第一接触层位于基板和第二有源层之间，第二接触层位于第二有源层远离基板的一侧，第一接触层和第二接触层均与第二有源层直接接触，且第二有源层、第一接触层和第二接触层均为岛状。用以解决第一薄膜晶体管与第二薄膜晶体管之间容易相互影响的问题。
阵列及其制作方法显示面板显示装置

[实用新型]阵列基板、显示面板、液晶显示器及光罩-CN202121475678.7有效
发明人：滕术军;郑浩旋 -专利权人：惠科股份有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： G02F1/1362 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种阵列基板、显示面板、液晶显示器及光罩，属于显示技术领域。本实用新型阵列基板包括基底、薄膜晶体管层、色阻层、平坦层和电极层，薄膜晶体管层设于基底上，色阻层覆盖于基底及薄膜晶体管层上，平坦层设于色阻上，电极层设于色阻层上，电极层通过导通孔与薄膜晶体管层连接，导通孔中设有填充体本实用新型通过在基底上设置薄膜晶体管层、色阻层、平坦层以及电极层，电极层通过导通孔与薄膜晶体管连接，导通孔中填充有非导电材料制成的填充体，使得填充体与电极层构成阵列基板的平坦表层，易于取向液与液晶扩散，
阵列显示面板液晶显示器